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半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起,硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材,其需求日趋增加。同时,基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极,然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染,导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂,严重影响了多晶硅电极的使用性能。 传统制备技术下,设备热场结构单一,熔体流动性差,导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出,难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质(P、 O、N);利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固,进而分离硅中的金属杂质;基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒,并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系;基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺,可应用于刻蚀等半导体制造等领域。 本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持,具有很好的生产示范性,实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗,是一种低成本、环境友好的生产方法,属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广,可大幅增加就业岗位,提高企业的市场竞争力,保护环境。
大连理工大学 2021-05-10
单畴超导块材Gd-Ba-Cu-O 的制备与其超导性能的研究
直径为25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)单畴超导块材在温度为77K时,捕捉磁场高达4 T;而在29 K时,捕捉磁场甚至达17 T,优越的性能促进了该类超导材料在电机、发电机、工业污水处理、医学核磁共振等方面的应用研究。 本课题以通过熔融织构方法生长高性能的单畴超导块材作为研究对象,选择合适的单相氧化物作为第二相生长GdBa2Cu3O7-δ超导块材。在制备的高质量系列样品的基础上,通过低温磁性测量分析临界电流密度随温度及掺杂量的变化曲线;分析微观结构,揭示第二相、缺陷等对超导性能影响的原因。以期找出提高超导块材性能的合理生长方法,对其微观机制给出尽量圆满的解释。这也为澄清与当前超导材料前沿课题紧密相关的一些基本问题的理解提供基础研究资料。 该项目已获国家自然基金项目立项支持。
上海电力大学 2021-04-29
一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法
本发明涉及金属材料加工技术领域,具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤:将超高纯铝板材于50℃~300℃下热轧,道次压下量控制在40%~50%;将热轧后的超高纯铝板材在100~300℃温度下保温0~1小时;然后进行冷轧,道次压下量控制在40%~50%,通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升,抑制板材的
东南大学 2021-04-14
紧固件用 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为 BT16,中国牌号为 TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金,该合金属于高强度钛合金,其塑性非常好,并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小,因此特别适应于冷镦法制造紧固件,如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等,是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性,主要的产品是棒丝材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学 2021-04-14
紧固件用Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为BT16,中国牌号为TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金,该合金属于高强度钛合金,其塑性非常好,并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小,因此特别适应于冷镦法制造紧固件,如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等,是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性,主要的产品是棒丝材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学 2021-04-14
献礼二十大 | 严纯华:举旗帜 增后劲 扎根中国大地办高质量教育
党的十八大以来,以习近平同志为核心的党中央旗帜鲜明地把教育摆在优先发展的战略地位,进一步凸显教育的基础性、前瞻性、全局性地位,加速推进教育现代化建设。
人民政协报 2022-10-17
供应链管理下的中小制造企业采购管理研究
中小制造企业要想在激烈的市场竞争中立足,必须加强采购管理.本文以供应链管理理论为指导,分析了现阶段我国中小制造企业采购管理中存在的问题,并提出了供应链环境下中小制造企业采购管理的策略.同时以长春某汽车零配件企业为例,论证了策略的可行性.
长春大学 2021-04-30
基于互联网+及数字孪生技术的智能制造转让
高校科技成果尽在科转云
复旦大学 2021-04-10
无醛生物质胶黏剂制造与应用技术
项目采用豆粕、棉粕等植物蛋白为主要原料,开发出蛋白质活化、降粘、增强及快速固化等技术,创新植物蛋白胶黏剂施胶设备,解决了蛋白胶黏剂工业化应用的一系列难题,获国家发明专利12项。 黏剂产品具有涂布性能好、预压性好、固化温度低(110-120℃)固化速度快、耐水胶合强度高、成本低等优点,可用于单板类人造板生产。人造板产品力学性能表现优异,12小时水煮不开胶,无甲醛,胶黏剂产品成本与环保型三聚氰胺改性脲醛树脂相当,具有较好的性能与成本优势。
北京林业大学 2021-05-09
基于制造特性的机械系统性能仿真软件
Ø  成果简介:目前国内外CAE软件中的建模主要是基于公称尺寸或设计尺寸进行的,不包含零件加工误差、装配误差等制造特性,使得仿真结果与实际运行试验结果相差甚远。针对这一问题,精密微小型制造技术课题组经过近10年的努力,攻克了制造特性参数化建模、系统集成、数据传输等难关,开发了基于制造特性的机械系统性能仿真软件,以Pro/E和Ansys为工具,结合VC及SQL Server实现带有制造特性的参数化集成仿真。Ø  项目来源:自行开发Ø&
北京理工大学 2021-01-12
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