本发明公开了一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近 SiO2 层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的 Si 层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的 Si 以及固定结构与其它结构之间的区域底部的 Si，使得固定结构与窄槽下方的 Si 层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广

惯性制导系统在制导炮弹中有着极其重要的作用，其中，微机械陀螺仪作为惯性制导系统的核心器件，其抗高过载能力直接制约着惯性制导系统在抗高过载环境中的应用。首先，对炮射膛内高过载环境进行了建模和量化，概括了微机械陀螺结构的高过载失效机理。其次，结合国内外相关机构公开发表的研究成果，从微机械陀螺仪的抗高过载特性的角度出发，介绍了不同测控方式、不同结构形式、不同结构材料、不同工作原理的微机械陀螺仪的抗冲击能力。最后，对相关报道和论文进行了总结和归纳，提出应从驱动-检测方式、合理的吸能释能结构配置、工作原理、新型结构材料、多级系统缓冲等方面设计和改进高过载微机械陀螺结构，以提高陀螺的抗高过载能力。从面向制导炮弹的应用背景出发,通过对膛内过载环境的量化分析,提出了弹载惯性制导系统中高过载微机械陀螺高过载能力的需求,并在此基础上,对微机械陀螺仪的失效机制进行了归纳和分析。结合国内外相关机构在抗高过载微机械陀螺方面的研究,总结归纳了不同测控原理、不同工作方式、不同结构形式的微机械陀螺仪的抗冲击能力。但目前并未出现任何在高过载(炮击)环境前后微机械陀螺参数未发生变化的报道,说明抗高过载微机械陀螺仪方面的研究工作还需要进一步深入开展,本文认为提高微机械陀螺仪抗高过载特性可从以下5个方面进行改进。 1)采用其他驱动-检测方式代替梳齿电容方式梳齿电容在过载时容易发生断裂和结构吸合以致陀螺结构失效,可采用电磁、磁阻效应等检测原理替代梳齿电容检测方式。 2)采用四波腹振型模态等工作方式代替线振动工作方式 实验数据表明,四波腹振型模态工作方式在高过载状态下性能退化现象优于线振动工作方式的陀螺结构,尤其是在其全角工作模式下,通过四波腹相位信息反映输入角度,相位信息对冲击造成的线位移几乎不敏感。3)采用合理的吸能和释能机构在现有结构中增加合理的吸能和释能机构以吸收和释放由于高过载产生的应力和能量以保护结构。4)采用碳化硅等新材料代替硅材料充分利用碳化硅等新型抗高过载性能好的材料替代硅材料,达到提升高过载特性的目的。5)采用多级抗过载防护技术提高陀螺整体抗过载能力可在 MIMU 外壳、陀螺外壳、陀螺结构外壳、陀螺结构基底等多个环节进行抗过载处理,分级吸收冲击应力波,最终提高陀螺整机抗过载能力。随着新原理和新材料的不断成熟和应用,高过载环境将不再成为微机械陀螺的禁区,如何能够降低成本和体积、提高产量和标定效率、与 MIMU 集成将是抗高过载微机械陀螺在下一阶段中亟待解决的问题。

产品详细介绍 微机械陀螺仪CRG20-02 微机械陀螺仪CRG20-02简介：微机械陀螺仪CRG20系列是一种用来测量运动物体角速度的微型惯性器件，一种新的低成本的微型陀螺仪，适合大批量的应用。该系列产品使用了硅环MEMS技术，在剧烈冲击和震动条件下仍能保持卓越的性能，如果使用石英陀螺，引擎运动时往往会带来很多问题，CRG20则不会受到影响，在船板上其他相同类型的汽笛声使陀螺产生共振而引起的错误，使用CRG20则消除了这样的问题。还有一些品牌的陀螺因为温度漂移大和不规律性而很难实现补偿，CRG20温漂小并具有良好的重复性，用户可以很容易解决该问题。在机器人里使用光纤陀螺所带来的成本高和体积等问题，因为有了CRG20的替代也会轻松解决。 微机械陀螺仪CRG20-02特点：1、独有的COS2θ硅环MEMS技术2、全数字闭环控制3、全温范围内工作，性能稳定，漂移很小，无须温补和校准4、内置温度传感器5、具有SPI和模拟速率输出两种方式6、数字分辨率0.03125°/s7、角度随机游走系数很小，0.3°/rt hr8、抗振动、冲击能力强9、两路辅助的ADC输入10、测量范围：±75°/s和±300°/s可选11、敏感极性：顺时针旋转，输出为正12、体积小：9.5mm*9mm*3.44mm,LCC36 陶瓷封装 微机械陀螺仪CRG20-02应用：应用于：1、平台稳定系统、仪器设备； 2、IMU、导航系统、自适应巡航控制系统；3、机器人；4、汽车ESC、汽车防侧翻、GPS组合；5、摄像稳定等 微机械陀螺仪CRG20-02参数：

