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一种深硅刻蚀方法
本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
华中科技大学
2021-04-14
猕猴桃种间杂交品种
目前，“意大利金桃公司”、“联想佳沃”和“阳光味道”等国内外企业在意大利切塞纳、中国四川、陕西、河南等地累计推广种间杂交新品种20万亩，近三年累计新增产值86亿元。项目成果推动了中国猕猴桃提质改造，催生了一批著名猕猴桃企业（佳沃、阳光味道等），形成了4个著名猕猴桃商标，占据了我国猕猴桃的中、高端市场。
中国科学院大学
2021-01-12
基于MEMS传感器和VLC定位融合的双粒子滤波导航装置和方法
本发明公开了一种基于MEMS传感器和VLC定位融合的双粒子滤波导航装置和方法，包括MEMS传感器、INS模块、PDR定位模块、VLC定位模块、测姿粒子滤波器和定位粒子滤波器；本发明在测姿滤波器的设计中，三维姿态误差和三轴陀螺仪漂移作为6维的状态向量。基于惯导机械编排的误差方程作为其系统方程，用于更新粒子状态。观测方程包括加速度计观测量更新和磁力计观测量更新，用于计算粒子权重。测姿滤波器输出VLC接收器的姿态给VLC定位模块以校正姿态的影响。在定位滤波器的设计中，二维平面的位置信息作为系统状态向量，基于行人航位推算的误差方程作为系统方程，而VLC的定位结果则作为定位滤波器的观测方程。
东南大学
2021-04-11
基于MEMS传感器和VLC定位融合的单粒子滤波导航装置和方法
本发明公开了一种基于MEMS传感器和VLC定位融合的单粒子滤波导航装置和方法，包括MEMS传感器、INS模块、VLC定位模块、PDR定位模块和测姿定位单粒子滤波器模块；本发明中基于INS惯导机械编排的误差方程作为融合滤波器的系统方程，用于对粒子群的粒子进行更新。观测方程包括VLC定位信息更新、PDR定位信息更新和磁力计观测量更新，用于计算各个粒子的权重。输出姿态信息给VLC定位模块和PDR定位模块。本发明首次在VLC定位领域使用融合测姿准确估计VLC接收器的姿态信息，解决VLC定位容易受接收器姿态影响以及在光信号被遮挡情况下定位不连续的问题，并消除姿态对VLC定位的影响。
东南大学
2021-04-11
规模化厨房垃圾匀质除杂一体化装置及其处理方法
本发明公开了一种规模化厨房垃圾匀质除杂一体化装置及其处理方法。破袋匀料装置置于垃圾受料斗底部出口下方，第一物料提升机入口侧置于破袋匀料装置底部出口下方，第一物料提升机出口侧位于滚筒筛分机入口上方，滚筒筛分机下方设有筛下物传送带，筛下物传送带连接到第二物料提升机的入口侧，第二物料提升机传送轮上装有磁选转毂，第二物料提升机出口侧位于破碎分选装置入口。本发明可对规模化厨房垃圾进行集中匀质纯化，大幅度提升生物质纯度，可直接用于厌氧产沼能源化利用；塑料分步分选收集，提高塑料的去除率，避免塑料袋对刀组及主轴的缠绕，提高运行稳定性；整体系统及装置结构紧凑，占地面积小，拆装方便，易于维护。
浙江大学
2021-04-11
解吸池及分子印迹搅拌棒微萃取-高效液相色谱在线联用装置
本技术成果研发了一种微波辅助提取-高速逆流色谱联用方法及其装置。首先采用微波辅助提取模式 本技术成果研发了一种适于装载分子印迹搅拌棒的解吸池，包括一上部池体及一下部池体。上部池体 提取物料；然后提取液浓缩预分离；最后通过高速逆流色谱纯化制备得到目标组分或分析天然产物提取液 的底部连接于下部池体的顶部且两者内部形成一上下贯通的解吸腔，上部池体顶部设有一液流出口，下部 中的目标组分；上述步骤通过接口及转换控制实现微波辅助提取、分离、纯化、高速逆流色谱制备或分析 池体下部圆周对称地均布有三个液流入口，液流出口及液流入口与所述解吸腔连通；还包括一分子印迹搅 于一体，可直接从天然产物中提取得到毫克级高纯度对照品，具有快速高效、高选择性的特点，实现天然 拌棒，放置于所述解吸腔中；还包括一密封圈，密封所述上部池体及下部池体的连接部。