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一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形; ②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指 电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热 部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成 加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感 材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体, 而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传 感器的加热部件具有尺寸小,耗费能量小,制作简单的优点。 
华中科技大学 2021-04-11
一种野外连续测试原位水稻土高光谱的车载微型铧犁装置
本实用新型公开了一种野外连续测试原位水稻土高光谱的车载微型铧犁装置。铧犁立柱和光谱组件立柱通过定位杆固定在连接桥上,铧犁刀片固定在铧犁立柱底端,保护罩固定在光谱组件立柱底端,保护罩靠近土壤一侧底部开有透光孔,蓝宝石固定在透光孔正上方,蓝宝石横截面中心和透光孔横截面中心连线与光谱传感器的中心轴线重合,将装置通过连接桥与微型履带式拖拉机固定后,打开光谱仪和光源电源,设置光谱仪的数据自动采集频率,启动微型履带式拖拉机拖动本装置,进行野外原位水稻土光谱连续测试。使土壤原位高光谱的大范围实时连续测量更加简单,省时省力。
浙江大学 2021-04-13
一种微型旋转机械泵的叶轮固定结构及固定方法
本发明公开了一种微型旋转机械泵的叶轮固定结构及固定方法,主要应用于诸如微型的旋转机械泵及其它微型轴端固定场合,其结构主要包括:叶轮、电机轴、填充料。叶轮包括叶片和轮毂并固定在电机轴端,叶轮轮毂一端开设有填料阶梯孔,电机轴插入叶轮轮毂一侧的轴段开设有槽道,槽道的开设方向与轴向垂直。电机轴穿过叶轮轮毂后,电机轴槽道完全处于轮毂一端的填料阶梯孔内,填充料填充并固化在填料阶梯孔与槽道合围的空间内,从而形成轮毂-电机轴咬合结构,最终实现小空间内叶轮固定于电机轴上的目的。轮毂-电机轴咬合工艺结构相比单纯的轮毂-电机轴粘接工艺拥有更高的固定强度。
华中科技大学 2021-04-13
一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺,步骤为:①在基底上匀胶和光刻显影,形成叉指形状的光刻胶图形;②将基底在保护气氛下进行热解,形成玻碳叉指电极;③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影;④再次热解,得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分,不需要另外加上检测电路,以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体,而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺,相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小,耗
华中科技大学 2021-04-14
一种用于 HF/VHF 雷达的微型接收天线及方位角估计方法
本发明公开一种用于高频(HF)或甚高频(VHF)雷达的微型接收天线及方位角估计方法。该天线 主体由两个正交摆放的环天线组成,两个环天线置于同一个防水盒中,由一根支撑杆架设在地面上,主 要用于探测海面、水面散射回波和目标回波,以及低空目标回波。两个环接收到的信号分别为磁场的两 个正交分量,对磁场模量归一化后可得到理想方向图用于方位角估计。本发明的优势在于:天线对架设 环境没有太大限制,只要探测范围没有巨型遮挡物造成回波较大衰减即可,一般的金属栏杆
武汉大学 2021-04-14
针式微捕集--一种微型便携式的快速、应急监测分析装置
1、成果简介:(500字以内) 本研究成果是一种产品----针式微捕集,它是将自制吸附剂填充固定于超细针头(0.4mm i.d.,0.7mm o.d.)内,基于色谱平台的快速釆样提取&分析装置。该产品可直接插入样品基质(气体或水性基质)中,利用外接泵或注射器驱动样品流通过针头,同时完成样品采样、目标物提取和浓缩等过程,再直接插入气相色谱进样口,完成进样分析。该技术集采样、免溶剂提取、保存、色谱进样于一体,实现即采样即提取即分析。大幅度降低采样的
吉林大学 2021-04-14
药用级黄腐酸的研制技术及应用
年青煤 (泥炭、褐煤、风化煤) 中存在的黄腐酸是天然生物技术和地球物理化学的产物, 采用现代生物技术提取泥炭蛋白、萜类、甾类等化合物,结合分子印迹技术研制药用级的黄 腐酸,于抗病毒、抗肿瘤、抗白血病、抗关节炎、提高免疫T、B细胞方面已通过动物应用试 验,由ID、ED等指标显示效果显著。 
