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压电式物镜干涉台（博实）
产品详细介绍：压电式干涉物镜驱动台通过柔性铰链机构对压电陶瓷输出的位移进行直接或放大驱动，行程可从10微米至200微米。它具有位移大、纳米级控制精度、结构紧凑、体积小、频响高、便于物镜安装等特点。
哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司
2021-08-23
谐振式压力传感器
一、项目简介
MEMS压力传感器是基于MEMS工艺，把被测压力作用下膜的形变通过一定的规律转换成电信号的一种测压装置，众多MEMS压力传感器中，直接输出频率量的谐振式MEMS压力传感器具有最高的测量精度。高精度谐振式MEMS压力传感器在航天航空领域具有极大的用途。在飞机上，为了获得飞行的高度、速度等大气数据，通常需要测量压力。同时其在卫星和火箭发动控制系统、大气和宇宙数据检测系统中也是迫切需要的传感器，在国内外都有相当大的市场，在我国军事领域，谐振式MEMS压力传感器因其性能优越亦逐步应用到航天、航空、装甲车、舰艇等各兵种装备中。
二、技术成熟度
谐振式MEMS压力传感器工作于闭环激励状态来维持谐振，谐振器是其核心部件，传感器整体精度的高低在很大程度上由谐振器的机械品质决定，受电路参数变化影响较小。其次，技术体系成熟的MEMS技术包括硅基表面加工技术与体硅加工技术使得核心元件的加工生产变的有序可控。本课题组开发的MEMS谐振式压力传感器精度已经达到0.02%FS，各项工艺技术成熟可靠。
三、投产条件和预期经济效益
MEMS传感器核心的投产需要超净实验室(100级，1000级和10000级)和先进齐全的硅微加工设备，包括从制版、光刻、扩散、镀膜、刻蚀到抛光、键合等各种工艺设备。还需配备各种薄膜质量检测设备，可以完成从薄膜制备到测试分析的一系列研究，同时需要具有SEM、TEM、XRD等大型设备，为MEMS相关项目研究的顺利开展提供充分的设备保障。在经济效应方面，其市场规模在2009年就达到了59.1亿元，其中，压力传感器占据市场份额的25%，目前国内同类传感器进口收到限制，较低端的传感器每只约2.0万元人民币，按照各行业每年平均所需，年产5000只压力传感器，可获年产值约1亿元人民币。
厦门大学
2021-01-12
自供电式压力传感器
一、项目分类
关键核心技术突破
二、成果简介
作为信息监测的窗口，压力传感器在我们生活中的应用越来越广泛。通过压力传感器我们可以实现人体活动状态和电池内部健康状况的实时监测，以及潮汐洋流的经过、水位的涨落等，从而对危险情况作出判断。根据传感机理压力传感器可分为摩擦电型、压电型、电容型及压阻型四大类，其中电容型和压阻型传感器的探测范围限制于低压探测，严重制约其在高压范围中的应用，且需外接电源不适用于长期监测。摩擦电型和压电型传感器具有自供电功能，但这两类传感器不适用于静压探测。并且，目前以上四类传感器均不能直接应用于电解液环境中，器件封装导致传感器灵敏度受限是目前的痛点难题之一。
华中科技大学
2022-07-27
无线式数字化传感器
产品详细介绍无线系列无线力传感器、无线光电门传感器、无线显示模块
江苏苏威尔科技有限公司
2021-08-23
基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法，包括玻璃基片和微流 控芯片基片；玻璃基片上集成有两相平行的 P(VDF-TrFE)电纺丝薄膜条；微流控芯片基片制作有微沟道 和分布于微沟道两侧的电极凹槽；微流控芯片基片还设有进样口、出样口和银浆注入口，进样口、出样 口与微沟道两端连通，银浆注入口与电极凹槽连通；玻璃基片和微流控芯片基片键合，?P(VDF-TrFE) 电纺丝薄膜条位于微沟道和电极凹槽底部。本发明制作简单，成本低廉
武汉大学
2021-04-14
一种用于电流体喷印的压电式集成喷头
本发明涉及电流体动力喷印设备领域，具体涉及一种用于电流 体喷印的压电式集成喷头，包括外部支架、压电结构、喷头、下电极 支撑环和下电极环，压电结构位于喷头上方，喷头上部设置有一上电 极，喷头下方依次设置有下电极支撑环和下电极环，压电结构和上下 电极通电后，在喷射头和下电极环之间形成电场，从而使溶液在喷射 头处形成泰勒锥。本发明的压电式集成喷头克服了现有的电喷印设备 不能满足高频喷射的缺陷，能够实现高频高分辨率的打印，将下电极 集成到喷头端，使得整个喷印系统更加灵活，能够使用复杂形状的基 板进行打印，还
华中科技大学
2021-04-14
硅微谐振式压力传感器
本硅微谐振式压力传感器采用自主设计的膜片——谐振梁式复合敏感结构、自主探索的工艺流程和自主研发的信号处理技术，具有优良的稳定性和灵敏度，且敏感结构比国外同类产品简单，适合国内工艺水平现状。 该传感器用于大气压力测量或液体压力测量，在气象、航空、石油、化工、电力等领域应用前景广阔。目前，该技术已达到小批量样机生产的实用要求。
北京航空航天大学
2021-04-13
USB式系列数字化传感器
产品详细介绍USB系列电压传感器、微电压传感器、多量程电压传感器、多量程电流传感器、电流传感器、微电流传感器、毫电流传感器、电流传感器、温度传感器、热辐射传感器、快速温度传感器、表面温度传感器、高温传感器、力传感器、位移传感器、光电门传感器、加速度传感器、转动传感器、光强传感器、磁场传感器、声音传感器、G-M传感器、光强分布传感器、气体压强传感器、相对压强传感器、滴定计数器、PH传感器、电导率传感器、气中氧传感器、溶氧传感器、二氧化碳传感器、湿度传感器、色度计、浊度计、心电图传感器、呼吸传感器、氧化还原传感器、二氧化硫传感器、亚硝酸离子传感器、气体酒精传感器、氯气传感器、风速传感器。
江苏苏威尔科技有限公司
2021-08-23
光纤传感器
本反射式强度调制型光纤传感器具有耐高温、耐高压、灵敏度高以及不受电磁干扰等诸多优点，能够在强磁场环境、高温环境、非导磁性转子等环境下工作。 可用于旋转机械位移、油膜厚度等的非接触在线测量，也可应用于航天、航空中 微小间隙的非接触测量。
西安交通大学
2021-04-11
纳米传感器
研发阶段/n内容简介：本项目通过与德国最大纳米技术研究中心合作，采用纳米技术研制成的纳米传感器，具有尺寸大幅度降低，而敏感性大幅度提高等特点，且具有良好的力学性能，抗紫外性能。应用领域：纳米传感器是工业部门和军事部门的大宗产品，由于其小尺寸，高敏感性且综合性能优异，成本低，是大宗传统传感器的替代品。适用于建筑物、车、船、飞机和宇航等领域的传感和探测。生产条件：微电子半导体技术生产设备。市场前景：纳米传感器是传统传感器应用领域的替代品，应用广泛而产量极大。一般的传感器由于其材料不具备特殊性能，所以敏感
湖北工业大学
2021-01-12