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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 如何通过超洁净流控技术降低流控污染,减少曝光缺陷,提升曝光良率,是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战,直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外,作为各类半导体制造装备的共性核心零部件,超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断,使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统,自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持,聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发,攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术,完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试,为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据,同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化,突破了国外技术的封锁,为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学 2022-07-22
智能伺服压力机
伺服压力机比较广泛应用于发达国家 , 西班牙发格 ( FAGE) 、 日本网野 ( AMINO) 、 日本小松 ( KOMATSU) 、德国舒勒 ( SCHULER ) 等压力机制造企业相继推出了多种传动结构、不同规格的伺服压力机,几乎垄断了所有高端压力机的市场。由于国民经济的快速增长、市场国际化和人们消费观点的上升,对制造产品的流线型和个性化要求, 各行业也引进了很多的国外的制造装备。由于伺服压力机制成品的高精度和良好的工作环境 ,而且还具有节能的优点,对当前国内节约型社会更具有意义。 浙大团队针对大功率低扭矩伺服电机的扭矩输出特性 ,研究了基千电流控制的控制策略, 开发了伺服冲压工艺控制系统, 实现了转速、转向的高效控制, 极大提高了伺服冲压工艺的灵活性、准确性和可靠性。
浙江大学 2023-05-10
压力换能器YP100
YP100型压力换能器适用于无线遥测系统用于埋入动物体内,测量血压。 测量范围:-10kpa~40kpa (-76~300mmHg) 外形尺寸:12×10mm 相关产品: 高频响压力换能器 压力换能器 压力换能器 压力换能器 压力换能器 压力换能器 压力换能器 本文中所有关于压力换能器http://www.xinman8.com/24.html的文字、参数、图片等如有产品更新换代、参数变动请联系我们的销售、技术工程师。
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
样品压力监测仪
“NMT界乔布斯”许越先生推荐创新平台 中关村NMT产业联盟推介成员单位创新产品  “全球抗疫,人人有责”   推出背景:         研究论文的可重复性是研究科学性的最重要基础。论文可重复性需要作者对研究的相关过程、研究对象和统计分析方法提供详细的描述,否则给其他学者重复实验带来很大困难,但是活体生理研究的可重复性差一直困扰着这一领域。有一些杂志在这方面已经进行了一些探索,但仍然不能避免一些研究可重复性差的问题。重现性、严谨性、透明性和独立验证是科学方法的基石。   实验的严谨性在于实验变量的统一,随着科技的发展,变量的因素会越来越完善,检测方法、检测设备也会越来越专业,除了我们已知的实验变量,其实还有很多的其他因素也是实验变量的一部分,只是还没有能够将这些因素通过精确数据的形式展示出来。   NMT创新产品系列,带您找到实验中的变量!   产品介绍 名称:样品压力监测仪 型号:SPD-100 品牌:旭月 产地:中国 简介: 应对挑战: 活体样品检测时样品及检测过程中的参数是数据重复性的关键 NMT实验中样品固定以及测试过程中,样品所受压力的大小可能会造成处理样品的不同,压力的检测将是非常重要的指标之一。在NMT检测的过程中较难实现样品压力的检测 解决方法: 样品压力监测仪提供了NMT检测过程中,样品的压力数据,解决了检测过程中样品实验参数的问题 样品压力监测仪可以通过液晶屏显示,也可以通过电脑、手机等终端查看数据,解决了人工记录数值可能造成的差异性及意外   功能特点 1.基本功能: 实时监测、记录样品受到的压力值 液晶屏实时显示监测数值 可通过电脑、手机等终端查看和下载数据
旭月(北京)科技有限公司 2021-08-23