实现机械结构的轻量化，不仅可降低产品成本，而且可减小装备总装机功率，改变驱动形式，提高作业效率和操作性能，因此结构轻量化技术已成为我国机械产品技术创新升级的关键，是机械产品向高端化发展必须突破的关键技术瓶颈。自 2005 年起，项目组以实现轻量化机械结构，从而进一步实现机械产品升级换代为目标，开展了机械结构轻量化设计的关键技术攻关。在国家和省部级多个项目的支持下，通过校企深度合作研究，发明了多项机械结构轻量化设计关键技术，并在实现结构轻量化的基础上，发明了典型机械产品关键零部件的多项创新技术，最终集

产品详细介绍 微机械陀螺仪CRS03-02/CRS03-04系列 微机械陀螺仪CRS03系列简介：CRS03系列微机械陀螺仪(角速度传感器) 是用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。陀螺仪应用Corioli效果，采用硅素超微精密环型传感件设计而生产一耐震动的高精度类比输出电压。 微机械陀螺仪CRS03系列特点：◆利用MEMS（微机械加工）的微型器械。◆由于平面环状结构，因此受震动和冲击的影响很小。微机械陀螺仪CRS03系列用途：◆导航◆平台稳定◆汽车安全系统◆遥控直升机◆车装卫星天线设备◆工业用◆机器人◆3D虚拟实境◆船只电子磁针误差补偿有关倾斜（角速度）感应设备 微机械陀螺仪CRS03系列技术参数：

本实用新型公开了一种高温机械密封结构。套筒套在轴的大端上，套筒端面开有环形槽，静环一端插入安装到环形槽中，并通过O型橡胶圈与环形槽内壁密封连接，套筒外侧对称两侧设有第一紧定螺钉，第一紧定螺钉穿过套筒后连接到静环外侧将静环轴向固定并限制静环转动，静环安装在环形槽内的端面经弹簧与环形槽底面相连接，静环位于环形槽外的端面经合金涂层与动环连接，动环套在轴的小端上并通过轴肩定位后利用锁紧挡圈与第二紧定螺钉轴向固定。本实用新型使得动环与静环之间在高温状态下的摩擦状况由干摩擦变为流体摩擦，减少动环与静环之间的摩擦、磨损、介质泄漏，提高动环与静环的使用寿命，保证这两个端面之间良好的机械密封性能。

本实用新型公开了一种机械辅助破岩结构，包括岩体钻孔、自膨胀螺栓和高强钢索，所述自膨胀螺 栓固定在岩体钻孔底部，所述高强钢索一端连接在自膨胀螺栓上，另一端设置有受力环，所述受力环与 动力机械连接，所述高强钢索上还串接有若干高强合金环。此结构破除岩体高效且操作简单。

机械结构可靠性设计及分析软件是一个模块化的机构\结构零部件和系统的可靠性设计及概率分析的软件系统，采用了最新的概率算法和通用数字分析方法以计算工程系统的概率响应和可靠性；提供了丰富的可靠性分析仿真功能和图视化前后处理界面；可以在虚拟样机和有限元模型等数字化环境中，协同三维建模、控制仿真、有限元分析和动力学分析等成熟的商业化CAD、CAE 工具实现复杂机械结构和机构的可靠性定量性设计、可靠性预计和设计方案仿真评价、优化设计。 该软件先进性体现在：先进的可靠性设计分析方法；先进的集成框架技术；良好的开放性和二次开发平台。 机械结构可靠性设计及分析软件包括可靠性定量分析、产品可靠性预计、设计方案可靠性定量仿真评价及机械结构可靠性设计。可满足航空、航天、兵器、船舶、核等军民品企业开展复杂机械结构和机构产品的可靠性、参数化定量设计和综合分析评价、优化等设计分析工作的需要。 该软件的功能模块图如图1所示，其中可靠性优化设计界面如图2所示。 图1 本平台功能模块图 图2 可靠性优化设计界面

机械结构可靠性设计及分析软件是一个模块化的机构\结构零部件和系统的可靠性设计及概率分析的软件系统，采用了最新的概率算法和通用数字分析方法以计算工程系统的概率响应和可靠性；提供了丰富的可靠性分析仿真功能和图视化前后处理界面；可以在虚拟样机和有限元模型等数字化环境中，协同三维建模、控制仿真、有限元分析和动力学分析等成熟的商业化CAD、CAE 工具实现复杂机械结构和机构的可靠性定量性设计、可靠性预计和设计方案仿真评价、优化设计。