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微型湿度传感器
项目成果/简介:自主设计研发，采用独创的器件结构和特有的感湿介质及其制备技术。与同类产品相比的优势:湿滞小;芯片面积小(~3mmx3mm);响应速度快(对30%-70%RH湿度阶跃变化的响应时间为~1.0s);100℃以上高温耐受性好;长期稳定性好(常温环境中放置1年特性无明显变化)。采用常规微电子工艺制作，易于大批量生产。掌握全套制备工艺和关键工艺技术，达到量产水平。已获发明专利，具有完全知识产权。应用范围:便于与其它部件集成，适合于便携式、移动式湿度检测或恶劣环境的湿度检测，可用于农业、气象、高温/有毒环境、狭小/密闭环境的湿度检测。可利用互联网、物联网等应用技术平台组成检测网络，应用潜力巨大。项目阶段:已用于新能源汽车电池模组的湿度检测(因电池寿命受湿度的影响大)。知识产权类型:发明专利知识产权编号:ZL201010535361.8、ZL201010272929.1技术成熟度:可以量产技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:无
兰州大学
2021-04-10
微型湿度传感器
自主设计研发，采用独创的器件结构和特有的感湿介质及其制备技术。
与同类产品相比的优势:湿滞小;芯片面积小(~3mmx3mm);响应速度快(对30%-70%RH湿度阶跃变化的响应时间为~1.0s);100℃以上高温耐受性好;长期稳定性好(常温环境中放置1年特性无明显变化)。
采用常规微电子工艺制作，易于大批量生产。
掌握全套制备工艺和关键工艺技术，达到量产水平。
已获发明专利，具有完全知识产权。
兰州大学
2021-05-11
微型流量传感器
微型流量传感器，属于 MEMS 器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本发明之一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量两个加热体间的电阻差值来测定气流流量，
华中科技大学
2021-01-12
微型核磁共振检测装置
成果介绍生物标记物的快速准确定量检测对于传染病防治、疾病的早期筛查、手术前后病原体筛查、食物卫生检查和生化防卫等方面均具有重要的意义。技术创新点及参数生物标记物的快速准确定量检测对于传染病防治、疾病的早期筛查、手术前后病原体筛查、食物卫生检查和生化防卫等方面均具有重要的意义。
东南大学
2021-04-11
一种石墨烯微型流量传感器
本实用新型公开了一种石墨烯微型流量传感器，属于 MEMS 器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本实用新型之石墨烯微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有电极。本实用新型的另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上覆盖有绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本实用新型体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量通入气体前后加热体的电阻差值
华中科技大学
2021-04-14
棉条检测传感器
棉条检测传感器是一种高精度、高灵敏的硅微力传感器，主要应用于纺织机械中并条机、梳棉机动性等前纺设备的棉条在线检测以及纺织质量的控制检测。国外棉条检测传感器的敏感元件采用桥式金属应变片结构，存在着测量灵敏度低的缺点。该传感器具有灵敏度高、精度高、动态特性好、可靠性能好、体积小、重量轻等特点。
西安交通大学
2021-01-12
岩层变形光纤传感检测方法
本成果采用光纤Bragg光栅传感器进行岩层变形多点测试，在国内首次将光纤光栅技术应用于岩层应变变形实时监测，填补了国内、外将光纤光栅传感技术应用于该领域的空白。以光纤光栅单点和多点传感原理为基础，建立基于光纤光栅传感技术的岩石变形检测理论和方法，通过试件、相似模型实验和现场工程实践，建立光纤光栅传感器与岩体相互作用的光学—力学模型。设计了用于室内和现场岩层变形检测的光纤光栅传感器。研究适合于埋入岩体内部的光纤光栅应变传感器结构、测量方法及相应的光纤多介质应变传递理论。 本项目获得了两项国家自然科学基金项目的资助，曾获“陕西省教育厅科学技术二等奖”一项，中国煤炭工业协会“科学技术二等奖”一项。授权发明专利3项，实用新型专利1项。
西安科技大学
2021-04-11
多功能智能传感检测牙刷
本实用新型公开了多功能智能传感检测牙刷，包括手柄、电机、旋转轴、连接套、毛刷、噪音传感器、Y型槽、吸气泵，该多功能智能传感检测牙刷，结构巧妙，功能强大，操作简单，通过使用该装置，当毛刷给使用人员的牙齿进行刷洗时，该装置可智能的将清水通过雾化形式喷洒至使用人员的牙齿处，以此让毛刷给使用人员的牙齿进行边刷洗边清洗的状态，有效提高了使用人员牙齿刷洗的清洁度。
安徽建筑大学
2021-01-12
耐高温微型压力传感器实用化开发
研究基于SIMOX技术的耐高温压力传感器，达到目标为工作温度200℃-400℃，抗1000℃高温冲击，量程从1MPa～100MPa。非线性±0.5%Fs。固有频率20Hz-150Hz。主要研究内容：带有导电通道的选择性氧离子注入SIMOX技术的SOI硅片制作，抗瞬时超高温和长期高温冲击的总体结构设计与优化；长期工作稳定性研究等。产品达到同类产品的先进水平。
西安交通大学
2021-01-12
高性能全光纤微型传感器/激光器
直径为几个微米到几十纳米的微纳光纤具有大的消逝场，高的非线性，低的损耗，易于操作，成本低廉等一系列特点。利用微纳光纤可以制备成具有多种功能的尺寸在1mm以内的微小器件，并且具有与普通光纤一样的输入输出端，插入损耗极低。本项目有两种代表性的器件：1.微型流/气体传感器，体积小，所需被检测物的量也极小，十分适合用于检测有毒有害气体液体，另外该种传感器也可以用于检测振动等；2.全光纤的微型分布反馈式激光器，器件成本极其低，效率高，体积小于100umX1mm
南京大学
2021-04-14