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一种微机电系统的圆片级真空封装方法
一种微机电系统的圆片级真空封装方法,属于微机电系统的封装方法,解决现有封装方法存在的问题,使得微型真空腔长时间保持真空,满足十年以上使用寿命的要求。本发明包括:刻蚀步骤:在盖板圆片上对应硅基片 MEMS 器件的位置刻蚀相应空间尺寸的凹坑,再环绕凹坑刻蚀环形凹槽;吸气剂淀积步骤:在所述凹坑和凹槽内淀积吸气剂薄膜;键合步骤:在真空环境下将盖板圆片和硅基片紧密键合。本发明解决了现有封装方法存在的真空保持时间短、密封质量低、可靠性差、成本高的问题,可以长时间保持微型腔体内的真空度,极大的推动圆片级 MEMS
华中科技大学 2021-04-14
水轮机调节系统高阶数学模型的降阶方法
一种水轮机调节系统高阶数学模型的降阶方法,包括如下步骤:①简化系统分母的最高次项,实现 系统的一次降阶,得到一次低阶等效系统式;②从波动叠加的角度出发,将一次低阶等效系统式变换为 两个 2 阶子系统相加的形式;③进行拉普拉斯反变换,得到水轮机调节系统的一次低阶等效系统在负荷 阶跃扰动下的机组转速响应波动方程;④对完整 5 阶系统式进行二次降阶;⑤利用二阶系统进行水轮机 调节系统转速响应调节品质的影响因素分析。其优点是:较之其他降阶方法,本方法是
武汉大学 2021-04-14
一种多向地震动综合持时的预测方法
本发明公开了一种多向地震动综合持时的预测方法,包括:步骤 1,根据 Arias 强度定义获得地震 动各预设方向加速度的 Arias 强度;步骤 2,根据已有的地震动加速度的单向持时定义,分别计算地震 动各预设方向加速度的单向持时,所述的单向持时为括号持时、一致持时或能量持时;步骤 3,以 Arias 强度为权重函数,对地震动各预设方向加速度的单向持时进行加权平均,得地震动综合持时。本发明综 合考虑了各方向上强震持时对结构的影响,能较准确地评价地
武汉大学 2021-04-14
先验地理信息辅助下的光学遥感影像舰船检测方法
一种先验地理信息辅助下的光学遥感影像舰船检测方法,包括建立港口和海岸线相关的先验地理信 息库,得到纠正后的待检测遥感影像;进行区域分割提取边界线,根据海岸线矢量库获取海岸线矢量, 进行海岸线变化检测;海陆分离得到海面区域和靠岸区域;针对海面区域,先基于多视觉显著性进行舰 船疑似目标检测,再基于多特征的机器学习方法在舰船疑似目标中检测舰船;针对靠岸区域,进行全局 显著性检测得到初始的疑似区域,再根据形态信息进行图像分割获取最终的疑似区域,之后利用
武汉大学 2021-04-14
一种计算三维点云模型骨骼的方法
本发明公开了一种计算三维点云模型骨骼的方法;本发明首先通过使用逐步细分的策略将三维点云 模型均匀体素化;此后,使用快速行军算法,计算出模型内部体素点的距离域;然后,使用距离域计算 出模型的初始骨骼;最后,将初始骨骼与 L1 中值骨骼提取算法融合,生成基于距离域的 L1 中值骨骼提 取算法,快速准确计算出模型骨骼;与现有的三维点云模型骨骼提取方法相比,本发明处理带有大量噪 声点、奇异点和大面积点云缺失的点云模型,而且不会产生错误的骨骼连接,同时不
武汉大学 2021-04-14
面向5G前传的高速半导体激光器
5G新基建是国家的重要发展战略,宽温高可靠的25Gb/s DFB(分布反馈)激光器芯片是5G光传输核心光芯片,也是当前5G建设的卡脖子问题之一。自主可控的5G光模块DFB激光器芯片对解决光通信“空芯化”问题,推进“中国芯”国家重大战略实施,保障我国通信基础设施安全具有重要的经济和社会效益。因DFB激光器的微分增益随温度上升迅速下降,常规的DFB激光器面临严重的高温高带宽瓶颈。面对5G应用要求的-40~85℃的宽温应用场景,常规DFB激光器芯片往往是超频运行,严重影响可靠性。因此,研制全国产宽温25Gb/s DFB激光器芯片,同时兼顾低成本高可靠需求对推进“中国芯”国家重大战略实施具有重要意义。 本成果创新性地提出一种沟中沟脊波导DFB激光器结构,相比较常规DFB激光器,在脊两侧对称的刻蚀两个沟槽。此结构可抑制注入载流子的横向扩散,提高对光场的束缚,提高芯片带宽,满足芯片高速工作需要。芯片的高温输出光功率大于10mW,单模抑制比大于40dB,实测宽温25Gb/s眼图及误码率均达到商用需求。