电化学加工(宏微二级驱动)工作台(博实)
产品详细介绍:电化学加工(宏微二级驱动)工作台主要应用于电化学加工方面,具有X-Y-Z方向三维宏动和X-Y-Z方向三维微动。宏动平台采用步进电机结合高品质滚珠丝杆。微动平台由三台压电陶瓷致动器驱动的一维纳米级精密定位工作台MPT-1JRL003通过连接板组合而成。 在驱动中,首先采用步进电机驱动的大行程、低分辨率的机构进行粗定位,实现大行程范围内快速地微米级定位精度,然后采用压电陶瓷驱动小行程、高分辨率的微动工作台在微米级行程范围实现对粗定位平台的纳米级误差补偿。
哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司
2021-08-23