华东理工大学 2021-04-11
轧制产线级能源介质在线监控与优化
1、 能源介质系统的集中监测及运行状态分析完善轧制生产线能源介质系统的仪表配置和数据收集,对各类能源介质进行集中监控和在线计量,根据热平衡、水平衡等动态分析方法,对能源介质系统运行状态进行异常识别、诊断和预警,并自动生成管理报表等。2、 轧件工序能耗成本的在线核算和挖掘分析利用能耗分析模型,根据轧件跟踪时序,在线统计分析每一轧件在各工序中的能源介质消耗及成本,并与生产过程数据关联分析,为生产工艺的节能优化提供依据。3、 轧件工序能耗的预测仿真及生产优化利用能耗预测模型实现生产工艺节能的仿真优化,并根据生产节奏,通过峰谷电量排产和燃气、冷却水供应优化,以减少能源介质的耗散,同时避免能源介质波动对产品质量稳定性造成不良影响。
北京科技大学 2021-04-13
两级式高频隔离光伏并网逆变器
该产品功率等级为 3kW~4.6kW,具有双向功率流动特性,拓展产品应用范围,适用于低压输入的户用型及小型并网发电站,适用于储能系统、电动汽车充放电等, D2D 为模块化结构,功率易于扩容,高频电气隔离,更加安全可靠,高效、先进的软开关技术,自主知识产权。 峰值效率大于 96.5%; CEC 和欧洲效率大于 95%。
扬州大学 2021-04-14
ppb级高精度红外气体检测技术
红外吸收光谱技术基于捕获物质的红外“指纹”来获得物质成分和含量信息,其核心是红外光谱器件和高效紧凑红外光学系统,主要的应用之一是针对气体的传感检测,如有毒有害气体、温室效应气体以及呼吸气体成分和浓度的检测等。相比传统的单气体成分的检测,同时检测多种气体是降低检测成本的有效途径;相比针对未知气体采用实验室傅里叶红外光谱仪的检测,可以现场检测的微小型化红外光谱仪具有更实用且成本更低的优势。另外, 越来越多的场景需要探测精度达到ppb 或亚ppm 精度的高精度气体检测,如有毒有害痕量气体、呼吸气体肺癌早期诊断、果蔬存储中具有催熟剂作用的微量乙烯气体释放的检测等。 现有红外气体传感技术中,基于激光光源的气体传感器虽然易于达到ppb级的高精度检测,但是激光传感器成本昂贵,而低成本的基于热光源的红外气体传感器虽然成本较低,但是却存在精度低的问题。 为了解决上述的精度和成本痛点问题,本成果掌握了高功率热红外光源、可级联长光程气体吸收池、多通道红外探测器和可调谐红外探测器以及多通道微弱信号数字锁相放大检测等技术,开发一系列探测精度到100ppb 以下的多通道红外气体传感器和演示模组,以及基于可调滤波器的小型化红外光谱仪,展示了集成多组分气体检测和现场未知气体成分的光谱仪检测能力,具有高精度和低成本优势,以及小体积和低功耗特点。 (1)高功率热红外光源:MEMS 热光源芯片阵列与微光学准直阵列集成,实现低发散角的高功率红外源。为实现高精度探测所需要的长光程气体吸收池提供足够的红外光能量。 (2)可级联长光程气体吸收池:高精度气体检测需要米级长光程池。现有长光程气体池主要有怀特池、Herriott 型、Chernin 型以及环形吸收池,配合低发散角的激光光源。但是这些吸收池结构复杂,装配难度高,成本高。自主提出的可级联气体池结构简单,光学效率高,且中心对称,加工和装配成本低。 (3)多通道红外探测器:不同敏感波长的红外探测单元集成在同一衬底上,构成多通道器件,可共用一个气体池和光源,节省器件,降低了成本,同时节省了体积和功耗。 (4)可调谐滤波器:采用电调FP 腔和单探测器可以动态选择透射波长进行探测。具有在一定波段内连续扫描实现红外光谱仪的功能,也可以随机定位某个特定波长探测,灵活性强。除了用于已知气体成分的浓度检测,还可用于对含有未知气体种类的应用场景进行气体检测。另外,大口径的压电驱动可调滤波器可用于电力开关柜SF6气体泄露、天然气管道气体泄露以及农作物长势和病虫害监测等场合的红外光谱成像检测。 (5)微小型红外光谱仪:红外光谱仪是在一个较宽的红外波段进行扫描以获取物质的光谱信息,借此探知物质的未知成分。传统的红外光谱仪体积大,主要在实验室使用。本技术采用FP 腔可调滤波器具有体积小结构稳定的特点,易于实现现场检测。 图1 四通道滤波聚焦单元、光学/探测器集成结构以及红外光谱探测器 图2  长光程气体池(平均光程>1米) 图3 可调光谱探测器-PZT压电陶瓷驱动FP腔可调滤波器及可调光谱 图4 红外气体传感器模组 【技术优势】 (1)基于表面微纳结构的窄带滤光片/微透镜阵列技术:实现覆盖中波和长波红外的宽波段滤光/聚焦结构,具有低成本制造优势。 (2)多通道红外探测器集成芯片技术:多通道滤波/聚焦阵列结构与红外探测单元阵列集成,实现多波长光谱探测芯片,具有低成本和小体积优势。 (3)可级联长光程池技术:适合热光源的米级光程气体吸收,实现低成本ppb 级红外气体探测。相比高精度的激光气体传感器,具有成本优势。
华中科技大学 2023-03-14
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