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半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起,硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材,其需求日趋增加。同时,基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极,然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染,导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂,严重影响了多晶硅电极的使用性能。 传统制备技术下,设备热场结构单一,熔体流动性差,导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出,难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质(P、 O、N);利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固,进而分离硅中的金属杂质;基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒,并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系;基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺,可应用于刻蚀等半导体制造等领域。 本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持,具有很好的生产示范性,实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗,是一种低成本、环境友好的生产方法,属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广,可大幅增加就业岗位,提高企业的市场竞争力,保护环境。
大连理工大学 2021-05-10
单畴超导块材Gd-Ba-Cu-O 的制备与其超导性能的研究
直径为25 mm的YBa2Cu3O7-δ(Y123)单畴超导块材在温度为77K时,捕捉磁场高达4 T;而在29 K时,捕捉磁场甚至达17 T,优越的性能促进了该类超导材料在电机、发电机、工业污水处理、医学核磁共振等方面的应用研究。 本课题以通过熔融织构方法生长高性能的单畴超导块材作为研究对象,选择合适的单相氧化物作为第二相生长GdBa2Cu3O7-δ超导块材。在制备的高质量系列样品的基础上,通过低温磁性测量分析临界电流密度随温度及掺杂量的变化曲线;分析微观结构,揭示第二相、缺陷等对超导性能影响的原因。以期找出提高超导块材性能的合理生长方法,对其微观机制给出尽量圆满的解释。这也为澄清与当前超导材料前沿课题紧密相关的一些基本问题的理解提供基础研究资料。 该项目已获国家自然基金项目立项支持。
上海电力大学 2021-04-29
一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法
本发明涉及金属材料加工技术领域,具体涉及一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法。包括以下步骤:将超高纯铝板材于50℃~300℃下热轧,道次压下量控制在40%~50%;将热轧后的超高纯铝板材在100~300℃温度下保温0~1小时;然后进行冷轧,道次压下量控制在40%~50%,通过对板材进行道次间空冷、水冷以及冰水冷却控制板材轧制过程的温升,抑制板材的
东南大学 2021-04-14
紧固件用 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为 BT16,中国牌号为 TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金,该合金属于高强度钛合金,其塑性非常好,并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小,因此特别适应于冷镦法制造紧固件,如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等,是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。 Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性,主要的产品是棒丝材。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学 2021-04-14
紧固件用Ti-3Al-5Mo-4.5V钛合金棒材制备
Ti-3Al-5Mo-4.5V(俄罗斯牌号为BT16,中国牌号为TC16)钛合金是俄罗斯航空材料研究院首先开发的一种新型钛合金,该合金属于高强度钛合金,其塑性非常好,并且对缺口、偏斜等的应力集中敏感性较小,因此特别适应于冷镦法制造紧固件,如螺栓、螺钉、螺母和铆钉等,是俄罗斯航空和航天部门应用的主要标准件材料。Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金特点是退火或淬火状态下具有较高的塑性,主要的产品是棒丝材。 Ti-3Al-5Mo-4.5V 钛合金制造紧固件的最大优点是可以在冷镦后或再进行
