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一种 MEMS 陀螺仪芯片双面阳极键合工艺
本发明提出这样一种阳极键合工艺方法:将 MEMS 陀螺仪器件层沉积到临时高分子衬底上,完成金属电极沉积和 MEMS 结构刻蚀之后,将临时高分子衬底用化学机械抛光的方法去除。去除之后,将玻璃基体和玻璃盖帽分别紧贴 MEMS 结构的两侧,加电加热后一次完成双面阳极键合。这种工艺方法与传统的两次阳极键合分两步进行相比,更加节省成本,而且避免了第二次阳极键合对第一次阳极键合强度削弱这个固有缺点,使得产品可靠性提高。
华中科技大学 2021-04-14
一种倒装 LED 芯片在线检测收光测试方法
本发明公开了一种倒装 LED 芯片在线检测的收光方法,该收光 测试方法包括如下步骤:待测试芯片被移动至积分球收光口的上方; 设置于积分球下方的积分球升降装置向上运动,使所积分球的收光口 对准所述待测试的倒装 LED 芯片的发光侧,并且使设置于积分球收光 口处的板片贴紧装载待测试倒装 LED 芯片的盘片。按照本发明设计的 收光测试组件,能够成功地解决倒装 LED 芯片电机和发光面不同侧的 问题,具有高的收光精度,尤其与倒装
华中科技大学 2021-04-14
一种液晶基多眼套叠仿生成像探测芯片
本发明公开了一种液晶基多眼套叠仿生成像探测芯片,包括多眼套叠成像探测架构,其包括同轴顺序设置的驱控与图像预处理模块、面阵可见光探测器以及面阵电控液晶聚光微透镜,面阵电控液晶聚光微透镜包括 m×m 个单元微透镜,其中 m 均为正整数,面阵可见光探测器被划分为 m×m 个子面阵可见光探测器,每个子面阵可见光探测器包括 m×m 个光敏元,面阵电控液晶聚光微透镜用于接收目标光波,并将该目标光波离散分割到面阵可见光探测器中不同
华中科技大学 2021-04-14
一种用于高密度芯片的倒装键合平台
本发明公开了一种用于高密度芯片的倒装键合平台,包括基座、芯片剥离和翻转单元、XY 向运动单元、多自由度键合头和贴装台单元,其中芯片剥离和翻转单元用于将晶圆盘上的芯片分别执行剥离和翻转,并将其送至待拾取位置;多自由度键合头以悬臂形式安装在 XY 向运动单元的支撑导轨上,并具有主动调平和对准功能;贴装台单元用于吸附基板并与键合头相配合,由此实现芯片与基板之间的相互定位。此外,为了保证各单元高精度的运动或配合,该倒装键合平台中还配置有多套视觉定位系统。通过本发明,能够达到微米级的对准精度,平行调整精度优于
华中科技大学 2021-04-14
一种可寻址层析视场的液晶基成像探测芯片
本发明公开了一种可寻址层析视场的液晶基成像探测芯片。包括面阵电控液晶成像微透镜和面阵光敏探测器,其中,单元电控液晶成像微透镜用于对目标通过物镜形成的压缩光场执行进一步的汇聚式压缩,通过调变加载在所述面阵电控液晶成像微透镜上的信号电压的均方幅值,调变所述单元电控液晶成像微透镜的光汇聚能力,进而调变由物镜和所述单元电控液晶成像微透镜共同确定的目标对焦平面,从而在深度方向上改变能清晰成像的目标图层,执行成像视场在深度
华中科技大学 2021-04-14
一种倒装 LED 芯片在线检测收光测试方法
本发明公开了一种倒装 LED 芯片在线检测的收光方法,该收光 测试方法包括如下步骤:待测试芯片被移动至积分球收光口的上方; 设置于积分球下方的积分球升降装置向上运动,使所积分球的收光口 对准所述待测试的倒装 LED 芯片的发光侧,并且使设置于积分球收光 口处的板片贴紧装载待测试倒装 LED 芯片的盘片。按照本发明设计的 收光测试组件,能够成功地解决倒装 LED 芯片电机和发光面不同侧的 问题,具有高的收光精度,尤其与倒装 LED 芯片在线检测装置配合使 用,能够显著提高性能,实现倒装 LED 芯片的
华中科技大学 2021-04-14
多相位时钟产生器、异构集成芯片及高速接口电路
本发明提供了一种多相位时钟产生器,该多相位时钟产生器通过对输入时钟信号进行处理,输出与N个对应于不同相位的注入电流信号,N为4的整数倍,并在交叉耦合环形振荡器中设置交叉耦合环路,该环路基于相位顺序分别与N/4个二级环形振荡器中各输出节点相耦接,二级环形振荡器通过交叉耦合机制,实现了高工作频率、高稳定性的振荡频率输出和低误差的相位对齐,使得其能够输出N个等间隔相位的振荡时钟信号,由于二级环形振荡器中的各输出节点还基于相位顺序被输入注入电流信号,对二级环形振荡器完成了频率和相位的锁定,该频率与输入时钟信号的频率相同,且相位噪声非常低,从而,本发明可以生成低相位噪声、高相位精度的高速多相位时钟信号。
复旦大学 2021-01-12
电子班牌工控一体机嵌入式10/12/17/19寸全铝触控电容平板电脑触摸屏
电子班牌工控一体机嵌入式10/12/17/19寸全铝触控电容平板电脑触摸屏
广州奕触科技有限公司 2025-08-12
分布式电驱动线控底盘控制系统
成果介绍针对新能源汽车双驱/四驱特征,提出了分布式电驱动底盘智能控制架构,建立智能化、模块化、网络化的底盘标准体系。技术创新点及参数发明了轮边驱动转向与前桥转向机构,后轮主动转向结构(发明专利)。四轮独立驱动电动汽车节能转矩优化分配控制策略,过驱动电驱动系统容错控制策略市场前景1、与整车厂、行业头部供应商联合开发。2、为整车厂、供应商厂家做技术服务。实施条件该团队的控制系统目前是独立的VCU与整车CAN通讯,后续合作可以接入成熟的ESP/VCU/BCM集成ECU内部,也可以和整车厂研发部门合作开发整车控制器。
东南大学 2021-04-11
无人机的飞控系统及无人机
成果描述:本实用新型公开一种无人机的飞控系统,包括主控单元,还包括:分别与所述主控单元电气连接的遥控接收单元、IMU单元、卫星定位单元、OSD单元、数传单元、ESC单元、ADC单元、存储单元及人机交互单元;其中,所述ADC单元与24GHz#Radar传感器、空速传感器、电流传感器电气连接,该电流传感器还与所述ESC单元电气连接。该无人机的飞控系统负责飞控系统物理层数据收发及其管理。本实用新型还公开一种无人机,包括上述结构的无人机的飞控系统。市场前景分析:本实用新型还公开一种无人机,包括上述结构的无人机的飞控系统。与同类成果相比的优势分析:国内领先
成都大学 2021-04-10
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