同时,相比较常规芯片,其制作过程只需多加一步简单的刻蚀,无需二次外延,成本低,做了2000小时的老化试验,其功率变化小于0.5%,具有高可靠性。 图1(a)常规DFB激光器芯片截面图(b)新型沟中沟脊波导DFB激光器芯片截面图(c)新型沟中沟脊波导DFB激光器芯片概图(d)(e)(f)分别为常规芯片、沟脊距为2μm、沟脊距为6μm SEM图 图2(a)(b)(c)25℃、55℃和85℃下不同沟脊距与常规芯片响应曲线对比(d)25℃、55℃和85℃下不同沟脊距与常规芯片响应带宽对比,带宽可提高3GHz 25℃和3.7GHz 85℃下芯片25Gb/s眼图(g)25℃、55℃和85℃下芯片背靠背传输及10km传输误码率曲线 图3(a)(b)25℃和85℃下常规芯片与沟中沟脊芯片2000小时老化实验结果,功率变化小于0.5%
华中科技大学 2022-10-11
工业危险气体泄漏的非制冷红外成像检测技术与装备
本项目研究突破了宽波段非制冷IRFPA、检测波段优选、宽波段红外物镜、微弱气体图像滤波增强、检测系统性能评价等理论和关键技术,实现了对典型工业危险气体(烷烃、烯烃,氨气、六氟化硫、二氧化碳、二氧化硫等)泄漏的远距离成像检测和定位,经过专业检测基地和工业现场检测验证,性能达到国际同类产品的先进水平。 一、项目分类 关键核心技术突破 二、技术分析 危险气体泄漏是当前工业重大安全隐患之一,迫切需要能够及时发现泄漏隐患,定点预防重大工业危险气体泄漏事故的先进检测技术与装备。基于气体特征吸收峰的红外光谱检测是泄漏气体非接触遥测的有效途径, 采用制冷型红外焦平面探测器(IRFPA)已被证明是工业气体泄露遥测的有效手段,但高昂的价格,且工作寿命也难以适应石油天然气与化工行业昼夜连续工作的要求。近年来非制冷红外焦平面探测器性能的迅速提高,使其用于工业气体泄漏红外成像检测成为可能。 本项目提出基于非制冷IRFPA 的工业气体泄漏成像检测技术思想,并2011 年起陆续获得北京市自然基金和首都科技条件平台科学仪器开发培育项目的支持,针对非制冷 IRFPA 灵敏度偏低,长波红外波段偏窄等问题, 研究突破了宽波段非制冷IRFPA、检测波段优选、宽波段红外物镜、微弱气体图像滤波增强、检测系统性能评价等理论和关键技术,实现了对典型工业危险气体(烷烃、烯烃,氨气、六氟化硫、二氧化碳、二氧化硫等)泄漏的远距离成像检测和定位,经过专业检测基地和工业现场检测验证,性能达到国际同类产品的先进水平。在完成工程样机基础上,近期与北京智慧共享合作研制完成在线式产品样机,现场应用示范效果明显,具备批量生产的基本转化条件。
北京理工大学 2022-08-17
一种井下工具的自润滑滑动轴承节
1)自润滑滑动轴承节能承受较大的径向载荷;2)简化轴承的更换步骤;3)延长轴承的使用寿命;4)自润滑层的材料具有耐磨、摩擦系数小等特点;5)丝杠通过下端部的螺母固定,能保证滑动轴承外圈位置的固定,提高滑动轴承的稳定性。
西南石油大学 2016-02-29
双重(三重)差分模型在政策评价中的运用
双重(三重)差分模型通过设置交互项来分析政策效应,在政策评价领域具有明显优势。该研究设计的优势在于:第一,通过将改革引起的结局变量时间前后差异和组织内外部因素引起的结局变量的差异结合起来,以反映改革的效应。第二,其他因素的影响,如研究阶段内可能存在其他政策,这些政策可能与本研究关注的结局相关。如果这些政策对不同组别的影响不一致,那么排除这些政策就可能会产生偏倚。如果研究样本当中这些因素分布不均衡,就应该对这些非随机的因素进行控制以稀释它的不同影响。尤其是在评价宏观事件的影响时,因为在研究设计上无法找到一个符合实际的合理的对照组而对控制其他改革效应带来了难度。双重差分可提供一个罕见于其他相关研究的机会,通过政策实施前后结果取差来排除没有考虑到的因素的存在以及由于它们的存在可能造成的混杂效应,使对政策效应的分析更加可行,也更接近现实实际。
成都中医药大学 2015-07-15
成都市多点执业政策的实施现状研究与政策建议
成都市多点执业政策的实施现状研究与政策建议
成都中医药大学 2015-05-24
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