一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度 调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装 置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水 温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分 和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置 于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控 制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度 传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时 对冷却水

一种多路液体温度调节装置及其温度控制方法，属于液体温度调节装置及其温度控制方法，解决现有光刻机浸没液温度调节控制装置只具有一路输出的温度控制能力以及不能协同调节远端、近端供水温度的问题。本发明的温度调节装置，包括纯水供应部分、注液部分和控制系统，纯水供应部分放置于远端的纯水设备内，注液部分放置于光刻机内部；纯水供应部分和注液部分之间通过远传管路连接；控制系统分别采集纯水温度传感器、供水温度传感器、第一～第三温度传感器的温度值；并对第 1～第 3 加热器的加热电压进行控制，同时对冷却水流量伺服阀的驱动

研究表明，陈绝缘体可以通过磁性掺杂的拓扑绝缘体薄膜获得，但是这种方法产生稳定的长程铁磁序比较困难，而且产生的体能隙也比较小，导致可观测温度极低（30-100 mK）。刘奇航课题组及其合作者通过研究本征的层状磁性拓扑材料Mn-Bi-Te家族（MnBi

一、 项目简介电磁生物效应主要研究生物体在电磁场下所产生的与生命现象有关的响应。实验室建立了工频电磁场环境、特高压输电环境等电磁生物效应研究平台，开展了工频强磁场对正常细胞和肿瘤细胞的作用影响、特高压输电对生物体的作用研究，进行动物实验，研究电磁场对生物体细胞和组织器官的影响。实验室开展了人体植入器件无接触能量传输研究，建立了小型无线传能实验系统，实现了系统的微型化，并对系统工作时对人体产生的生物效应进行了研究。二、 项目技术成熟程度电磁仿生属于功能仿生，集电路设计、电磁兼容与防护、电磁生物效应、仿生技术于一身，研究和模拟生物体的结构、功能、行为及其调控机制，为工程技术提供新的设计理念、工作原理和系统构成。实验室开展了基于仿生原理的电磁防护自修复技术的攻关研究。通过研究生物体电磁信息传递及抗扰机理，建立电磁仿生防护模型，探寻从模型到电路设计的领域转换方法，为实现复杂电磁环境下电子系统的仿生防护奠定基础，该研究获得总装备部“十二五”预研项目“XXXXX”资助。三、 技术指标（包括鉴定、知识产权专利、获奖等情况）近年来完成河北省自然科学基金重大项目1项，承担其它省部级项目5项，发表论文数十篇，其中大部分被SCI、EI检索，申请专利2项，已批准1项。四、 高清成果图片3-4张小型无线传能系统实验平台

超高的迁移率、超低载流子浓度，以及单个费米口袋特性是整个实验成功的关键所在。他们研究了多种高品质的ZrTe5晶体，该材料在2014年被中科院物理所翁红明、戴希和方忠等人预测可能具有非平庸的拓扑性。在低温和小磁场条件下，通过量子振荡输运测量和分析手段，可以重构出一个非常清晰的闭合费米面拓扑结构。这种封闭的三维费米面可以与准二维体系明确分开，在量子极限

产品详细介绍 采用新型永磁材料，改变距离即可改变磁场强度可作纵向效应，磁场强度1-1.3T, 法珀标准具经过严格调整,标准具间隔圈2㎜ 读数精度0.01mm，磁场线圈：Ф135㎜×2磁轭体积：320×75×160㎜日元贷款中标产品  另有塞曼系列:直读式塞曼效应实验仪 YLS-2     YLS-2A  日元贷款中标产品微机塞曼效应实验仪  YLS-2B   塞曼效应与法拉第效应综合实验装置 YLS-FT法布里-珀罗标准具 F-P      

1、磁场强度可调节，其特点：改变距离即可改变磁场强度； 2、标准具采用高精技术多层镀膜。通光口径：45mm；中心波长:λ=5461Å；分辨率:λ/Δλ≥1×105；反射率: R≥90%；平面度：λ/30；石英隔圈2㎜； 3、望远系统：读数精度0.01mm； 4、磁场强度0-12000高斯； 5、磁轭体积：146×70×100㎜； 6、标准具微动调整架：前后俯仰三维调节方便可调。

针对极紫外光刻机物镜的温管和温控技术难题，设计和开发了针对极紫外光刻机的具有自主知识产权的超精密温控装置，目前已应用在半导体制造业及光刻机生产厂商、高档数控行业和民用航天上，涉及企事业单位共30余家。研制了不同控温精度和控温功率的系列产品，采用主动温度控制方法，解决了单点温度控制稳定性和多通道温度控制均匀性的问题；设计了具有功能模块化的温控层次结构，解决了超精密温控中系统内外的扰动和时滞问题，控温速度快；研制了大功率串联半导体制冷模块，结合模糊PID控制算法，提高了收敛速度、控制精度和抗扰动能力。项