蓝宝石压力变送器
产品详细介绍CR-YL列蓝宝石压力变送器 
香港长润自动化系统有限公司 2021-08-23
纸箱压力试验机
产品详细介绍纸箱压力试验机,上海纸箱压力试验机,浙江纸箱压力试验机     一、试验机使用范围及技术说明 1、适用范围  QX-W300 微机控制电子万能试验机为材料力学性能测量的试验设备,可进行金属与非金属、高分子材料等的拉伸、剥离、压缩、弯曲、剪切、顶破、戳穿、疲劳等项目的检测。 2、技术说明   微机控制电子万能材料试验机使用最新控制技术,通过日本松下原装交流数字控制器控制伺服电机配合同步带使两副高精度滚珠丝杠移动试台,试台能以0.001mm/min—500mm/min速度运行。在测力源上使用美国铨力原装进口高精度拉压传感器,其精度达到0.02%,灵敏度高,整个系统可达到0.5级精度,有效测力范围为最大力值的0.2%到100%;速度精度为示值的±0.5%以内;位移精度为示值的±0.5%以内;变形测量精度为示值的±0.5%以内。 二、试验机主要技术参数: 1、规格型号:QX-W300 2、最大试验负荷:2000N以内可任意换); 3、测力精度等级:0.5级; 4、有效测力范围: 0.2%-100% 5、测力精度:示值的±0.5%以内; 6、试验力分辨率:最大试验力的±1/500000 7、试验速度调节范围:0.001-500mm/min 8、速度精度:示值的±0.5%以内; 9、变形测量范围:0.2%—100%FS; 10、变形精度:示值的±0.5%以内; 11、变形分辨力:最大变形的1/250000(全程分辨率不变); 12、位移精度:示值的±0.5%以内; 13、位移分辨力:0.5µm; 14、安全装置:电子限位保护; 15、超载保护:超过最大负荷10%自动保护; 16、数据采集频率:200times/sec; 17、有效试验行程:300mm; 18、有效试验宽度:120mm; 19、电源电机:单相AC 220V±10%,200W; 20、主机重量:40kg。  
上海企想检测仪器有限公司 2021-08-23
DWYER 数字压力表
产品详细介绍DPGA系列数字压力表是一款能够选择工程单位的经济型表,1%精度,数字调零按钮,DPGA是用来监测空气和兼容气体的压力的最佳选择。   规格 介质:空气和兼容气体 接液材质: 316L不锈钢,硅脂传感器 外壳:ABS塑料 精度: 满量程时±1.0%(包括线性、滞后、重复性) 压力范围:满量程的2倍,真空量程最大压力是30 psig 温度范围:30 到120°F (-1 到 49°C) 热影响:0.05% FS/°F 尺寸: 2.62″O.D. X 1.52″厚度 过程连接:1/4″MNPT阳螺纹 显示:4数字LCD(0.425″H X0.234″W数字) 电源:9 V 碱性电池(包含) 自动断电:20分钟后自动断电 重量: 5.6盎司(160克) 机构认证:CE  
上海进申工贸有限公司 2021-08-23
电输运性质测量系统磁阻电阻测试系统材料实验室测量仪器
电输运性质测量系统TESTIK-9 产品概述: 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! TESTIK-9系列电输运性质测试系统是集霍尔效应、磁阻、变温电阻、I-V特性等测试于一体的全自动化测试系统。系统考虑了集成一体性、屏蔽防干扰能力和操作人性化等用户经常忽略的问题,选取了美国Keithley的电测量仪表,磁场根据用户需要采用电磁铁或无液氦超导磁体,配备灵巧的测量样品杆和快速插拔样品卡,加上全自动化的专用测试软件,能让用户快速方便地进行电输运测试,并获得准确可靠的数据。此外,TESTIK-9系列还有多种高低温温度环境选件。TESTIK-9系列电输运性质测试系统是广大科研工作者对材料进行电输运性质研究的理想选择。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! 产品特点: 可以进行霍尔效应、R-H特性、R-T特性和I-V特性的测量,可得出参数:方块电阻、电阻率、霍尔系数、霍尔迁移率、载流子浓度和导电类型,可绘制以上参数随温度或磁场的变化曲线,以及I-V特性——不同磁场和不同温度下的I-V特性曲线,R-H特性——固定温度,电阻随着磁场变化的特性曲线,R-T特性——固定磁场,电阻随着温度变化的特性曲线。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! 产品功能: 1·电阻率、霍尔系数及霍尔迁移率测试遵从美国材料与试验协会ASTM-F76标准 2·电阻测量范围宽:100nΩ(低电阻选件)~ 100GΩ(高阻系统); 3·使用插入式样品卡,样品安装方便,同时提供四探针卡,免去制作电极的麻烦 4·标准系统一次可以同时测量2个样品,增加选件可同时测量4个样品; 5·测量和计算过程由软件自动执行,3分钟即可得到一个霍尔效应数据; 6·提供长时间高稳定性的磁场,24小时稳定性<±0.5G,并且磁场能够平滑过零 7·电磁铁电源内置高斯计,磁场从0到1kG只需20S即可控制在0.1G以内; 8·选择温度选件,可以进行不同温度下的霍尔效应和电阻的测量。 