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微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大,风险高,成本高且产量低的技术问题。
华中科技大学 2021-04-14
供应光纤光谱仪/微型光谱仪//长春博盛量子
产品详细介绍 光纤光谱仪产品名称: Maya2000-Pro产品名称: S1024 高井深光谱仪产品名称: QE65000科研级的光谱仪 产品名称: NIR-256 温度可调的近红外(NIR)光谱仪 产品名称: NIR-512 温度可调的近红外(NIR)光谱仪 产品名称: HR4000高分辨率光谱仪 产品名称: HR2000+高分辨率光谱仪 产品名称: USB4000微型光谱仪特点• 5种触发方式• 响应波长200-1100nm• 10µs积分时间• 光学分辨率(FWHM可达0.02nm) • 电子快门可以防止饱和 • 量子效率高达90% • 更高的系统灵敏度 • 优异的紫外光响应能力 • 满足低亮度级别应用的条件• 板载微控器 • 即插即用USB • 光学平台 • 安装和使用手册 • 采用附件 • 规格应用范围:适用于激光及环境检测、成分分析等各种测量,而且小巧方便,价格较国内的许多光学仪器都非常的低廉,可以看做是一款近民用的光学仪器,非常适用于科学研究已经广泛的应用在全国的各大院校当中
长春博盛量子科技有限公司 2021-08-23
果蔬检测装置及果蔬检测方法
本发明涉及检测领域,公开了一种果蔬检测装置及果蔬检测方法,果蔬检测装置包括传送机构以及设置在所述传送机构的传送途径上的至少一个检测单元,所述传送机构包括:轨道;托盘组件,沿所述轨道运动,所述托盘组件包括第一托盘以及位于所述第一托盘内的第二托盘,所述第二托盘尺寸小于所述第一托盘;以及升降模块,至少部分与所述第二托盘连接,用于带动所述第二托盘相对所述第一托盘升起或降落。本发明的果蔬检测装置及果蔬检测方法,兼顾待检物平稳运输的同时减小检测时承载件对待检物的过多遮挡,以提高检测精度。
中国农业大学 2021-04-11
进口无损检测仪泄露检测仪器
产品详细介绍进口无损检测仪泄露检测仪器电压范围:                        10-25KV,调节精度5KV电压选择:                        旋钮选择电压形式:                        单级脉冲脉冲幅度:                       <10us电源:                            6V 4.5Ah,分离式蓄电池组蓄电池尺寸及重量:               90X45X120mm    0.9公斤持续工作时间:                   最长持续工作时间9小时尺寸及重量:                     220X256X88mm不含蓄电池的外壳重量:           小于3公斤音频报警信号:                   约为86分贝,频率3500HZ连接测试干额中继电缆长度:        1.5米相关标准及行业规定               DIN55670,DIN28055,DIN30670,DIN4681,DIN28063,DIN EN14330(IV),DVGW462/1,W400-2
北京百达泰科机电设备有限公司 2021-08-23
BH-MTG7便携式微型燃气涡轮发电系统
本项目是一款便携式微型燃气涡轮发电系统。在系统中将高效微型燃气涡轮发动机和超高速永磁同步电机同轴布置,利用微型燃气涡轮发动机直接驱动超高速永磁同步电机,从而使得整个发电系统具有结构简单、体积小、重量轻、零部件数量少、可靠性高、寿命长的特点;同时由于在系统中增加了回热单元,使得整个燃气涡轮发电系统还具备较高的热电转化效率和较低油耗;此外与已有小型发电系统相比,本项目还具有振动小、噪音低、燃料多元化等诸多显著优势。可作为便携式移动电源、微小型无人机动力、电动汽车增程等而广泛用于单兵发电、野战电源、应急抢险救灾、太阳能光热发电、微小型装备以及新能源汽车等领域。
北京航空航天大学 2021-04-10
环境检测技术
究团队在线光电检测技术及仪器方面,主要采用光谱技术对水质进行监测,具体包括:1)采用紫外-可见光谱技术实现了水质COD和浊度的在线监测。自主开发了浸没式、小型化、一体化的采样分析的探头,探头直径仅50m,能耗低,可在野外无人值守的环境工作。该探头经过上海市计量测试技术研究院的测试,结果表明,该探头符合国家环保行业相关标准;2)采用红外光谱技术实现水体CO2含量的在线监测,为水生态环境的监测提供支撑。
上海理工大学 2021-04-10
光谱检测技术
研究团队十余年来致力于光谱检测与分析领域,研发了数件产品,持有多项发明专利,发表了多篇高水平论文。例如, 1)采用紫外-可见光谱技术实现了水质COD和浊度的在线监测。自主开发了浸没式、小型化、一体化的采样分析的探头,直径仅50 mm,能耗低,可在野外无人值守环境工作。2)采用红外光谱技术实现水体CO2含量的在线监测,分辨率高,稳定性高。目前,探头正在三峡库区进行测试。3)建立一系列基于表面增强拉曼光谱效应的新型光学免疫检测方法,发展了相关纳米光学探针和微通道芯片器件,实现了血液、唾液等体外复杂环境中肿瘤标志物(包括循环肿瘤细胞、循环肿瘤DNA、肿瘤来源外泌体表面受体分子及内含miRNA分子等)的高灵敏、高通量和快速检测。
上海理工大学 2023-05-09
耐高温1000℃光纤光栅传感系统
高校科技成果尽在科转云
西安交通大学 2021-04-10
光纤光栅高温温度传感器
光纤光栅传感器具有响应快、可分布式测量、并行传输容量大、抗电磁干扰等特点,适用于应变、温度、应力等多种参量的测量,在隧道、桥梁、大坝发电 站、变电站、储油基地、各类仓库、化工厂高层建筑、航天工业等领域都有着重 要的应用。传统的光纤光栅由光敏光纤制备,其折射率调制是由于色心的产生形 成的。在 400°C以上这种光栅结构就被擦除,无法应用在高温环境下。
西安交通大学 2021-04-11
基于无线传感网络的监测系统
无线传感器网络是由许多功能相同或不同的无线传感器节点组成,每一个传感器节点由数据采集模块、数据处理和控制模块、通信模块和供电模块等组成,传感器节点之间通过自组织的方式构成网络,以无线的方式进行数据传输。 基于无线传感器网络的监测系统即是利用传感器测量所在环境的温度、振动、压力等信号,并将测量的信号进行处理后通过无线传感网络发送到监控主机,监控主机以可视化方式动态显示监测数据,并可进行数据处理、分析、存储和打印。 监测系统平台集数据采集、数据无线传输、数据处理、异常数据预报警及辅助决策于一体,采用无线通信的方式实现对环境和设备的实时监测,达到了对环境和设备事故的早发现、早预报、早防治的效果。
西安交通大学 2021-04-11
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