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一种原子层沉积前驱体输出装置
华中科技大学 2021-04-11
一种原子层沉积前驱体输出装置
华中科技大学 2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
华中科技大学 2021-04-11
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一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置
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一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
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工模具表面的液中放电沉积陶瓷层技术
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混合自组装分子层修饰的基底表面沉积纳米金颗粒的方法
华中科技大学 2021-04-14
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