江苏大学 2021-04-14
献礼二十大 | 严纯华:举旗帜 增后劲 扎根中国大地办高质量教育
党的十八大以来,以习近平同志为核心的党中央旗帜鲜明地把教育摆在优先发展的战略地位,进一步凸显教育的基础性、前瞻性、全局性地位,加速推进教育现代化建设。
人民政协报 2022-10-17
基于互联网+及数字孪生技术的智能制造
项目成果/简介:项目在多年国家项目的支持下,在项目“面向工厂规划和生产过程的数字化工厂技术”获2013年教育部科技进步二等奖的基础上,进行持续开发完善,与沈阳机床合作,在智能制造领域进行了深入的合作研究, 在沈阳机床智能制造展示线开发完成数字化孪生仿真模型及基于互联网的定制信息系统,系统实现了网络化定制下达生产订单,数字化孪生系统在线仿真模拟,真实展现生产场景,并可通过移动设备进行浏览和信息管理。项目符合中国制造2025所倡导的智能制造和互联网+技术的发展,对中国制造向智能化转型起到促进作用。项目通过展示真实个性化印章的智能加工、检测和装配,体现网络化的定制及数字化双胞胎技术。应用范围:项目所开发完成的技术符合中国制造2025所提出的智能制造技术路线,已应用于工业实际和大专院校的教学培训。目前国家大力资助建立智能制造试点示范项目,制造企业也在积极转型,向数字化和智能化转型发展,这些都需要数字孪生和互联网+技术的支持。 项目成熟度:小批量生产,项目已独立以及结合沈阳机床的生产线及教育系统得到市场的应用,特别是在中国航发商用航空发动机有限责任公司相关项目中得到应用。 拟在全国范围内推广:1.项目可应用于离散制造业的规划、调试、运行和维护阶段的仿真优化,通过建立工厂、生产线、设备的三维模型,实现虚实结合的数字双胞胎。 2、教育培训领域:通过实现智能制造理念的面向教育和培训的生产线系统,通过模块化的系统,实现对智能制造教学和培训。项目阶段:小规模生产效益分析:项目的技术创新点、先进性在于实现了数字孪生技术在生产线中的应用,达到了生产线的虚实融合。不仅可在规划阶段对生产线进行仿真验证,还可在生产运行过程中实现虚实融合,并通过AR-VR技术对操作指导、维修指导和生产过程监控提供支持,从而实现多维的虚实融合,是实现智能制造的关键技术之一。项目相关技术不仅能够应用于工业实际的智能化制造之中,还特别适合面向智能制造的教育和培训。
同济大学 2021-04-10
面向工业制造的非接触式在线摄影测量系统
面向工业制造的非接触式在线摄影测量系统,结合了主动式面结构光投影测量和被动式双目视觉摄影测量的特点,对物体的三维形貌与变形进行在线测量。具有非接触、高精度、自动化、测量点密度大、实时、高效和不易受温度变化、振动等外界因素干扰等优点,对于提高切削加工效率、质量和降低成本具有重要意义,具有广泛的应用前景。
北京航空航天大学 2021-04-10
基于物联技术的自组织智能制造系统
该项目针对装备智能化改造、智能个体自治技术、多智能体协商规则和自组织生产策略进行了深入研究,开发了相应原型系统——基于物联技术的自组织智能制造实验系统,形成了一套以物联技术为基础,通过自治与协商方式,实现车间自组织实时生产的“智能工厂”模式。 技术优势 该系统具备自组织、自决策、自适应、自学习的功能特征,可适应目前动态多变的制造环境,满足多品种、变小批量、高度定制化的生产需求。通过提供模块化热插拔的智能接口装置,可以帮助企业快速实现智能化改造升级。该智能制造系统可以高效柔性自治的应对加工、装配、检测等作业任务。
南京航空航天大学 2021-05-11
高性能聚乙烯专用树脂的先进制造技术
成果描述:针对目前中国大型石化公司从国外引进的聚乙烯聚合装置的工艺包落后、只能生产低档通用料的难题,自主开发一系列具有独立知识产权的高档聚乙烯专用树脂的先进制造工艺技术,取得了巨大的经济效益。 根据产品使用性能和加工性能要求,设计并定制聚烯烃专用树脂的关键结构,提供结构内控方案,指导聚烯烃聚合大装置制定催化剂体系和聚合工艺调整方案。 研究的聚合工艺包括:Basell公司Hostalen淤浆法工艺、Spherilene气相工艺;BP-Solvay公司Innovenes低压淤浆工艺;Univation公司的Unipol工艺;三井化学的CX工艺等。 开发产品包括:PE100、PE125、PERT等高档管材料、LDPE涂覆料、LLDPE电子膜保护膜专用料等。市场前景分析:PE100管材料主要用于制造燃气管、各种给水管材等压力管道系统,而绝缘电缆聚乙烯专用树脂主要应用于高压电缆绝缘、电缆护套,用量大、附加值高、近年来市场需求量持续保持高速增长。然而由于技术附加值高,目前我国的高档PE100管材料、绝缘电缆料基本全部依赖进口,被国外大公司所垄断。 拥有其他高性能专用料制造技术,制得的产品如LDPE涂覆料、耐热PERT管材料、LLDPE电子膜保护膜专用料等,均具有高附加值,市场需求巨大。与同类成果相比的优势分析:完成高档聚乙烯专用料产品的结构-性能剖析,提供关键结构性能控制指标,建立聚乙烯专用树脂的结构特性数据库;提供各种聚合工艺方案,指导装置进行生产调整,建立快速表征方法,实现生产工艺的快速调整和质量控制。制备的产品满足其加工及使用性能要求,获得市场认可。 如PE100管材专用树脂:耐快速、慢速应力开裂、抗蠕变、刚性和抗冲性等性能,以及焊接性和加工性加工要求;聚乙烯电缆绝缘专用树脂:力学性能、加工流动性能、洁净度。 国际先进。
四川大学 2021-04-11
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