248-nm光刻胶研发与产业化

北京师范大学 2021-05-09

一种用于浸没式光刻的浸液温控系统

华中科技大学 2021-04-14

一种光刻机自动调焦方法及装置

华中科技大学 2021-04-14

一种纳米压印制备柔性透明表面增强拉曼散射基底的方法

华中科技大学 2021-04-14

一种纳米压印制备柔性透明表面增强拉曼散射基底的方法

华中科技大学 2021-04-14

一种多点接触模式下的大面积纳米压印硅模具加工方法

西南交通大学 2016-10-20

一种光刻机投影物镜波像差的测量方法

华中科技大学 2021-04-14

精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法

华中科技大学 2021-04-14

高分辨率电子电路光刻胶制备关键技术

江南大学 2021-04-13

基于转印激光刻蚀石墨烯的耐用可降解柔性应变传感器

东南大学 2021-04-13