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高频辉光放电等离子体化学气相沉积（PECVD）装置
PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。 技术特点: 1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。 3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。 4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。
北京交通大学
2021-04-13
高性能等离子体金属表面强化技术及装备
项目简介 渗氮渗碳强是广泛需要的技术，等离子渗氮渗碳强化零部件表面，环保、高效等， 但渗层不均、打弧等。本项目发明了一种交互式双阴极等离子表面热处理装备，强化电场强度，
西华大学
2021-04-14
聚变等离子体中磁岛与湍流相互作用
项目简 介： 聚 变能源与化石能源相比对空气无任何污染，与 裂变能源比较不会产生较强的放射性污染。托克马克磁约聚变装置是使用磁场将高温等离子体约束在磁场空间内，实现热
西华大学
2021-04-14
挥发性有机气体处理新技术-等离子体除臭技术
等离子体被称为是除固、液、气三态以外的第 4 种物形态，它是由电子、离子、自由基和中性粒子组成的呈电中性的导电性流体，一般分为热等离子体（平衡等离子体）和低温等离子体（非平衡等离子体），低温等离子体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域被广泛应用，通常是采用加热或放电的手段产生. 自然界中等离体产生的方式主要包括：电晕放电、介质阻挡放电、火花放电、辉光放电、汤生放电和弧光放电。其中，电晕放电和介质阻挡放电在常温常压环境下就可操作，因而被广泛应用。
北京交通大学
2021-02-01
吸附－等离子体同步烟气脱硫脱硝回收硫酸技术(APDSNSR)
研究历程：“吸附－等离子体同步烟气脱硫脱硝回收硫酸技术(APDSNSR)”系在国家重点基础研究发展规划项目（973）和国家863计划项目基础上，经七年研究、开发，完成了烟气NOx/SOx 同步脱除及其回收硫酸的机理与方法研究、工程化技术基础和工业试验研究（连续48小时运行试验和累计运行600小时以上）。
东南大学
2021-04-10
用非平衡等离子体处理颗粒和气体物质的装置
本发明公开了一种用非平衡等离子体处理颗粒和气体物质的装 置，包括前级充电器和等离子体发生器；前级充电器包括直流电源和 谐振充电电路，直流电源用于为谐振充电电路提供直流电压，谐振充 电电路用于为等离子体发生器提供交流脉冲电压；等离子体发生器为 中心设置有反应腔的圆柱状结构，包括外屏蔽层、原方低压绕组、外 绝缘层、副方高压绕组、内绝缘层、内屏蔽层、副方电容、触发极电 阻、气体间隙陡化开关、电极支架、高压电极、直线电极和金属板； 颗粒或气体物质的处理直接在反应腔内进行。该装置放电可以在大气 压开放空气以及
华中科技大学
2021-04-14
挥发性有机气体处理新技术-等离子体除臭技术
项目成果/简介:等离子体被称为是除固、液、气三态以外的第 4 种物形态，它是由电子、离子、自由基和中性粒子组成的呈电中性的导电性流体，一般分为热等离子体（平衡等离子体）和低温等离子体（非平衡等离子体），低温等离子体技术在半导体工业、聚合物薄膜、材料防腐蚀、等离子体电子学、等离子体合成、等离子体冶金、等离子体煤化工、等离子体三废处理等领域被广泛应用，通常是采用加热或放电的手段产生. 自然界中等离体产生的方
北京交通大学
2021-01-12
一种LED紫外耦合等离子体的果蔬保鲜
本实用新型提供了一种LED紫外耦合等离子体的果蔬保鲜库，由果蔬保鲜库、冷风机、等离子体发生装置、等离子体发射器、LED紫外光源、鼓风机、气体输送管路、搁物架组成。启动保鲜库总电源，打开LED紫外光、等离子体发射器，通过调节等离子体发射器的发射功率和时间，对保鲜库内气体进行处理，处理后气体通过输送风机、输送管路、输送风口送入保鲜库，对搁物架盛放的果蔬产品进行处理。本实用新型保鲜库结构简单，操作方便，利用该保鲜库进行果蔬贮藏保鲜不仅能够高效、快速地杀灭微生物，而且能够降解果蔬农药残留，降解乙烯，诱导果蔬气孔缩小，抑制果蔬的生理代谢，且保持果蔬原有的色、香、味及营养成分，增加果蔬的贮藏期。
青岛农业大学
2021-04-13
一种移动式等离子体污染水体修复装置
项目简介 本成果是一种移动式等离子体污染水体修复装置，属于水环境净化技术领域。通过 与船体链接实现随船体自由移动，使水体得到原位处理，采用脉冲放电等离子体处理水 中的污染物，使水中大分子、难降解有机物降解成低毒或无毒的小分子物质，甚至完全 矿化，达到降解氧化、脱色和杀菌的效果；采用碘化钾溶液对反应中产生的气体处理， 达到吸附除臭的效果。装置包括船体、脉冲电源、空压机、气体流量计、反应壳体、浮 筒、阴极、阳极、放电反应区、网状进水口、曝气头、碘化钾溶液、
江苏大学
2021-04-14
全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪
1.产品概述ICP-6810是用于测定不同物质（可溶解于硝酸、盐酸、氢氟酸等）中的微量、痕量元素含量的全谱直读电感耦合等离子体发射光谱仪，广泛应用于环保、石油制品、稀土、半导体、地质、冶金、化工、临床医药、食品、生物样品、刑事科学、农业研究等各个领域。2.性能特点性能稳定采用全固态射频电源，具有体积小、效率高、输出功率稳定、带有各种保护功能等诸多优点，负载采用全自动匹配技术，匹配速度快，提高了电源的使用效率和仪器的稳定性，并使得整个点火过程简单方便。进样自动化采用四通道全自动设计，转速可根据测试需求设置调节流量，载气、等离子气、辅气均采用先进的质量流量控制器来控制，同时可以配备进口高盐雾化器、进口耐氢氟雾化器等，满足客户的各种测试需求。精准分析采用中阶梯光栅-棱镜交叉色散方式,无移动光学元件；超低杂散光设计配合独特的光学设计，氮气分布式吹，进口的光学元件，智能精确的自动波长校准算法。快速测试美国热电CID探测器，165-900nm范围连续覆盖，一次曝光读出所有分析谱线的强度积分值加快分析速度。3.应用领域硅工业，冶金工业，水质分析，地质、矿石分析，石油化工，医疗、卫生、农业环保、商品、食品质量检测。
上海美析仪器有限公司
2021-12-16