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超精密温度控制装置
针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题,设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置,目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上,涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品,采用主动温度控制方法,解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题;设计了具有功能模块化的温控层次结构,解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题,控温速度快;研制了大功率串联半导体制冷模块,结合模糊PID控制算法,提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项
电子科技大学 2021-04-14
超细晶高强钢
本项目经过多年研发,掌握了一种粉末冶金超细晶粒(均小于5微米)高强度钢(抗压强度达到2000MPa以上)的制备技术,该新型材料可用于高精度模具、精密齿轮、高强轴承等高精部件的制备。
西南交通大学 2015-01-26
手套用超纤革
山东同大海岛新材料股份有限公司 2021-08-31
超净工作台
最大功率(KW) : 1.1KW (含备用插座),操作台侧面备有插 座,方便其它设备用电,无需另接电源。 荧光灯/紫外灯规格及数量14W X2/8WX2 在送风系统设置“阻泄露”技术的优质HEPA FILTER器装置, 对于0.3um的尘埃颗粒捕集效率》99.99%,确保达到洁净度 IS05 级。 过滤材料:采用进口滤膜,材质为硅硼酸盐超细玻璃纤维,满 足使用条件下的温度、湿度、耐腐蚀性和机械强度的要求,无 释放对人员、环境和设备产生不利影响的物质。 风机系统采用可调风量风机系统,轻触型开关调节电压,保证 工作区风速始终处于理想态。 滑动前窗采用进口悬挂升降系统,使用钢化安全玻璃能任意升 降定位技术,可靠性,无故障、免维护,并能完全关闭以便灭 困O 箱体及操作台面材质箱体采用优质冷轧钢板烤漆处理,操作台 面为304不锈钢。 安全互锁功能照明和紫外灯具有安全互锁功能,具有紫外灯预 约定时开关功能。
中矿创新实业集团有限公司 2021-12-08
超净工作台
应用领域: 超净工作台是开展生物技术研究和实验必不可少的基础设备之一,该设备广泛应用于生物制药,生物化学,环境监测及电子仪器仪表等行业,供操作区空气净化使用。 ◆产品特点 1.垂直层流送风,防止操作室内部样品相互交叉污染。 2.采用超高效无隔板过滤器,对0.3微米的颗粒过滤效率达到99.99%(操作区洁净度远高于100级). 3.高品质离心式,超低噪音风机。 4.正压式过滤系统,确保工作区域为无尘无菌环境。 5.人体工程学60倾斜角操作面,减轻操作者压迫感; 6.工作台面选用优质304不锈钢材质,美观、易清理、耐腐蚀。 7.箱体表面采用静电喷涂工艺,耐酸碱,美观大方。 8.前窗采用全钢化玻璃视窗及配重平衡,既可保证操作者的人身安全又任意升降,定位灵活, 工作区内配备多功能插座,为操作者提供便利。两侧为透明玻璃视窗,内外通透美观舒适。  9.分体式结构,下设角轮. 10.标配液晶智能控制器,具有高效过滤器失效报警功能、压差显示功能、 紫外杀菌定时功能、温度显示功能、预约开机功能、累计工作时间功能;手动调风速。
北京亚泰科隆仪器技术有限公司 2021-12-08
厚板超窄间隙旋转电弧焊接技术及成套装备
厚板焊接作为我国核电、船舶、石化等领域重大装备的关键制造技术,对低热输入、高效率、高质量的新型焊接方法升级需求极其迫切。窄间隙焊接技术因采用窄且深的坡口,在厚板焊接时具有效率高、填充量少、热输入小、变形小等优势,在提高焊接效率和焊接质量等方面具有重要应用前景。目前,该类技术在国外核电、船舶等行业广泛应用,技术较为成熟。而我国窄间隙焊接技术研究起步较晚,在大厚板核心焊接设备、工艺及材料均受制于人,尤其针对我国国防重点企业,存在“卡脖子”风险。高端焊接装备依赖于进口,价格高昂。国外主要生产厂家包括法国宝利苏迪、日本日立公司、美国电弧机器等,国内生产厂家华恒、唐山开元等依赖于国外企业的专利授权。 国际和国内现有技术一般采用钨极摆动、陶瓷片约束、横向交变磁场等控制电弧周期性地在两侧壁之间燃烧,存在装置复杂、母材被磁化或间隙较大等缺点。为解决窄间隙焊接侧壁熔合的难题,课题组另辟蹊径,创新性地提出了一种具有完全自主知识产权的“厚板超窄间隙旋转电弧焊接技术及成套装备”新技术。