您也可以在淘宝网首页搜索“锦正茂科技”,就能看到我们的企业店铺,联系更加方便快速! 产品参数: 型号 TESTIK-9A TESTIK-9B TESTIK-9C 物理学参数 迁移率 1 ~ 1 × 106 cm2/vs 载流子浓度 6 × 1012 ~ 6 × 1023 cm-3 霍尔系数 ±1 × 10-5 ~±1 × 106 cm3/C 电阻率 5 × 10-9 ~ 5 × 102 Ω·cm 电学参数 电阻 0.1mΩ ~ 10MΩ 低电阻选件 100nΩ ~ 10MΩ 电流源 ±50pA~±1A(±1.05A@±21V, ±105mA@±210V) 电压源 ±5μV~±200V(±21V@±1.05A, ±210V@±105mA) 电流测量 ±10pA~±1.05A(10pA为分辨率极小值) 电压测量 ±1nV~±100V(1nV为分辨率极小值) 磁场环境 室温磁场 1T@10mm间距 2.4T@10mm间距 2.6T@10mm间距 变温磁场 0.44T@液氮恒温器 0.26T@闭循环恒温器 1.7T@液氮恒温器 1.1T@闭循环恒温器 2.0T@液氮恒温器 1.5T@闭循环恒温器 温度(选件) 单点液氮盒 77K 液氮恒温器 80K~325K(标准型),80~500K(高温型) 闭循环恒温器 4K~325K(4K型),10K~325K(10K型) 高温炉 325K~1000K 其他 样品尺寸极大值 10mm*10mm*3mm 30mm*30mm*3mm 50mm*50mm*3mm 样品数量 1个 占地面积 2m*1.5m 5m*2m 5m*2m 选项附件: 1·材料在不同温度下的电输运性质正在被广泛研究。锦正茂提供四种温度环境。 2·液氮盒:样品可以直接泡在液氮里(77K)进行电输运测试。 3·液氮恒温器:如果需要详细研究材料的变温性质(80K~500K),可以选择液氮恒温器。液氮恒温器15分钟即可降至80K,结构轻巧,使用方便,同时有高温型可选择。 4·闭循环恒温器:如果需要详细研究材料的变温性质(2.8K~325K),可以选择闭循环恒温器。采用日本住友公司的压缩机和冷头,温度下等低达2.8K,不同的样品台和真空罩适用于不同的测试环境,如电学、光学或两者兼顾。 5·高温炉:锦正茂还自主研发用于电输运系统里的高温炉(325K~1000K),辐射加热受热均匀,内有四根可单独调整的探针,接触牢靠。通常用于高温霍尔效应的研究。 6·在电输运测量中,有些材料在不同波长的光下能得出不同的参数。这就需要在磁场或低温环境下引入光。 7·含光路的极柱和极头:在电磁铁的极头上开一个孔作为光路,使样品垂直于磁场时,光也能垂直照射在样品上。 8·遮光盒:室温下,如果样品对自然光敏感,建议选择遮光盒选件。低温下,恒温器的真空罩本身拥有遮光的作用。 9·旋转:室温下,标配的样品杆可以手动旋转。如果要准确测试磁阻材料的各向异性,可选择电动旋转样品杆。低温下,可以使温度选件固定,旋转电磁铁,实现旋转磁场的环境。 10·真空泵:恒温器一般需要在真空环境下获得高低温,真空泵是必须的。锦正茂提供干泵、机械泵和分子泵组等一系列产品,满足电输运系统里各种低温选件的需求。 11·循环水冷机组:用于磁场平台和低温平台的设备冷却。 电输运性质测量系统是一种用于物理学、化学、材料科学领域的物理性能测试仪器, 可以进行霍尔效应、I-V特性(电阻率)及磁电阻(MR)的测量; 可得出参数:霍尔效应――方块电阻、电阻率、霍尔系数、导电类型、霍尔迁移率、载流子浓度;I-V特性的MR的特性曲线包括:不同磁场下的I-V特性曲线;不同温度下的I-V特性曲线;不同磁场下的变温I-V特性曲线;不同温度下的变磁场I-V特性曲线;电阻随温度、磁场变化的特性曲线;P-B曲线。
北京锦正茂科技有限公司 2022-01-21
基于微流控的pH值在线检测系统
传统pH值测试方法大多采用取样的方式来测定溶液的pH值,对随时变化的工业废水的pH检测相对滞后,不能实时反应溶液酸碱性的变化,其结果是当检测到pH值偏离正常时,污染已经发生,不能在第一时间控制污染造成的损害。 本项目将pH指示剂固定在微流芯片中,当不同酸碱度的液体流经检测芯片时,特定波长透过光强发生变化,经光电二极管转化为电压信号,再经神经网络系统读出pH值,可实时反映流体pH值的改变,监控生产状况的变化及对污染进行实时报警。
东南大学 2021-04-11
低地板轻轨车牵引及辅助变流系统
简述:“十一五”国家科技支撑计划重点项目“ 100% 低地板轻轨车研制 ” 最新科技成果,由北京交通大学联合长春轨道客车股份有限公司、北京千驷驭电气有限公司等单位研制生产,拥有完全自主知识产权,采用矢量控制、防滑 / 防空转、零速停车、网络监测及故障诊断、数字高频控制等先进技术,具有结构紧凑、模块化、轻量化、低噪声、人性化等特点。装备该系统的我国首列 100% 低地板车已在长春轻轨进入试运营阶段。
北京交通大学 2021-04-13
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