上述解吸池配以 产物快速高效的在线提取分离、纯化制备或分析。“天然物质提取分离纯化的实验室制备微波装置”集微 微量注射泵可实现对分子印迹搅拌棒的高效流动加热解吸。另外在该解吸池的基础上，通过与高效液相色 波辅助提取快速高效分离的优势和高速逆流色谱高效纯化、制备
中山大学
2021-04-10
基于单光场相机的微尺度流动三维速度场测量装置和方法
本发明公开了一种基于单光场相机的微尺度流动三维速度场的测量装置及方法，其中测量装置包括双脉冲激光器、荧光显微镜、相机系统、同步控制器和计算机，其中计算机用于存储ＣＣＤ相机获得的光场图片；选择两帧时间间隔为Δｔ光场照片，利用计算的点扩散函数，反卷积重建出示踪粒子的三维位置信息；通过三维互相关算法得出微流场的三维速度场信息。本发明采用单相机系统与传统荧光显微镜结合，实现微尺度流场的三维速度场测量，系统无需深度扫描，可以对非定常流动或非周期性流动的流场测量。
东南大学
2021-04-11
用于制备各向异性热变形稀土永磁体的真空感应热压热变形装置
用于制备各向异性热变形稀土永磁体的真空感应热压热变形装置，包括支撑体、炉体、施压系统和加热系统，所述施压系统包括上压头、下压头和液压驱动组件，所述加热系统包括感应线圈及与感应线圈连接的感应加热电源，所述炉体为夹层水冷结构，炉体外壁设有冷却水进口和冷却水出口，炉门上设有观察窗。炉体安装在支撑体的底座上，下压头位于炉体内腔并固定在炉体底部用于放置模具，上压头位于炉体内腔，其上端与伸入炉体内腔的液压驱动组件中的压杆连接并位于下压头的上方，所述压杆、上压头和下压头的中心线重合，感应线圈位于炉体内腔并安装在与模具的放置位置相适应处。该装置能缩短磁体的冷却时间，保证大尺寸磁体的磁性能和提高生产效率。
四川大学
2021-04-11
高瓦斯矿井双局扇故障诊断及自动切换一体化装置
高瓦斯矿井双局扇故障诊断及自动切换一体化装置作为第一台以DSP为主控制器的集瓦斯故障定位、双局扇自动切换、闭锁与控制、可通过监测系统井下分站传送至地面实现远程监控的一体化装置，通过采集井下掘进工作面传感器信号输出控制相应的现场设备磁力启动器从而监控主、副局扇及工作面工作状态。实现集瓦斯故障定位显示、双局扇自动切换控制。电路符合本安MA要求，对未安装监测监控系统的中小煤矿，解决双局扇故障诊断及自动切换与监控、瓦斯故障定位、风电气可靠闭锁难题，可广泛用于瓦斯矿井中。 项目先后获得陕西省教育厅产业化培育基金等的资助，通过了陕西省科技厅组织的验收和陕西省科技厅的鉴定，所取得成果达到了国内领先水平。已获发明专利1项，获各类科研成果奖励2项，其中中国煤炭工业科学技术二等奖1项，并装在容和公司的防爆壳已在矿山试应用。
西安科技大学
2021-04-11
规模化厨房垃圾匀质除杂一体化装置及其处理方法
本发明公开了一种规模化厨房垃圾匀质除杂一体化装置及其处理方法。破袋匀料装置置于垃圾受料斗底部出口下方，第一物料提升机入口侧置于破袋匀料装置底部出口下方，第一物料提升机出口侧位于滚筒筛分机入口上方，滚筒筛分机下方设有筛下物传送带，筛下物传送带连接到第二物料提升机的入口侧，第二物料提升机传送轮上装有磁选转毂，第二物料提升机出口侧位于破碎分选装置入口。本发明可对规模化厨房垃圾进行集中匀质纯化，大幅度提升生物质纯度，可直接用于厌氧产沼能源化利用；塑料分步分选收集，提高塑料的去除率，避免塑料袋对刀组及主轴的缠绕，提高运行稳定性；整体系统及装置结构紧凑，占地面积小，拆装方便，易于维护。
浙江大学
2021-04-13