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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
上海康碳复合材料科技有限公司碳/碳复合材料领域技术成果
上海康碳复合材料科技有限公司是碳/碳复合材料领域的优秀技术企业。公司从事复合材料技术领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，从事复合材料的技术检测，新能源技术推广服务，新材料科技推广服务，从事碳/碳复合材料的研发和生产，机电设备、复合材料的销售，从事货物进出口及技术进出口业务。点击上方按钮联系科转云平台进行沟通对接！
中国科学院大学
2021-04-10
清华大学材料学院林元华团队合作发文阐释铁酸铋材料畴工程的研究进展
材料学院教授林元华等人系统总结了多铁材料铁酸铋中基于畴工程的调控手段，综述了畴工程在调控电学性能、磁电耦合和光学特性方面的重要作用。
清华大学
2022-03-23
聚噻吩/酞菁纳米复合材料用作钙钛矿太阳能电池高效空穴传输材料
能源与环境问题是目前人类面临的两个重大危机，也是科研工作者关注的重点领域。钙钛矿太阳能电池以其独特的物理性质、醒目的光电转化效率和良好的工业应用前景等特点，被认为是一种拥有巨大解决能源问题潜力的光伏器件。但其电池效率衰减(稳定性)等问题是其走向工业化应用急待解决的课题。现行钙钛矿电池比较普遍使用的空穴传输材料是一种比较昂贵的螺二芴结构化合物(spiro-OMeTAD)，需要通过掺杂锂盐以提高电池的性能，但这同时加剧了钙钛矿电池的不稳定性。所以一直以来研究人员希望寻找更加廉价和稳定的空穴传输材料来替代传统材料。 酞菁铜是一种具有优异光电特性的廉价小分子半导体材料。但其有机溶解性比较差，不利于廉价液相工艺规模制备光电器件。许宗祥课题组从分子设计层面出发，开发八甲基取代的酞菁铜并制备纳米材料，通过酞菁纳米材料与廉价商业化的高分子材料聚噻吩复合，开发出了具备更高载流子迁移速率及环境稳定性的空穴传输材料，实现溶液法制备出光电转换效率为16.61%的钙钛矿太阳能电池，效率高于传统商业化的螺二芴结构化合物(spiro-OMeTAD)。同时器件的稳定性大幅度提高。
南方科技大学
2021-04-13
人才需求;技术人才：高分子材料与工程专业；材料化学专业；应用化学专业
技术人才：高分子材料与工程专业；材料化学专业；应用化学专业
山东日科化学股份有限公司
2021-09-07
晶体材料国家重点实验室在钛基二维晶体材料应用方面取得新成果
山东大学晶体材料国家重点实验室陶绪堂教授团队通过自主设计的“微爆炸法”获得了无氧化MXene-Ti3C2Tx量子点，首次提出可将此类二维结构钛基晶体材料用于肿瘤治疗，并与刘宏教授团队合作发现其具有较强的类芬顿反应特性，在抗肿瘤实验中效果显著，从而实现了更高效、更安全的纳米催化治疗方式。相关结果以“Nonoxidized MXene Quantum Dots Prepared by Microexplosion Method for Cancer Catalytic Therapy”为题，发表在材料类权威期刊Advanced Functional Materials（IF=15.621）上，陶绪堂教授和刘宏教授为通讯作者，晶体所博士研究生李雪松和刘锋为共同第一作者，山东大学为独立完成单位。
