已有样品/n已完成针对低、中、高压（10kPa-40MPa）MEMS 压力芯片的原型器件开发；能 够针对不同应用领域的 MEMS 压力芯片进行优化设计，解决提高灵敏度和降低非线 性、芯片长期工作稳定性的关键技术难题；原型芯片的研发技术符合工程量产化技 术要求，易于快速转化和量产；与国外知名公司产品相比，技术指标相当，部分指 标如灵敏度温漂系数相比优异。 MEMS压力传感器可应用于工业类仪器仪表、油井勘探、工业自动化控制中压力 监测、可穿戴、智慧医疗领域压力测量、汽车电子等领域。年需求量可达数千万只。

成果简介： 自然频率 55kHz-79 kHz 量程 Normal：9kPa-120kPa Extended：5kPa-160kPa 灵敏度 50-80Hz/kPa 一个大气压下（101.3kPa）的谐振频率 63 kHz-75 kHz 受温度的影响 15V±1.5V 驱动电压 50-80Hz/kPa

与现有技术相比，本技术对蓝藻的去除效率显著提高；不投加杀藻剂，不产生杀藻副产物，供水更安全；混凝剂大幅度节省，能耗很低，制水成本显著降低。本技术已完成理论研究、技术方法研究、小型设备开发、水处理实验。沉淀后蓝藻去除效率：蓝藻去除率从 70%提高到 90%以上；降低成本：省去杀藻剂，沉淀剂降低 30%~50%，运行能耗很小。水处理成本降低 0.1~0.12 元/m3；安全无毒：不再投加杀藻剂，藻毒素、藻液泄漏、杀藻副产物等有毒有害物质产量为零。

产品详细介绍产品名称:  EDA电子压力控制器产品型号:  EDA压力表，开关变送器一体化介质: 可兼容的液体或气体. 接液材质: 316L SS. 外壳: Glass filled plastic. 精度: ±1% of F.S. including linearity, hysteresis, and repeatability (indicator and transmitter). 稳定性: < ±2% of F.S. per year. 压力限制: Ranges up to 6,000 psi: 1.5 x range; 8,000 psi range: 10,000 psi. 温度限制: Ambient: 20 to 140°F (-6.6 to 60°C); Process: 0 to 176°F (-18 to 80°C). 补偿温度限制: 32 to 122°F (0 to 50°C). 热效应: ±0.05% of F.S./°F. 显示: 4-digit backlit LCD (Digits: 0.60"H x 0.33"W). 电源: 12 to 30 VDC/AC. 能耗: 2.5 watts. 电气连接: Removable terminal blocks with two 1/2" female NPT conduit connections. 封装等级: Meets NEMA 4X (IP65). 预热时间: <10 seconds. 安装方向: Any position. 重量: 1.18 lbs (535 g). 认证: CE and UL.  开关特性: 开关类型: 2 SPDT relays. 电气额定: 5 A @ 120/240VAC, 1 A @ 30 VDC. 重复性: ±1% of FS (switching only). 设定点: Adjustable 0-100% of FS. 开关指示: External LED for each relay on the front panel. 开关复位: Manual or Automatic.  变送器特性: 输出: 4-20 mA, 1-6 VDC, 1-5 VDC, 0-5 VDC, or 0-10 VDC (direct or reverse output selection). 最小激励电压: 14 VDC. 零满调整: Menu scalable within the range 显示单位: psi, kg/cm², bar, in Hg, ft w.c., kPa, MPa, %FS, in w.c., mbar, cm w.c., mm Hg, or oz/in² (choices depend on range).测试方式: Simulates input over the range without pressuring to easily test switches and transmitter output feature.故障保护: For sensor failure, over pressure, high temperature limit, low temperature limit, or keypad short. User chooses if relay is de-energized, energized, or no action. With transmitter option, user chooses an output of 3.6 mA 22 mA, or no action.交替: Selectable alternation of set points between the relays for even wear on duplex pump applications.

液晶背光显示，触摸式按键； 多种固定模式和自定义模式可供选择； 6级不同冷空气排放程序； 100小时倒计时预约功能； 具备故障检测功能和多重安全保障； 灭菌温度：105~135℃； 工作压力：0.22MPa

本发明公开了一种评价路面平整性的压力测试装置及压力测试方法，装置包括薄膜压力传感器、多通道信号采集与调制一体机和计算机/服务器；薄膜压力传感器和多通道信号采集与调制一体机通过防干扰线缆连接；测试时，首先将装置置于工程机械零部件中，在工程机械零部件与路面的空隙间铺设双层橡胶垫；其次将薄膜压力传感器的圆形感应区探头夹在双层橡胶垫之间，通道信号采集与调制一体机记录传感器所在测点的压力数据，计算机/服务器处理压力的时域、频域分布特性；最后提取各测点的压力均方根值，绘制测点的压力值横向/纵向分布曲线，进一步评价路面平整性；本发明操作简便、测量精度高、适用广泛，在路面动态平整性监测中具有一定的前瞻性。

光纤光栅压力传感器通过承压端头将压力传递到敏感元件光纤光栅， 检测光纤光栅的反射光信号波长的移动来获得压力值。传感器内部压力 敏感元件和传输线路全部为单模光纤，不带电，不受电磁干扰和射线的 影响，可以长期稳定工作于强电磁干扰及易燃易爆危险环境。光纤光栅压 力传感器釆用单端双出纤方式，内置有测温光纤光栅，可同时进行温度监 测和温度漂移补偿，并且在0. 5MPa~4MPa之间具有多种量程规格可供选 择，能够广泛应用于各种油气罐、油气井压力、水位的实时监