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精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置及其温控方法
本发明公开了一种精确控制浸没式光刻机浸液温度的装置，包括增压泵；初级热交换器，其浸液入口与增压泵出口连通，浸液在其中进行热交换，实现浸液温度的初级调控；次级热交换器，其浸液入口与初级热交换器浸液出口连通，浸液在其中进行再次热交换，实现浸液温度的次级调控；流量伺服阀，其入口与初级热交换器浸液出口连通，与次级热交换器形成并联，用于调节进入次级热交换器的浸液流量。通过协调控制进入初级热交换器和次级热交换器的冷媒流量，并结合流量伺服阀对进入次级热交换器的浸液流量的调节，可实现对浸液温度的两级调控，从而获得温
华中科技大学
2021-04-14
一种具有弧形导风板的轴向分段式电机转子
本发明公开了一种具有导风板的轴向分段式电机转子，该转子 沿径向由内到外包括转轴、转鼓、转子铁心机构，其中转子铁心机构 套设于转鼓上，且转子铁心机构包括转子铁心与磁钢，转鼓套设于转 轴上，转鼓上开有若干沿轴向方向的开口，转子铁心机构沿轴向方向 分若干段组成，分段之间设置有导风板，所述导风板上设置有沿径向 的弧形通风道，形成负压。按照本发明实现的电机转子，能充分利用 转子高速旋转时形成的负压使空气在转子轴向与径向风道流通，对流换热能力加强。另外，采用此结构很大程度上减小转子风阻，提高了 电机整机的效率。
华中科技大学
2021-04-14
一种适于在用工业管道的管外漏磁检测装置
本发明公开了一种适于在用工业管道的管外漏磁检测装置，包括爬行单元、漏磁检测单元、远端信号处理与控制单元以及本地控制单元，其中爬行单元包括主动模块和从动模块，主动和从动模块通过磁化模块相连且通过链传动实现动力传动；漏磁检测单元通过调节板与爬行单元连接；远端信号处理与控制单元包括信号预处理模块、第一无线模块和第二无线模块，并通过把手与爬行模块连接在一起；本地控制单元包括无线路由器模块和遥控模块，并与远端信号处理与控制单元构成双路控制。通过本发明，能够很好地适应工业现场情况，同时具备无需搭架、便于操控、检
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2021-04-14
一种利用储能装置补偿风电场虚拟惯量的方法
本发明公开了一种利用储能装置补偿风电场虚拟惯量的方法； 该方法采用大约 5％风电场额定装机容量的储能装置可以使得风电场 产生与等容量同步发电机差不多的虚拟惯量效果。本发明通过测量风 电场出口母线处的频率偏差、频率变化率，经过模糊逻辑处理后产生 储能装置需要输出的有功指令。储能装置按照该指令输出功率补偿风 电场的虚拟惯量。本发明有效评估了储能装置容量需求，可以用于指 导风电场的储能容量配置；而且其控制器结构简单可靠、易于实现， 为“友好型”风电场开发提供了基础，利于电网对大规模风电的消纳， 提高风电并
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2021-04-14
一种集成有接地电极的气流辅助电喷印喷头
本发明属于电流体喷印喷头相关技术领域，其公开了一种集成 有接地电极的气流辅助电喷印喷头。所述气流辅助电喷印喷头包括进 液筒、气罩、金属针头、导电线、电极罩及环形电极。所述进液筒连 接于所述气罩且部分收容于所述气罩内。所述气罩的两端分别连接所 述进液筒及所述电极罩;所述金属针头一端与所述进液筒形成螺纹连 接，另一端穿过所述气罩伸入所述电极罩内;所述导电线的一端连接 于高压电源，另一端穿过所述进液筒连接于所述金属针头;所述环形 电极嵌设在所述电极罩内，且其通过接地来将接地电极集成在所述气 流辅助电喷印喷
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2021-04-14
一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法
本发明公开了一种在 SOI 硅片上制备微机械悬空结构的方法。对悬空结构及其固定结构采用不同的槽宽设计，其中，固定结构的槽宽明显大于悬空结构，宽槽底部经刻蚀首先到达或更加接近 SiO2 层，再通过各向同性干法刻蚀使窄槽底部相互连通并与窄槽下方的 Si 层分离，将窄槽间的梁释放，形成具有平整底面的悬空结构，同时去除固定结构与悬空结构连接区底部的 Si 以及固定结构与其它结构之间的区域底部的 Si，使得固定结构与窄槽下方的 Si 层及其它结构隔离，从而使不同的固定结构间相互绝缘。本发明的方法简单有效，能广
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2021-04-14
一种采用海水压力能驱动的静力触探器
本发明属于触探器相关技术领域，其公开了采用海水压力能驱动的静力触探器，所述静力触探器包括变量马达、耐压腔体、主动轮、从动轮及触探杆，所述变量马达与所述耐压腔体通过管道相连通；所述主动轮连接于所述变量马达的输出轴，所述从动轮与所述主动轮相对设置，其中心轴与所述主动轮的中心轴相互平行；所述触探杆的一端位于所述主动轮及所述从动轮之间，其与所述主动轮及所述从动轮均相抵持；所述管道内流动的海水带动所述变量马达转动，所述变量马达带动所述主动轮转动，由此所述主动轮与所述从动轮相配合来带动所述触探杆上下移动。上述静
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2021-04-14
一种补偿粒子速度影像仪球面像差的方法及装置
本发明公开一种补偿粒子速度影像仪球面像差的方法，所述方法为：在粒子速度影像仪提取极电极板添加跳变电压，以在聚焦电场的基础上添加发散电场，从而补偿原有静电聚焦透镜球面像差。本发明还提供一种补偿粒子速度影像仪球面像差的装置，所述装置包括与粒子速度影像仪提取极电极板连接的跳变电压控制单元，用于在提取极电极板上产生跳变电压。本发明可补偿粒子速度影像仪补偿原有静电聚焦透镜球面像差，实施本发明无需改变原有装置结构，实施简便、成本低、成像分辨率高。
华中科技大学
2021-04-14
一种交流电相位频率幅值跟踪重构的方法
本发明公开了一种交流电相位频率幅值跟踪重构方法，按照该 重构方法，对采集的交流电实际值分析出交流电的频率、相位、相序关系，其后利用二阶广义积分器、频率和相位信息得到各相实时的估 计幅值，再次估计幅值代入提出的算法，减小估计的频率和相位误差。 按照本发明实现的交流电相位频率幅值跟踪重构的方法，无需提供前 馈参考较频率，能够有效分析任何位置角频率的交流电相位、频率和 幅值，并且对于单相或三相电压、电流信号均可实现分析，而且能够 实现有效、快速的实时重构。
华中科技大学
2021-04-14
一种适用于空调外机的螺帽装卸装置
本发明属于智能装卸领域，其公开了一种适用于空调外机的螺 帽装卸装置，其包括支撑组件、设置在所述支撑组件上的水平移动调 节组件、可移动的连接于所述水平移动调节组件上的螺帽装卸组件及 固定连接于所述螺帽装卸组件上的视觉识别组件。当所述螺帽装卸组 件到达螺帽安装位置附近，所述视觉识别组件对螺帽安装位置区域拍 摄图像，根据所述图像获得螺帽相对于所述螺帽安装位置的偏移量或 者螺帽的位置信息；所述螺帽装卸组件根据所述偏移量或者位置信息 进行相应移动以调整自身的位置及姿态，进而安装或者拆卸螺帽。本 发明提供的螺帽
华中科技大学
2021-04-14