对于肿瘤治疗，传统的化学、物理疗法都存在严重的副作用，限制了其在实际临床治疗中的应用。最近，基于特殊的肿瘤微环境，利用肿瘤内部催化反应的纳米催化治疗成为前沿且备受关注。其中，研究最为广泛的铁基纳米催化剂可特异性响应肿瘤的弱酸性细胞微环境，释放Fe2+并引发芬顿反应，产生•OH自由基以触发细胞凋亡，从而抑制肿瘤。然而，在弱酸性肿瘤环境中，Fe2+催化的芬顿反应速率较低，导致•OH自由基形成缓慢。此外，众多抗肿瘤复合纳米制剂的潜在毒性值得关注。因此，寻找更高催化活性和更安全的纳米制剂是人们一直追求的目标。晶体材料国家重点实验室陶绪堂教授团队与刘宏教授团队合作发现所制备的钛基无氧化MXene-Ti3C2Tx量子点具有较强的类芬顿反应特性，其对正常细胞和组织器官均表现良好的生物相容性，并对宫颈癌和乳腺癌均有强烈的杀伤能力，体现出优异的抗肿瘤效果。这种以钛基类芬顿反应为基础的肿瘤治疗方式潜力巨大，为实现肿瘤的高效、精准治疗提供了一条新的探索途径。
山东大学
2021-04-11
用于限制性航道的箱体与插板组合结构的生态护岸方案
成果介绍通过预制透水钢筋混凝土箱体与插板的组合型结构，相邻箱体插板连接、插板固定与箱体两侧外壁中部卡槽，有效消减船行波，节约施工材料，降低工程造价，实现生态和经济效益。技术创新点及参数1、内核限制性航道中，优化硬质结构竖向尺度及纵向布置，增强消浪性能和临近岸坡水体的水流多样性。2、在迎水立面形成格栅型消浪结构，降低航道内船行波的反射，提高船舶航行安全与效率，尤其是在低水位期。3、上部形成透空板式防浪结构，在高水位时消减入射的船行波。减小在护岸平台和二级柔性护坡上荷载，提高植被和生态保护，凹凸错落形态提高水流多样性，利于水生动植物栖息。4、预制结构，实现工厂制作和机械化施工，提高施工效率，降低造价。插板结构，降低钢筋混凝土用量，工程造价节约15％～20％。市场前景与河道改造企业合作或承接政府的内河航道改造的设计与技术优化。短期成熟技术投入重点应用场景，可以1年回收投入成本。
东南大学
2021-04-11
用于太阳能空调的板壳式溴化锂吸收式制冷机
高效、低成本太阳能空调的创新要点：1) 采用高效、紧凑的板壳式换热器组成溴化锂吸收式制冷机。具有优良强化传热性能的波纹板传热元件采用不锈钢材料，其耐腐蚀性能优于铜管，且材料单价较低，批量生产时，因材料消耗少可使成本比目前的铜管方案降低40%左右。2) 采用双效与单效耦合蓄能运行的循环方案。采用中温型太阳能集热器产生0.6MPa的水蒸汽，白天日照时段采用双效循环运行并进行蓄热，而在其余时段利用蓄热按单效循环驱动制冷机运行。该方案不仅效率高，日平均当量制冷性能系数可达0.8~1左右，而且其单位体积蓄能罐的蓄能密度极大，可实现无需用辅助能源而完全靠太阳能进行昼夜空调。3) 建设太阳能空调和热水站综合系统，在居民住宅楼的屋顶布置太阳能集热器阵，建设全年供应全体住户生活热水的太阳能热水站和夏季供应顶一、二层住户空调冷水的综合系统；若结合地源水低温热源系统则可建设吸收式热泵系统用于冬季采暖。由于综合利用系统中集热器的投资费用被所有热水用户分摊，空调用户的投资可很快从节省的电费中得到回收，该综合系统可在目前的技术水平和能源价格下使太阳能空调获得良好的经济效益。并为太阳能热水器的发展开拓了更大的空间。23kW(2万kcal/h) 用于太阳能空调的双效与单效耦合型板壳式溴化锂吸收式制冷机。
东南大学
2021-04-10
一种采用带旋流板管道控制截污流量的截流井
本实用新型公开了一种采用带旋流板管道控制截污流量的截流井，它包括截流井构筑物，所述截流井构筑物内设有合流管道，所述截流井构筑物还连接有截流管道，所述截流管道内通过转轴连接有旋流板，所述旋流板与截流管道形成间隙，且所述旋流板与截流管道内壁的距离为L；所述旋流板可以在截流管道内旋转，且旋转状态取决于截流管道的水位高程。本实用新型结构简单，完全由水力自动控制旋流板的旋转，控制强降雨期间截流井内截流管道的实际流量。
安徽建筑大学
2021-01-12
一种桩板平面与立面交错组合的辅助消能工
本发明公开了一种桩板平面与立面交错组合的辅助消能工，通过在泄流堰下游的消力池内等距设置 3 级板桩结构，形成空间结构交错的板桩错位布置，使水流出现旋滚，达到多级辅助消能的效果;所述 板桩结构均由若干消能桩及其之间架设的高低板组成，布置于同一过水断面上。水流剧烈撞击板桩结构，
武汉大学
2021-04-14