一种具有曲面聚焦阵列的高频超声换能器及其制备方法

高端装备制造

本发明公开了一种具有曲面聚焦阵列的高频超声换能器及其制

备方法，所述高频超声换能器包括曲面衬底，所述曲面衬底的上表面

为弧度 60°～180°的环形，所述曲面衬底的上表面的全部或部分区

域覆盖有曲面聚焦阵列，所述曲面聚焦阵列的底部为高度 4μm～20

μm 的底电极，所述底电极之上设置有 16 个～256 个平行设置的弧形

阵元，所述弧形阵元的底部为高度 7μm～100μm 的铌镁酸铅钛酸铅

厚膜，顶部为高度 100

未应用