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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途：
Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点，在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说，靶材是至关重要的，它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数（Temperature Coefficient of Resistance, TCR）等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一，较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移，从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材，其性能不能满足低 TCR（≤25ppm/℃）要求。
技术原理与工艺流程简介： 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下：温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。
应用领域：
集成电路、电子元器件
合作方式及条件：具体面议
天津大学
2021-04-11
国家知识产权局办公室 工业和信息化部办公厅关于组织开展创新管理知识产权国际标准实施试点的通知
ISO56005国际标准是由我国提出并推动制定的首个知识产权管理国际标准，是创新管理国际标准体系的重要组成部分。ISO56005国际标准以创新价值实现为核心导向，坚持创新管理与知识产权的深度融合，将知识产权管理活动嵌入创新全过程，通过明确创新过程中的知识产权管理目标、方法和路径，全面提升创新效率、创新质量和创新效益。
国家知识产权局
2023-05-23
教育部办公厅 国家发展改革委办公厅 工业和信息化部办公厅关于开展第二批现代产业学院建设工作的通知
为深入贯彻党的二十大精神，落实国家有关战略部署，培养适应和引领现代产业发展的高素质应用型、复合型、创新型人才，经研究，决定在首批现代产业学院探索建设的基础上，开展第二批现代产业学院建设工作。
教育部
2023-03-14
南京师范大学eLife│生科院郭志刚教授-胡志刚副教授团队揭示RNA甲基化调控DNA重组修复并影响乳腺癌化疗新机制
生科院郭志刚-胡志刚课题组通过研究，深入阐明了METTL3通过m6A-YTHDC1依赖的方式调控EGF/RAD51轴，进而调控同源重组修复和乳腺癌化疗效果的新机制，为乳腺癌等肿瘤的治疗提供了新的靶点和药物开发思路。
南京师范大学
2022-06-14
中国药科大学药学院李微研究员团队发表关于远程导向基团控制糖苷化立体选择性合成复杂活性糖苷的研究成果
李微课题组利用N-phenyltrifluoroacetimidoyl (PTFAI)和2-diphenylphosphinoyl-acetyl (DPPA)这两种基团，分别通过远程导向以高立体选择性实现了多种糖基的α和β糖苷化。
中国药科大学
2022-05-31
中药饮片质量标准生产执行系统及智能化中药炮制设备-中药饮片质量标准生产执行系统计算机软件著作权登记证
南京中医药大学
2021-04-13
南京中医药大学郑仕中、张峰教授团队在Acta Pharmaceutica Sinica B发表中药 活性成分抗肝纤维化的新颖靶标与作用机制最新研究成果
2022年9月，南京中医药大学药学院郑仕中、张峰教授团队在国际知名学术期刊Acta Pharmaceutica Sinica B（中国科技期刊卓越行动计划重点期刊，中科院医学一区，IF: 14.903）上发表抗肝纤维化药物靶标方面的最新研究成果：“Inhibition of ASCT2 induces hepatic stellate cell senescence with modified proinflammatory secretome through an IL-1α/NF-κB feedback pathway to inhibit liver fibrosis”。
南京中医药大学
2022-10-12
铜催化苯乙烯与甲基硫代磺酸酯和芳基硼酸的分子间双官能化反应制备2,2-二芳基乙基砜类化合物
该项研究中，课题组以商品化可得的苯乙烯、芳基硼酸以及制备简便的甲基硫代磺酸酯为原料成功制取了2,2-二芳基乙基砜类衍生物。采用甲基硫代磺酸酯作为砜基自由基的来源，除了具有原料制备简便，无需柱层析分离纯化，原子经济性较好等优势，还可以巧妙地抑制芳基磺酰基自由基与芳基硼酸之间的两组分副反应，顺利实现了2,2-二芳基乙基砜类化合物的高效制备。另外，该体系
南方科技大学
2021-04-14
北京科研团队实现人工智能四维重建技术提升冷冻电镜分析精度
近日，北京市自然科学基金资助的重点研究专题项目“超高分辨冷冻电子显微镜成像方法研究与应用”取得重要进展。在该项目支持下，北京大学毛有东教授团队于2022年4月27日在国际顶级学术期刊Nature杂志在线发表了题为“USP14-regulated allostery of the human proteasome by time-resolved cryo-EM”的研究论文，阐明了原子水平人源蛋白酶体动力学调控和构象重编程机制，并在国际上首次展示了人工智能四维重建技术用于大幅提升时间分辨冷冻电镜分析精度。
北大科研
2022-05-11
浙江省科学技术厅关于 组织开展省级企业研发机构评价工作的通知
按照我厅工作部署，根据《浙江省高新技术企业研究开发中心建设与管理办法》《浙江省企业研究院建设与管理办法》《浙江省重点企业研究院建设与管理办法》（以下简称《管理办法》），经研究，决定对省级企业研发机构（以下简称“研发机构”）开展2022年度集中评价工作。现将有关事项通知如下。
浙江省科学技术厅
2023-07-17