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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性 好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来 说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻 温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数 (TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时 会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜 电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度 系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为 兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻 靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜 稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。 C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量 的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。 技术指标如下: 温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后 ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议 2 半导体微环激光器 3 基光电集成电路 4 无线网络与应用:协作无线网络 5 移动通信—LTE 技术
天津大学 2021-04-11
一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法
一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制备方法 发明专利/实用新型/:发明授权 简介:本发明公开了一种单分散氧化镓粉体及其高密度陶瓷靶材的制 备方法,其将纯度为 99.99%以上的金属镓原料溶解于酸中,配制澄清 的镓盐溶液,加入沉淀剂产生沉淀物,将获得的沉淀经洗涤、过滤、 干燥、煅烧制成单分散超细氧化镓粉体;用合成的单分散氧化镓粉体 作为原料,经模压成型和冷等静压强化获得氧化镓生坯,将生坯放在 高温炉
华中科技大学 2021-04-14
供应链管理下的中小制造企业采购管理研究
中小制造企业要想在激烈的市场竞争中立足,必须加强采购管理.本文以供应链管理理论为指导,分析了现阶段我国中小制造企业采购管理中存在的问题,并提出了供应链环境下中小制造企业采购管理的策略.同时以长春某汽车零配件企业为例,论证了策略的可行性.
长春大学 2021-04-30
基于互联网+及数字孪生技术的智能制造转让
高校科技成果尽在科转云
复旦大学 2021-04-10
无醛生物质胶黏剂制造与应用技术
项目采用豆粕、棉粕等植物蛋白为主要原料,开发出蛋白质活化、降粘、增强及快速固化等技术,创新植物蛋白胶黏剂施胶设备,解决了蛋白胶黏剂工业化应用的一系列难题,获国家发明专利12项。 黏剂产品具有涂布性能好、预压性好、固化温度低(110-120℃)固化速度快、耐水胶合强度高、成本低等优点,可用于单板类人造板生产。人造板产品力学性能表现优异,12小时水煮不开胶,无甲醛,胶黏剂产品成本与环保型三聚氰胺改性脲醛树脂相当,具有较好的性能与成本优势。
北京林业大学 2021-05-09
微生物转化制造 L-瓜氨酸的方法
利用自主筛选、鉴定和保藏的一株产精氨酸脱亚氨基酶(ADI)的恶臭假单胞菌 CGMCC1347,通过发酵培养其微生物细胞,用于转化精氨酸生成 L-瓜氨酸,用 5L 发酵罐发酵 20 小时产酶活力达到 2.17U/mL。采用卡拉胶等凝胶包埋固定化细胞反复分批转化 10 次,酶活力不减。用固定化细胞固定床反应器进行连续转化,连续 30 天以上,连续 30 天 mol 转化率稳定在 90-99%,30 天平均稀释速率 D=0.0735 h-1,固定床反应器生产效率平均 6.34 g L-1 h-1,固定化细胞生产能力 0.0108 g h-1 g -1。本技术的特点是高产精氨酸脱亚氨基酶(ADI)的恶臭假单胞菌菌株能高效转化精氨酸生成 L-瓜氨酸,对底物总摩尔转化率高,转化后的产物纯度高,作为生物催化剂的微生物细胞易于培养且安全无毒,生物转化反应条件温和,环境友好。固定化细胞可反复利用多次,或装柱连续转化。 
江南大学 2021-04-11
基于制造特性的机械系统性能仿真软件
Ø  成果简介:目前国内外CAE软件中的建模主要是基于公称尺寸或设计尺寸进行的,不包含零件加工误差、装配误差等制造特性,使得仿真结果与实际运行试验结果相差甚远。针对这一问题,精密微小型制造技术课题组经过近10年的努力,攻克了制造特性参数化建模、系统集成、数据传输等难关,开发了基于制造特性的机械系统性能仿真软件,以Pro/E和Ansys为工具,结合VC及SQL Server实现带有制造特性的参数化集成仿真。Ø  项目来源:自行开发Ø&
北京理工大学 2021-01-12
一种提高非调质钢锻件韧性的制造工艺
本发明涉及一种锻件的制造工艺,是一种高韧性微合金化非调质钢锻件的制造工艺,包括下料→感应加热→预锻→终锻→切边→第一控制冷却→入炉保温→第二控制冷却→喷丸→磁力探伤→机加工;第一控制冷却工序中,工件在切边后分散置于以一定速度移动的传输带上,在强制吹风冷却的条件下,以2.0℃/s~6.0℃/s的冷却速度冷至520℃~630℃之间的某一温度入炉保温;入炉保温工序和第二控制冷却工序中,工件在上述温度下入炉保温10~40分钟后出炉自然冷却到室温,或以小于5℃/min的冷却速度缓慢冷却至室温。本发明可以消除先共析铁素体在原奥氏体晶界以网状形式的析出,获得更多的针棒状晶内铁素体,改善零部件韧塑性。
南京工程学院 2021-04-13
新型密封材料及装备的设计制造与性能表征
成果简介: 新型无石棉短纤维增强橡胶基密封复合材料制备技术:本项目制备开发的短纤维增强NAFC材料具有耐高温(300摄氏度)、低蠕变、高强度、低成本的特点,且其制备工艺简单,基本沿用了传统CAF材料的生产设备,产品技术指标完
南京工业大学 2021-01-12
螺栓法兰密封接头用高温碟簧设计与制造技术
成果简介: 碟簧作为一种弹性补偿元件,被引入螺栓法兰连接系统,可有效地解决因诸多因素引起的法兰接头的螺栓预紧力松弛问题。当螺栓拧紧时,碟簧吸收机械能并将其转化成弹性势能储存起来,当法兰接头由于温度变化、压力波动、机械振动或自身各元件的蠕变导致螺栓预紧力或螺栓力松弛时,碟簧将释放其储存的弹性势能转化成机械能,对螺栓预紧力或螺栓力进行补偿,从而使螺栓力始终保
南京工业大学 2021-01-12
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