该技术突破了现有窄间隙钨极氩弧焊接(NG-GTAW,narrow-gap gas tungsten arc welding)工艺的局限性,已实现壁厚50 mm超窄间隙焊接,能够更为可靠、简便地解决侧壁未熔合缺陷问题。相对于国内外的现有技术,该技术形成的旋转电弧能够有效改善电弧热量及压力的均匀性,在保证熔敷金属质量均匀的同时避免熔深过大,具备高质量、高效率的突出优势,达到国际先进水平,已在国防、核电、QT等工业领域推广应用。同时,研究团队自主设计研发了面向核电、石化、船舶等装备的大厚板非轴对称旋转钨极超窄间隙GTAW成套装备(图1),可实现板厚超过150 mm、窄间隙5 mm——9 mm的厚壁材料高质量自动化焊接。 图1 大厚板非轴对称旋转钨极超窄间隙GTAW成套装备 该设备特别适用于厚壁不锈钢焊接、钛合金、980高强钢、9Ni钢等特种材料,在核电、军工、石化等领域具有广泛的应用前景。目前处于国际先进水平的宝利苏迪公司生产的单套设备售价高达380万元,国产设备售价也达到150——200万元水平。而自主设计研发的设备单套成本仅约30万元,能够产生巨大的经济效益。
山东大学 2025-02-08
Q波段连续波曲折波导行波管
曲折波导行波管是传统螺旋线和耦合腔行波管的折中,具有较宽的工作带宽和较大的功率容量,在毫米波和太赫兹频段具有独特的优点。为了进一步提高器件的性能,研制了新型慢波结构,以及毫米波段新型慢波结构真空电子器件。研制成功的Q波段连续波曲折波导行波管突破了高效率曲折波导慢波结构设计、加工与装配、大电流密度电子枪、大功率连续波输出等关键技术,实现了大功率输出。 曲折波导慢波结构 Q波段连续波曲折波导行波管应用于卫星通信、电磁干扰等装备系统中。
电子科技大学 2021-04-10
太赫兹波传输和调控功能器件
太赫兹(THz)科学技术既是重大的基础科学问题,也是国家的重大需求。然而,作为一段全新的的电磁波谱,实现THz波传输与控制的相关器件极为匮乏,大大限制了THz科学技术的发展及应用。本项目提出了THz波物质探测、低损传输、高速控制的新理论和新技术,研制出多种实用化THz功能器件。本项目的主要成果包括:(1) 提出了THz波吸收的理论模型,研制出吸收率达到85%以上的窄带、多带和宽带太赫兹吸收材料,解决了传统电磁波吸收材料无法有效工作于THz频段的技术难题;(2)提出“人工电磁结构”与“电子功能材料”相结合构建可调谐太赫兹功能器件的思想,研制出开关速率达到0.1ms的太赫兹开关、调制速率达到10Mbps的太赫兹波调制器,带内透射达到80%的太赫兹带通滤波器,以及高效太赫兹功率衰减器;(3)基于高阻Si的深能级掺杂技术和石墨烯二维晶体材料,研制出宽带太赫兹波空间调制器,开关速率达到5MHz,空间调制面积达到3英寸,为提高太赫兹成像速率和分辨率奠定了基础;(4)提出极化约束实现太赫兹波导低损耗传输的新概念。基于“聚合物空芯波导”与“周期性金属光栅结构”的集成,研制出一种双面光栅聚合物空芯波导实现了单模的传输,大幅度降低太赫兹传输损耗到0.68dB/m,达到了实用化的要求。 这一研究成果既加深了对THz波谱特性和基本物理现象的理解,也解决了THz传输、控制、波谱识别和应用成像的多个关键科学问题。本项目成果的实施,可望实现载波300GHz以上高速无线通信,为太赫兹波无线通信、雷达探测、医疗诊断以及以及波谱成像等应用系统提供了重要的技术支撑。在Appl. Phys. Lett., Sci. Rep., Opt. Lett., Optics Express, J. Opt. Soc. Am.等国际主流期刊上发表SCI 论文66 篇。申请国家发明专利22 项,已授权专利7 项,获得教育部自然科学一等奖1项。跟国内外综合比较,本项目的研究成果总体上处于国际先进水平,对推动太赫兹科学快速进入实际应用领域具有重要的科学意义。
电子科技大学 2021-04-10
微波/毫米波大功率计
微波毫米波大功率计主要完成微波/毫米波领域大功率测试,是监测微波毫米波器件性能的关键测试仪器/设备。 团队研制的微波/毫米波大功率计可以完成平均功率20kW以上电磁波能量的测定。
电子科技大学 2021-04-10
Q波段连续波曲折波导行波管
曲折波导行波管是传统螺旋线和耦合腔行波管的折中,具有较宽的工作带宽和较大的功率容量,在毫米波和太赫兹频段具有独特的优点。为了进一步提高器件的性能,研制了新型慢波结构,以及毫米波段新型慢波结构真空电子器件。研制成功的Q波段连续波曲折波导行波管突破了高效率曲折波导慢波结构设计、加工与装配、大电流密度电子枪、大功率连续波输出等关键技术,实现了大功率输出
电子科技大学 2021-04-10
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