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微型湿度传感器
自主设计研发，采用独创的器件结构和特有的感湿介质及其制备技术。
与同类产品相比的优势:湿滞小;芯片面积小(~3mmx3mm);响应速度快(对30%-70%RH湿度阶跃变化的响应时间为~1.0s);100℃以上高温耐受性好;长期稳定性好(常温环境中放置1年特性无明显变化)。
采用常规微电子工艺制作，易于大批量生产。
掌握全套制备工艺和关键工艺技术，达到量产水平。
已获发明专利，具有完全知识产权。
兰州大学
2021-05-11
微型湿度传感器
项目成果/简介:自主设计研发，采用独创的器件结构和特有的感湿介质及其制备技术。与同类产品相比的优势:湿滞小;芯片面积小(~3mmx3mm);响应速度快(对30%-70%RH湿度阶跃变化的响应时间为~1.0s);100℃以上高温耐受性好;长期稳定性好(常温环境中放置1年特性无明显变化)。采用常规微电子工艺制作，易于大批量生产。掌握全套制备工艺和关键工艺技术，达到量产水平。已获发明专利，具有完全知识产权。应用范围:便于与其它部件集成，适合于便携式、移动式湿度检测或恶劣环境的湿度检测，可用于农业、气象、高温/有毒环境、狭小/密闭环境的湿度检测。可利用互联网、物联网等应用技术平台组成检测网络，应用潜力巨大。项目阶段:已用于新能源汽车电池模组的湿度检测(因电池寿命受湿度的影响大)。知识产权类型:发明专利知识产权编号:ZL201010535361.8、ZL201010272929.1技术成熟度:可以量产技术先进程度:达到国内领先水平成果获得方式:独立研究获得政府支持情况:无
兰州大学
2021-04-10
微型流量传感器
微型流量传感器，属于 MEMS 器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本发明之一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽表面架有两个分离的隔热层，各隔热层表面覆盖绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本发明体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量两个加热体间的电阻差值来测定气流流量，
华中科技大学
2021-01-12
快速响应和恢复的湿度传感器
传统的陶瓷氧化物湿度传感器由于其具有较好的稳定性而得到广泛的应用。但其响应的速度较慢，无法满足越来越多的实时湿度监测的要求。而新型的无铅双钙钛矿材料Cs2BiAgBr6不仅优异的湿敏特性，同时在大气环境下具有良好的稳定性。该湿度传感器具有快速的响应（1.78 s）和恢复速度(0.45 s)。通过分析该材料在不同的温度下的湿度响应，发现水分子在无铅双钙钛矿表面的物理吸附效应是材料的主要湿敏机理。
复旦大学
2021-04-10
一种基于超材料结构的湿度传感器
本发明公开了一种基于超材料结构的湿度传感器，包括基板、输入微带信号线、输出微带信号线、叉指结构、开路短截线电感、微带线地线、聚酰亚胺层，该湿度传感器是在基板上放置由叉指结构和开路短截线电感构成的超材料结构，当空气中的湿度发生变化时，叉指结构上涂覆的湿度敏感材料聚酰亚胺层能够吸收空气中的水汽分子，其介电常数发生变化，导致由叉指电容和开路短截线电感构成的超材料结构产生相应的相移输出，通过检测超材料结构的相移，实现湿度的测量，本发明灵敏度高，测量误差小，同时还具有结构简单、成本低、统计小、功耗低、工艺兼容等优势。
东南大学
2021-04-11
超低成本超低功耗土壤湿度传感器
当前土壤湿度传感器最先进的有美国的EC-3型土壤湿度传感器售价约1500元，误差3%。而国产的土壤湿度传感器在280元至500元不等，误差5%以上。本技术的土壤湿度传感器制造成本在15元以下，计算模具等其它成本、人力成本和合理利润的情况下售价在50元之下，误差4%左右。 另外，本技术的土壤湿度传感器自身功耗极低，测试结果为：工作状态5mA，休眠状态6-8uA，实际系统使用时4节5号干电池可连续使用1年以上。 本技术的土壤湿度传感器在某智能浇灌系统实际使用已经超过3年，各
常州大学
2021-04-14
一种石墨烯微型流量传感器
本实用新型公开了一种石墨烯微型流量传感器，属于 MEMS 器件，用于气流流量测量，解决现有流量传感器功耗大、衬底存在热传导、响应时间长的问题。本实用新型之石墨烯微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有电极。本实用新型的另一种微型流量传感器，衬底上具有凹槽，凹槽上架有隔热层，隔热层上覆盖有绝缘层，绝缘层上溅射有加热体，加热体的两端溅射有金属电极。本实用新型体积小、重量轻而且性能稳定，能有效降低衬底传热导致的测量误差，通过测量通入气体前后加热体的电阻差值
华中科技大学
2021-04-14
高性能全光纤微型传感器/激光器
直径为几个微米到几十纳米的微纳光纤具有大的消逝场，高的非线性，低的损耗，易于操作，成本低廉等一系列特点。利用微纳光纤可以制备成具有多种功能的尺寸在1mm以内的微小器件，并且具有与普通光纤一样的输入输出端，插入损耗极低。本项目有两种代表性的器件：1.微型流/气体传感器，体积小，所需被检测物的量也极小，十分适合用于检测有毒有害气体液体，另外该种传感器也可以用于检测振动等；2.全光纤的微型分布反馈式激光器，器件成本极其低，效率高，体积小于100umX1mm
南京大学
2021-04-14
耐高温微型压力传感器实用化开发
研究基于SIMOX技术的耐高温压力传感器，达到目标为工作温度200℃-400℃，抗1000℃高温冲击，量程从1MPa～100MPa。非线性±0.5%Fs。固有频率20Hz-150Hz。主要研究内容：带有导电通道的选择性氧离子注入SIMOX技术的SOI硅片制作，抗瞬时超高温和长期高温冲击的总体结构设计与优化；长期工作稳定性研究等。产品达到同类产品的先进水平。
西安交通大学
2021-01-12
HKM中科米点定制微型六维力传感器
安徽中科米点传感器有限公司
2021-12-16