产品详细介绍温度冲击试验箱产品编号：WDCJ产品型号：WDCJ详细说明一、高低温冲击试验箱用途 用于电子电器零组件、自动化零部件、通讯组件、汽车配件、金属、塑胶等行业，国防工业、航天、兵工业、电子芯片IC、 半导体陶瓷及高分子材料之物理性变化,测试其材料对高、低温的反复抵拉力及产品于热胀冷缩产出的化学变化或物理伤害，可确认产品的品质,从精密的IC到重机械的组件，无一不需要它的理想测试工具。二、高低温冲击试验箱结构特点:产品外形美观、结构合理、工艺先进、选材考究。 设备分为高温室、低温室、测试室三部分,采独特之断热结构及蓄热蓄冷效果，试验时待测物完全静止，应用冷热风路切换方式将冷、热温度导入测试区实现冷热冲击测试目的。 采用触控式液晶(LCD)显示人机介面专用控制器，最先进的计测装置, 操作简单, 学习容易, 稳定可靠,中，英文显示完整的系统操作状况、执行及设定程序曲线。 具96个试验规范独立设定,冲击时间999小时59最大分钟, 循环周期1~999次可设定, 可实现制冷机自动运转，最大程度上实现自动化，减轻操作人员工作量，可在任意时间自动启动﹑停止工作运行。 箱体左侧具?50mm之测试孔1个，可供外加电源负载配线测试部件。 可独立设定高温、低温及冷热冲击三种不同条件之功能，并于执行冷热冲击条件时,可选择二槽式或三槽式及冷冲、热冲进行冲击之功能，具备高低温试验机的功能。具备全自动，高精密系统回路、任一机件动作，完全有P.L.C锁定处理，全部采用P.I.D自动演算控制,温度控制精度高。 独特的空气流通循环设计，使室内温度均匀，避免任何死角;完备的安全保护装置，避免了任何可能发生安全隐患，保证设备的长期可靠性 可设定循环次数及除霜次数自动(手动) 除霜. 出风口于回风口感知器检测控制，风门机构切换时间为10秒内完成，冷热冲击温度恢复时间为5分钟内完成。 周全的安全保护装置，发生异常状况时,荧幕上即刻自动显示故障点及原因和提供排除故障的方法,并于发现输入电力不稳定时,具有紧急停机装置。 冷冻系统采用二元高效低温回路系统设计，采用欧美原装进口压缩机，并采用对臭氧系数为零的绿色环保(HFC)制冷剂R507，R23.超强安全保护功能：电源过载保护、漏电保护、控制回路过载、短路保护、压缩机保护、接地保护、超温保护、报警声讯提示等。箱体内外部材质采用不锈钢板(SUS#304)三、高低温冲击试验箱技术参数规格型号 BTS-49A BTS-80A BTS-150A BTS-49B BTS-80B BTS-150B BTS-49D BTS-80D BTS-150D 结构尺寸 W×H×D(mm) 内箱 40×35×35 50×40×40 60×50×50 40×35×35 50×40×40 60×50×50 35×35×40 50×40×40 60×50×50 外箱 150×195×145 180×200×145 190×200×155 150×195×145 180×200×145 190×200×155 150×195×145 180×200×145 190×200×155 高温槽温度范围 +80～200℃ 低温槽温度范围 -55～-10℃ -65～-10℃ -75～-10℃ 试验室冲击 温度 高温 +60～150℃ 低温 -10～-40℃ -10～-55℃ -10～-60℃ 升温时间 60～200℃约需25分钟 降温时间 +20～-55℃小于60分钟 +20～-65℃小于75分钟 +20～-75℃小于90分钟 冲击恢复时间 高温(150℃)冲击30分钟 低温(-40℃  or   -55℃ or  -60℃)冲击30分钟 冲击恢复时间5分钟 试样重量 2.5Kg 5Kg 10Kg 2.5Kg 5Kg 10Kg 2.5Kg 5Kg 10Kg 内箱材质 SUS＃304镜面不锈钢 外箱材质 SUS＃304不锈钢板 保温材质 高密度玻璃棉＋PU发泡胶 冷冻系统 复叠风冷式或水冷式欧美原装进口全封闭压缩机或半封闭压缩机、环保型雪种R23、R507 控制器 采用触控式人机介面，可程式控制 保护系统 压缩机过流、过热、超温、超压、加热干烧、马达过载、气压异常保护开关 附件 隔层架2片、测试孔1只 电源 AC 3.5W 380V±10% 50Hz  

产品详细介绍 量程：-50℃ ～ +150℃；分辨率：0.1℃；直径3mm不锈钢探针，可测量各种物体或溶液的温度.数据传输端口为智能HDMI接口，支持与采集器的有线通讯、无线通讯和独立数据显示三种工作方式。