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一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由 装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与 缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所 述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞（104），以及控制输出主管路的 第二开关阀（105）构成。本发明通过固定空间的气体体积变化，每次 稳定的排出等量前驱体，保证定量输出前驱体，能够更好的适应于前 驱体用量优化分析及在线监测系统分析。
华中科技大学
2021-04-11
一种原子层沉积前驱体输出装置
本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞（104），以及控制输出主管路的第二开关阀（105）构成。本发明通过固定空间的气体体积变化，每次稳定的排出等量前驱体，保证定量输出前驱体，能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。
华中科技大学
2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所 述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内 用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉 积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置， 包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原 子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置 在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片 承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高 效快速的制备多元物质原子层沉积膜，所述装置，能方便的通过现有 原子层沉积系统组装，兼容性强，功耗低，沉积效率高。
华中科技大学
2021-04-11
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
本发明公开了一种多元物质原子层沉积膜制备方法和装置，所述方法，即使基片相对于原子层沉积反应腔直线运动，依次通过其内用于完成不同原子层沉积的原子层沉积系统，基片通过每个原子层沉积系统时：调整基片温度为相应原子层沉积反应最适温度。所述装置，包括原子层沉积反应腔、基片承载台、运动平台和温度控制装置；原子层沉积反应腔依次设置有多个原子层沉积系统；基片承载台，设置在原子层沉积反应腔下方；运动平台，与基片承载台连接，带动基片承载台运动；温度控制装置，设置在基片承载台下方。所述方法能高效快速的制备多元物质原子层沉
华中科技大学
2021-04-14
一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置
本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体，供应系统，真空系统，加热系统，监测系统和控制系统，其特征在于，供应系统包括流化气源，流化气通过流化气输送支路进入反应腔体，用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能，提高了粉体包覆的效率。
华中科技大学
2021-04-14
一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
本发明公开了一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置。用于制作原子层沉积膜的喷头，包括进气管路、进气口和出气口；所述进气口内部为空腔；所述出气口内部形成空腔，分为上半部分和下半部分，其上半部分与下半部分之间设有漏斗形结构；进气管路与进气口固定连接，进气口与出气口可拆卸密闭连接。用于制作原子层沉积膜的装置，包括所述喷头、腔体支撑架、基片承载台和运动平台，腔体支撑架中间形成长条状镂空，可顺序设置多个可拆卸喷头，基片承载台设置在墙体支撑架下方，运动平台带动基片承载台。本发明能适应不同的原子层沉积反应，通
华中科技大学
2021-04-14
AIChE再度报道华东理工大学原子层沉积ALD多尺度模拟研究进展
近日，我校化工学院功能膜与电子化学品团队青年教师庄黎伟博士，与美国约翰霍普金斯大学、北卡罗来纳州立大学等单位合作，开发了一套原子层沉积（ALD）技术在多孔材料纳米孔道内进行薄膜沉积的数值模型，可用于预测2-5纳米孔道内前驱体扩散、吸附、脱附、沉积反应以及孔道收缩直至堵塞的动态过程。
华东理工大学
2022-09-28
深圳电镀锌层测厚仪，镀铬层测厚仪
产品详细介绍电镀层测厚仪,油漆涂层测厚仪产品型号:FE / NFE / 2NF一 、功能介绍 本公司的涂层测厚仪采用进口工业级元件，稳定性好，可靠性高，测量误差小，操作简单。广泛用于在防腐施工，制造业、金属加工业、化工业、商检等检测领域。FE可无损地测量磁性金属基体（如钢、铁）上非磁性覆盖层的厚度（如漆、粉末、塑料、橡胶、合成材料、磷化层、铬、锌、铅、铝、锡、镉、瓷、珐琅、氧化层等）。NFE可无损地测量非磁性金属基体（如铝、铜、锡、锌等）上非导电覆盖层的厚度（如油漆、氧化层,塑料、橡胶、珐琅等.) 2NF拥有上述“FE/NFE”的全部功能。二 、仪器特点 A、精小设计，携带方便B、操作简单，操作过程有蜂鸣声提示C、具有自动关机功能D、铁基和非铁基底材自动识别E、公/英制单位转换三 、技术参数 A、测量范围：0-1000/3000um（超过1000um要提前告知厂家）B、使用环境：温度：0℃-50℃, 湿度：20%RH—90%RH,无强磁场环境下使用C、公英制转换：um/mil转换D、最薄基体：0.4mmE、测量精度：±1%-3%F、分辨率：0.1um/1umG、外形尺寸：130mm×75mm×35mmH、重量：180GI、电源：二节（5号）碱性电池四、标准配置 涂层测厚仪主机 1 台铁基金属片 1 片膜片 4 片5号碱性电池 1 对说明书（内附保修卡）1 本合格证 1 份保修期：一年免费保修。www.yida998.com
东莞意达电子有限公司
2021-08-23
层架标
1.标签使用了防冲突的运算法则，以避免在同时读写多个标签是有数量限制，多个标签同时读取时，彼此不受干扰。
2.有效识读距离单独标签读取30~50mm，符合书架、盘点等设备读取要求。
3.读写标签信息提供密码保护功能，防止存储在其中的信息资料被随意读取和写入。
4.使用专用胶粘贴于书架表面，粘性可靠，对书架无腐蚀性，表面可根据图书馆要求印刷内容。
5.结合客户现场书架位置印制层架位信息，对最大读取距离进行控制，防止盘点时读取到邻近的层位标签。
深圳市中图信息技术有限公司
2021-08-23
小型化原子器件
成果创新点 主要技术创新路径（如涉及技术秘密，可简略描述）： 利用多反射腔将原子磁力仪小型化的同时将检测灵敏 度提高一个量级，最终好于 50 fT/Hz1/2。引入微纳加工手 段，将产品标准化，从而可进行批量化生产。可进一步应 用于原子陀螺。 技术成熟度 关键技术研发阶段 市场前景 1.与医院合作用于生物磁场测量和可移动式磁成像； 2.共磁力仪用于惯性测量。
中国科学技术大学
2021-04-14