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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
一种银基导电胶的制备方法
(专利号:ZL 201410111072.3) 简介:本发明公开了一种银基导电胶的制备方法,属于复合材料制备技术领域。该制备方法具体步骤是:将γ-环糊精、硝酸银、聚丙烯酸钠、浓硝酸、蒸馏水混合,搅拌加热至50~80℃,缓慢滴加抗坏血酸、3,4-乙烯二氧噻吩、吡咯赖氨酸、蒸馏水的混合溶液,反应1小时,过滤,经大量蒸馏水、乙醇洗涤,干燥后得到银含量为88~96%的银基复合导电粒子;将环氧树脂、固化剂以及银基复合导电粒子充分混合,100℃下固化
安徽工业大学 2021-01-12
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
一种荧光粉胶的涂覆方法
本发明公开了一种荧光粉胶的涂覆方法,属于 LED 封装领域,其采用压印方式对 LED 芯片进行荧光粉胶涂覆,包括 S1 将 LED 芯片固定在封装基板上;S2 将荧光粉胶涂覆在所述 LED 芯片上或者所述压印块的端面上,将所述压印块与所述 LED 芯片通过压印方式贴合一起;S3 待荧光粉胶在所述压印块和所述 LED 芯片之间稳定成形后,对所述荧光粉胶进行固化处理获得荧光粉层,实现荧光粉胶的涂覆。本发明方法操作简单,成本低,可灵活控制荧光粉胶形貌,从而提升LED封装光色一致性,其封装成本低,可大规模应用在工业中进行LED封装。
华中科技大学 2021-04-13
新型高档造纸中性施胶剂AKD清洁工艺
AKD中性施胶剂是现代造纸工业中应用最为广泛的一类施胶剂。传统的AKD 合成方法需加入苯类有机溶剂,残留于产品AKD中,损害人体健康,影响AKD产品的下游应用不能用于食品包装用纸领域。本技术通过采用新型绿色高效工艺合成AKD。解决了目前AKD生产中的问题。得到的AKD可用于高端造纸领域。
华东理工大学 2021-04-13
天平台
供应实验室天平台,量身定做,价格从优,质量保证,欢迎来电咨询。 备注:以上是天平台的详细信息,如果您对天平台的价格、型号、图片有什么疑问,请联系我们获取天平台的最新信息。 咨询电话:0577-67473999
温州市育人教仪制造有限公司 2021-08-23
MOOC平台
产品详细介绍   山大鲁能MOOC平台是以知识点为中心、能力测试为手段,提供一个集教、学、练、考、评等功能于一体的自主补救平台,该平台颠覆了以往以课堂教学为主的课程教学形式,学生通过现代化的网络手段可以随时随地方便地登陆到学习平台进行某门课程的学习,过程是以学生从登录网络学习平台→学习课程知识点→完成作业→课程测试和综合测试→结束课程学习进行评价分析。   产品特点:    (1)辅助性:MOOC自主补救平台的使用应该作为常规课堂教学的辅助和延伸,而不能完全替代课堂学习。教师将课程相关资料上传到教学平台,可以帮助学生课前预习和课后巩固学习,同时拓展课程内容和传统教学相辅相成。   (2)自主性:学习对学生缺乏有效的学习过程控制机制,学生的学与不学,学习时间的长短、学习效果的好坏从短期是很难监控的,学生学习的自主性显得尤其重要。MOOC自主补救平台培养学生自主学习的能力,是发挥网络学习平台效果的关键所在。   (3)可重复性:传统课堂教学要求学生课堂注意力高度集中,往往很难做到,而且课堂内容的难点也很难通过课堂的教学一次性掌握。MOOC自主补救平台给学生重复学习提供了技术支撑,教师可以通过录制课程视频、整理课程相关资料上传网络学习平台,可以使课堂再现,提供学生二次甚至多次重复学习的机会。   (4)异步性:传统的教学是课堂教与学的同步,学生必须和教师在时间上同步,思路上同步,才会取得较好的学习效果,而自主学习平台可以实现教与学的异步,教师只要安排好学习任务并进行适当的,学生可以合理地安排自己的时间在给定期限内完成学习。   (5)开放性:传统的教学主要围绕教材展开教学,同时由于课堂时间的约束,教学内容受到很大的限制,而MOOC自主补救平台可以提供学生开放性的学习环境,通过教师的引导,可以有效地对课程内容进行扩展和延伸,尤其和现实世界的结合,内容不再抽象和教条,让学生认识到课程的有用性,激发起学生的学习兴趣。   (6)交互性:传统课堂教学的交流与沟通是非常有限的,MOOC自主补救平台可以利用各种交流工具提升交流的空间和时间,让教师可以充分掌握学生的学习状态和效果,更好地把握教学的难点,同时对学生的自主学习能力起到促进作用,而且匿名交互可以很大程度上减轻学生交流时的心理压力。
华特数字科技有限公司 2021-08-23
妙+平台
物联网健康大数据平台 通过物联网健康数据入口为基础,服务包括保险、企业、手机、政府等领域,覆盖用户超6.5亿。 链接能力 超过90%的智能设备,包括智能手环、血压计、血糖仪等300多款检测型设备 体检、挂号绿通、在线问诊、海外医疗等28个类别的400余项医疗健康服务 数据量亿+ 运动、睡眠、营养、心理健康行为类数据 心率、血压、血糖、体重、体温等身体指标数据 行业标准 联合中国疾控中心慢病中心、工信部中国信通院开发国内首个“物联网健康数据交互平台” 获中国通信标准化协会CCSA各项审核批准,成为行业标准
北京妙医佳健康科技集团有限公司 2021-02-01
H平台
健康风险分级管理平台 为企业客户提供一系列健康数据智能解决方案。其中涵括:体检报告OCR识别、健康档案管理、个人综合健康指数评分、异常指标解读、疾病风险预测等。 健康档案 依据国家现有文献标准创建健康档案数据库 标签库 17W+健康医疗及用户行为标签系统 医学OCR引擎 结构化/非结构化/APP/体检报告等数据采集 医学规则引擎 机器与人工审核双重数据智能清洗
北京妙医佳健康科技集团有限公司 2021-02-01
M平台
人工智能健康干预平台 以遵循医学原理为基础,实现对用户的引导促进,并为用户提供千人千面、科学有趣的智能健康干预方案。 AI健康管理师 300+ 处方方案 2600 国内外专业文献及专家共识 具备通过国家健康管理师 考试能力 AI运动康复师 1300+ 运动动作库 7 种 症状运动康复方案 18 点 人体关键点动作识别 AI营养师 25+ 人群适宜禁忌推荐 13 类 人群智能配餐方案 86 % 准确率食物识别
北京妙医佳健康科技集团有限公司 2021-02-01
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