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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
一种银基导电胶的制备方法
(专利号:ZL 201410111072.3) 简介:本发明公开了一种银基导电胶的制备方法,属于复合材料制备技术领域。该制备方法具体步骤是:将γ-环糊精、硝酸银、聚丙烯酸钠、浓硝酸、蒸馏水混合,搅拌加热至50~80℃,缓慢滴加抗坏血酸、3,4-乙烯二氧噻吩、吡咯赖氨酸、蒸馏水的混合溶液,反应1小时,过滤,经大量蒸馏水、乙醇洗涤,干燥后得到银含量为88~96%的银基复合导电粒子;将环氧树脂、固化剂以及银基复合导电粒子充分混合,100℃下固化
安徽工业大学 2021-01-12
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
一种荧光粉胶的涂覆方法
本发明公开了一种荧光粉胶的涂覆方法,属于 LED 封装领域,其采用压印方式对 LED 芯片进行荧光粉胶涂覆,包括 S1 将 LED 芯片固定在封装基板上;S2 将荧光粉胶涂覆在所述 LED 芯片上或者所述压印块的端面上,将所述压印块与所述 LED 芯片通过压印方式贴合一起;S3 待荧光粉胶在所述压印块和所述 LED 芯片之间稳定成形后,对所述荧光粉胶进行固化处理获得荧光粉层,实现荧光粉胶的涂覆。本发明方法操作简单,成本低,可灵活控制荧光粉胶形貌,从而提升LED封装光色一致性,其封装成本低,可大规模应用在工业中进行LED封装。
华中科技大学 2021-04-13
新型高档造纸中性施胶剂AKD清洁工艺
AKD中性施胶剂是现代造纸工业中应用最为广泛的一类施胶剂。传统的AKD 合成方法需加入苯类有机溶剂,残留于产品AKD中,损害人体健康,影响AKD产品的下游应用不能用于食品包装用纸领域。本技术通过采用新型绿色高效工艺合成AKD。解决了目前AKD生产中的问题。得到的AKD可用于高端造纸领域。
华东理工大学 2021-04-13
采用火焰喷涂方法制备多孔表面换热管
多孔表面对水、氟利昂、液氮、烯烃类、苯、乙醇等多种工质的沸腾换热均有显著的强化作用,故又将其称为高效强化沸腾换热表面。因而,具有多孔表面的高通量换热管以其优异的沸腾换热性能用于各种具有相变的换热过程,如蒸发器、再沸器、冷凝器、汽化器等,在石油、化工、冶金、海水淡化、电子芯片散热等领域具有广泛的应用前景。根据多孔表面强化传热机理,大量具有适当尺寸的连通孔隙是保证高效传热强化的决定性因素。因此,烧结法、热喷涂法、机械加工法等方法应用于多孔表面的制造研究。该技术采用火焰喷涂方法,将铁基合金粉末与低熔点合金元素相混合,降低了喷涂多孔层的火焰温度,减小了多孔层中铁基粉末颗粒的变形尺寸,增加了孔隙率,提高了多孔层中孔隙的连通性,保证了多孔层与基体的结合强度,工艺简单,成本低,加工周期短,生产效率高;传热性能好,能有效强化沸腾传热,可以满足工业化应用的要求。可用于石油化工、化工等工业用蒸发器、再沸器、冷凝器、汽化器等。
华东理工大学 2021-04-11
纳米晶太阳能电池复合多孔电极膜
项目以改善NPC太阳能电池的光伏性能为最终目的,采用模板组装技术制备高质量的NPC电池用有序大/介孔复合电极膜,该法既简化了制备工艺,又可对薄膜的质量进行控制。该研究推动了NPC太阳能电池的产业化进程,同时该技术符合国家能源可持续发展的需要,在改善日益严重的能源危机及环境污染有非常重要的现实意义。
天津城建大学 2021-04-11
湖泊淤泥生产自保温节能多孔砖技术
该产品的生产与广泛应用,可以解决湖泊清淤后的淤泥处理问题,符合我国新型墙材与节能环保的政策方向。
东南大学 2021-04-10
乳液模板法制备功能化聚合物多孔材料
聚合物多孔材料在高技术领域有可观的应用前景,如作为有机合成催化剂载体、生物组织工程支架等。通过高内相乳液模板法(HIPEs)制备的聚合物多孔材料具有孔径和孔容积可调等优点,是极具工业价值的一种技术。但前人的工作都基于乳液经典理论:Bancroft规则即水包油型的乳液只能采用水溶性的乳化剂,油包水型的乳液只能采用油溶性的乳化剂,这严重限制了以高内相乳液为模板制成的聚合物多孔材料的直接应用,迫使其在使用前必须经由复杂的表面功能化;且传统方法在制备稳定高内相乳液时,乳化剂占有机相5-70 wt%,大大增加了高内相乳液制备成本,并造成环境污染。本项目以一步法制备功能化聚合物多孔材料及降低HIPEs制备过程乳化剂用量为技术特点,以仅占有机相0.8 wt% 的水溶性乳化剂为稳定剂,获得稳定的、水相体积分数达96.3vol% 的油包水型高内相乳液,并聚合得到功能化聚苯乙烯-二乙烯基苯基多孔材料。该多孔材料已成功地用作有机合成的微反应器和催化剂载体,避免了高毒性有机锡类催化剂的使用,为聚合物多孔材料在绿色化学工业中直接应用提供新的途径。
华东理工大学 2021-04-11
超交联有机多孔聚合物储氢材料
中试阶段/n利用多孔聚合物易于合成、密度低、比表面积高等特点,通过引入 吸附氢活性点,大幅度提高目前聚合物的储氢能力,从而满足氢能源动 力汽车的使用要求。获得高表面积(≥3000 m2/g)超交联多孔聚合物的 制备工艺,储氢性能达到 5.0 wt%,77 K@15 bar; 3.0 wt%, 77 K@ 1bar, 并实现在 20 MPa 下高效储氢,该储氢材料在同等条件下相比目前已实际 应用的储氢材料更安全;得到更低成本的储氢材料,实现成本控制在已 经实际应用的碳纤维材料 70%的水平;首次实现超
华中科技大学 2021-01-12
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