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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温
华中科技大学
2021-04-14
一种利用储能装置补偿风电场虚拟惯量的方法
本发明公开了一种利用储能装置补偿风电场虚拟惯量的方法； 该方法采用大约 5％风电场额定装机容量的储能装置可以使得风电场 产生与等容量同步发电机差不多的虚拟惯量效果。本发明通过测量风 电场出口母线处的频率偏差、频率变化率，经过模糊逻辑处理后产生 储能装置需要输出的有功指令。储能装置按照该指令输出功率补偿风 电场的虚拟惯量。本发明有效评估了储能装置容量需求，可以用于指 导风电场的储能容量配置；而且其控制器结构简单可靠、易于实现， 为“友好型”风电场开发提供了基础，利于电网对大规模风电的消纳， 提高风电并
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2021-04-14
一种补偿粒子速度影像仪球面像差的方法及装置
本发明公开一种补偿粒子速度影像仪球面像差的方法，所述方法为：在粒子速度影像仪提取极电极板添加跳变电压，以在聚焦电场的基础上添加发散电场，从而补偿原有静电聚焦透镜球面像差。本发明还提供一种补偿粒子速度影像仪球面像差的装置，所述装置包括与粒子速度影像仪提取极电极板连接的跳变电压控制单元，用于在提取极电极板上产生跳变电压。本发明可补偿粒子速度影像仪补偿原有静电聚焦透镜球面像差，实施本发明无需改变原有装置结构，实施简便、成本低、成像分辨率高。
华中科技大学
2021-04-14
一种凸轮从动件运动规律的标定装置及方法
本发明公开了一种凸轮从动件运动规律的标定装置及方法，其 包括机架、凸轮副机构、激光检测机构和控制装置，凸轮副机构包括 相互配合的凸轮机构和从动机构，从动机构上固联有随动标定辅具； 激光检测机构包括平面二维调整平台、高度调整平台和激光位移传感 器测量头，平面二维调整平台通过直角支承座安装有竖直布置的高度 调整平台；激光位移传感器测量头通过一体式夹持器固装在高度调整 平台上，并置于随动标定辅具的上方；控制装置用于控制凸轮机构、 从动机构和随动标定辅具动作，并控制所述激光位移传感器测量头进 行在线测量，根
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2021-04-14
一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置及剥离方法
本发明公开了一种面向柔性芯片的多顶针剥离装置，包括固定 座、双真空腔室、多顶针机构和凸轮旋转驱动机构，其中：双真空腔 室由分设在内、外侧的真空内腔室和真空外腔室共同组成，并且真空 内腔室还可独立发生上下滑动；多顶针机构由同轴安装且彼此独立操 控的内外圈顶针机构共同组成，它们沿着竖直方向整体设置在真空内 腔室下部，并各自包括顶针、支撑架和从动子；凸轮旋转驱动机构用 于实现内外圈顶针机构上下动作时序的控制，同时实现单顶针与多顶 针之间的灵活切换。本发明还公开了相应的剥离工艺方法。通过本发 明，能够显著提
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2021-04-14
一种适用于芯片转移的倒装键合控制方法
本发明属于芯片贴装工艺相关领域，并公开了一种适用于芯片 转移的倒装键合控制方法，主要包括：基于大转盘仰视相机和晶元盘 斜视相机的观测和配合，对芯片从晶元盘至大转盘单元的吸附转移执 行角度及位置控制；基于大转盘俯视相机和小转盘侧视相机的观测和 配合，对芯片从大转盘单元至小转盘单元的拾取转移执行角度及位置·108·控制；以及基于小转盘仰视相机和小转盘俯视相机的观测和配合，对 芯片至基板的贴合过程执行相应控制。通过本发明，不仅能够实现芯 片高效倒装键合整个过程中芯片在位置及角度
华中科技大学
2021-04-14
一种基于微流控技术的柔性电子制作方法
本发明公开了一种基于微流控技术的柔性电子制作方法，其包 括以下步骤：提供一个同轴针头；提供柔性聚合基底材料，并在所述 柔性聚合基底材料内添加表面活性剂以形成柔性组合物；提供平板， 并在所述平板的表面上涂一层预定厚度的所述柔性组合物；将所述柔 性组合物及导电液体分别置于两个微型泵内，并将两个所述微型泵的 出口分别连接于所述同轴针头；先后开启收容有所述导电液体的微型 泵及收容有所述柔性组合物的微型泵，并基于微流控技术分别控制两 个所述微型泵的压力及流量；待所述同轴针头内的所述柔性组合物与 所述导电液体之
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2021-04-14
一种快速低能耗制备铝酸三钙的方法
本发明涉及一种快速低能耗制备铝酸三钙的方法，以分析纯四水硝酸钙 Ca(NO3)2·4H2O、分析纯九 水硝酸铝 Al(NO3)3·9H2O 和分析纯一水柠檬酸 C6H8O7·H2O 为原料，加入适量去离子水制成溶液后在 50?65°C搅拌 40?60?min;接着用分析纯浓硝酸 HNO3 和分析纯浓氨水 NH3·H2O 调整溶液的 pH 值为 5?7， 继续搅拌
武汉大学
2021-04-14
一种基于 HBase 的大数据存储与检索方法及系统
本发明公开了一种基于 HBase 的大数据存储与检索方法及系统，本发明基于数据文件字段映射表， 利用 HBase?Thrift 客户端，通过定义好的 RowKey 表达式生成行键，将按行存储的数据导入到 HBase 数 据库中。在保持一致性的前提下，将数据对象的多特征值按照多种组合方式加入形成行键，与普通列值 数据组成 HBase 数据行，按不同行键组成方式存放在多张 HBase 数据表中，进行多特征值数据检索时 根据行键中的几个特征值匹配可快
武汉大学
2021-04-14
―砖-泥‖结构的多敏感壳聚糖凝胶及其制备方法和应用
本发明公开了一种砖-泥结构的多敏感壳聚糖凝胶及其制备方法和应用。先把蛋白质负载到一种无 机纳米材料—层状双金属氢氧化物上，再用电化学的方法与壳聚糖溶液混合共沉积，得到层状双金属氢 氧化物和壳聚糖相互交替的多层结构复合凝胶。通过对壳聚糖-LDH 复合凝胶在分别含有不同离子、不 同 pH 值以及施加不同电压的溶液中胰岛素的释放，显示出了该凝胶具有离子、pH 值、电敏感的特性， 表明其可以通过离子、pH 值以及不同电压对药物进行精确地可控制释放。本发明反应
武汉大学
2021-04-14