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一种原子层沉积前驱体输出装置
华中科技大学 2021-04-11
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华中科技大学 2021-04-14
一种多元物质原子层沉积膜制备方法及装置
华中科技大学 2021-04-11
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一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置
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一种用于制作原子层沉积膜的可拆卸喷头及装置
华中科技大学 2021-04-14
小型化原子器件
中国科学技术大学 2021-04-14
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中国科学技术大学 2023-05-16
一种能提高原子束密度的原子发生器
华中科技大学 2021-04-14
小型铷原子频标
中国科学院大学 2021-01-12
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