|
搜索
搜 索
高等教育领域数字化综合服务平台
半导体辅材用多晶硅中碳、氮杂质的分离去除技术
伴随着我国半导体行业的迅速崛起，硅电极作为光刻设备上承载硅基圆的重要辅材，其需求日趋增加。同时，基圆尺寸的不断增加使得硅电极逐渐由单晶硅电极转变为多晶硅电极，然而多晶硅制备过程中不可避免存在C、N杂质的污染，导致其基体中存在大量弥散分布的SiC、Si3N4硬质颗粒夹杂，严重影响了多晶硅电极的使用性能。
传统制备技术下，设备热场结构单一，熔体流动性差，导致SiC、Si3N4杂质循环溶解—析出，难以有效分离。本项目团队前期利用电子束精炼技术去除硅中的蒸发性杂质（P、 O、N）；利用电子束诱导实现多晶硅的定向凝固，进而分离硅中的金属杂质；基于电子束冷床效应分离硅中的SiC、Si3N4硬质颗粒，并揭示硬质颗粒与硅基体间的位相关系；基于上述研究开发出了多晶硅电极的制备工艺，可应用于刻蚀等半导体制造等领域。
本项目预期可以为半导体行业中硅电极生产制造企业提供稳定的技术支持，具有很好的生产示范性，实现高新技术产业化。该技术能够有效地降低生产过程中的能耗，是一种低成本、环境友好的生产方法，属于节能、环保的绿色制造技术。该技术的大规模应用和推广，可大幅增加就业岗位，提高企业的市场竞争力，保护环境。
大连理工大学
2021-05-10
废电路板破碎分离回收铜残余非金属粉催化热解的方法
本发明公开了一种废电路板破碎分离回收铜残余非金属粉催化热解的处理方法，该方法是在非金属粉中加入碱性废渣混合均匀得到混合物，然后对该混合物进行热解，从而实现非金属粉与碱性废渣的共热解；碱性废渣中含有金属氧化物，能够促进热解产物的催化，使得得到的热解产物中，热解气中的溴含量下降，而被固定在热解残渣中的溴元素含量升高，热解焦油内含碳数为 5～10 的轻质油比例提高。本发明通过对关键共热解反应的反应参数、条件以及该反应所对应的微观作用机理等进行改进，与现有技术相比能够有效解决热解产物中的热解油以重质焦油为主 。
华中科技大学
2021-04-14
【深化产教融合 培育创新人才】产教融合与高素质人才培养论坛
第62届中国高等教育博览会——产教融合与高素质人才培养论坛
中国高等教育博览会
2024-11-11
专家报告荟萃㉛ | 上海大学党委副书记段勇：上海大学新文科发展理念与实践
我们学校人文学科发育不够充分，体系构建不够成熟，标志就是人文学科缺少国际话语权。对此我们既要坚信文科的固有价值，守住人文学科的底线，努力让人文学科适应数字时代，通过建设交叉学科的新文科，实现人文学科的破解重生，这也是本次论坛讨论的主题意义所在。主要讲两个方面。
中国高等教育博览会
2025-02-19
【中国教育新闻网】一场科技创新与产教融合的盛会
第63届高博会以“融合·创新·引领：服务高等教育强国建设”为主题。记者走进中铁·长春东北亚国际博览中心展馆，感受一场结合科技创新与产教融合、人才战略与区域振兴的盛会。
中国教育新闻网
2025-05-24
西南大学甘利华研究员课题组在天然气化工领域取得新进展
我们将二氧化碳重整和部分氧化重整耦合，发现在优化条件下，甲烷和二氧化碳的转化率分别可以达到99 %和47%，CO和H2的产率分别可达到91%和65%。结果还显示，预热工段产生的二氧化碳可以在后续的转化反应中完全消耗掉，实现二氧化碳零排放。
西南大学
2022-06-10
第二届高校办公室主任工作创新与发展论坛在重庆举办
11月15日，第二届高校办公室主任工作创新与发展论坛在重庆顺利召开。
高教秘书学会
2024-11-29
【高教前沿】屈凌波：地方高校与地方经济社会融合发展，同频共振
在第62届中国高等教育博览会期间，中国高等教育学会地方大学教育研究分会理事长屈凌波接受中国教育在线专访，就地方大学的高质量发展、河南高教强省建设和产教融合科教融汇等话题，分享了他的经验和思考。
中国教育在线
2025-02-27
欢迎报名 | 平行论坛“‘四新’2.0建设与创新人才培养”新文科2.0建设论坛
平行论坛“‘四新’2.0建设与创新人才培养”新文科2.0建设论坛报名
中国高等教育学会
2025-05-19
【吉林日报】相约高博会 | 新农科2.0建设与创新人才培养论坛在长春举办
5月24日下午，作为建设教育强国·高等教育改革发展论坛的重要活动之一，新农科2.0建设与创新人才培养论坛在长春举办。
吉林日报
2025-05-24