本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

关键科学问题研究团队开发出一种与CMOS兼容的技术，可以动态且可逆地实现二氧化钛和黑色二氧化钛之间的转化，从而达到结构色的擦写和再现。通过构筑亚波长尺寸的微纳结构，可以把特定波长的光局域在近场，激发出低阶甚至高阶的电极子或磁极子，它们反过来又会与材料中的电子产生强烈的相互作用，从而激发出更多的高活性电子，使得材料本

本发明公开了一种集成悬浮导向牵引功能的磁浮机构，由安装在地面轨道梁上的长定子直线同步电机的定子与安装在磁浮车上用作悬浮电磁铁的电机的动子实现常导电磁吸力悬浮。所述长定子直线同步电机的定子的铁心与用作悬浮电磁铁的电机的动子的铁心上对称相向设置有多条等宽非铁磁纵向槽。本发明提供一种集成悬浮导向牵引功能为一体的常导磁悬浮机构，机构横向移动时，机构自动产生电磁复位力，迫使长定子同步电机的定子与动子的铁心中心线对齐，从而确保该机构处于正确的位置。可用于常导型高速与中低速磁浮列车上，具有磁浮车的结构大大简化，车辆重量减轻及系统效率高的优点。

郭光灿院士团队在基于人工合成维度的量子模拟方面取得重要实验进展。该团队李传锋、许金时、韩永建等人将携带不同轨道角动量的光子（又称为涡旋光子）束缚在简并光学谐振腔内，通过引入光子的自旋轨道耦合人工合成了一维的拓扑晶格，为拓扑量子模拟开创了一种新的方法。

本实用新型提供一种多波段小型化外辐射源雷达系统，其特征在于：包括依次连接的天线接收单元、 射频输入单元、通信单元和数据传输单元，所述射频输入单元包括射频单端转差分单元和射频信号处理 单元，射频单端转差分单元连接射频信号处理单元，所述射频信号处理单元包括依次连接的低噪声放大 器、零中频正交混频器、低通滤波器、ADC 和数字基带滤波器，所述通信单元包括基带数据缓冲模块， 射频单端转差分单元连接低噪声放大器，数字基带滤波器连接基带数据缓冲模块。本实用

本发明涉及一种激光雷达双通道共视场的调节方法，包括：沿光路前后移动长焦镜头，使相机对无 穷远处目标清晰成像；沿光路前后移动小孔光阑，使相机成像中的小孔边沿清晰；调节二维旋转台，使 相机成像中的暗黑圆斑与亮白圆环均处于暗黑背景的中心；沿光路前后移动结构件，使相机成像中的暗 黑圆斑与亮白圆环的边缘清晰；缩小小孔光阑，并平移调节二维旋转平移平台，使相机成像中的亮白圆 环的亮度保持不变；调节固定偏振分光棱镜的二维旋转台，使在透射通道、反射通道处相机成像中的暗 黑圆斑与亮白圆环均处于暗黑背景的中心。本发明引入相机进行可视化调节，以保证激光雷达系统的两 个接收通道共视场；具有调节精度高，操作直观、简单方便的优点。 

本发明公开了一种高频超视距雷达选站辅助系统与方法，辅助系统包括天线、收发开关、发射模块、 接收模块、信号处理及传输模块、显控模块，本方法利用所述的高频超视距雷达选站辅助系统模拟雷达 的工作方式，来全面的测试雷达站选址的环境状况，通过检测回波来分析环境因素对雷达工作的影响， 最终根据该测量结果选择合适的站址位置;本发明提供了一种轻巧、便携、低功耗的高频雷达选站辅助 系统，通过模拟实际的雷达工作方式并结合现场电磁环境来进行评估，使选站选址更加科学有效，提高 选站的成功率。

Pandar128 图像级超高分辨率高性能激光雷达

成果介绍基片集成类导波结构是近十几年发展起来的一类新型平面集成高性能导波结构，2011年被国际微波杂志列为“改变未来无源与控制器件的十大非凡发明”之首（Microwave Journal, Nov. 2011）。本项目组是国际上这一领域的主要贡献者之一，在国家自然科学基金委创新群体基金和国家973项目等的资助下，对基片集成类导波结构的传输特性、谐振特性、损耗机理、模式转换机理、极化转换机理等科学问题及其在多个分支的创新应用开展了系统深入的研究，建立了精确有效的设计方法，构建了基础设计公式，提出并命名了半模基片集成波导等新型导波结构，提出了一系列基片集成类无源元件新结构等。技术创新点及参数1、在国际上最早提出并发展了适合于周期性基片集成类导波结构的频域有限差分和直线法全波分析模型，揭示了其传输机理，并在此基础上构建了一组闭式设计公式。这组公式已被广泛用于基片集成类导波结构元器件的设计。相关代表作单篇正面他引均超过150次。2、提出并命名了半模基片集成波导、折叠半模基片集成波导等新型导波结构，系统研究了其导波特性、损耗机理和模式转换机理等，构建了设计公式，并在此基础上发展了一系列新型微波毫米波高性能元器件，其中代表作单篇正面他引均超过100次。3、提出了多种基片集成波导无源新结构，深入研究了其谐振特性、耦合特性和损耗机理，并在此基础上发展了一系列高性能新型元器件及单基片集成系统。相关代表作合计正面他引350余次。4、在基片集成波导天线辐射机理研究的基础上，突破了经典Elliott设计公式的局限性，建立了相应的分析模型和设计方法，发展了一系列新颖的高性能基片集成类天线及阵列，相关代表作由于其基础性和创新性被合计正面他引300余次。市场前景项目研究成果已获54项授权国家发明专利，其中部分专利已进行技术转让并应用于企业产品中。