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半导体设备超洁净流控系统及其受制约流控零部件
浙江大学聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术
一、项目分类
关键核心技术突破
二、技术分析
如何通过超洁净流控技术降低流控污染，减少曝光缺陷，提升曝光良率，是国产高端半导体制造装备研制面临的重大挑战，直接关乎整机产品的产线应用性能与市场竞争力。此外，作为各类半导体制造装备的共性核心零部件，超洁净流控部件市场被美国、日本等国垄断，使我国半导体制造装备产业面临核心零部件“卡脖子”风险。浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室启尔团队所承担的高端半导体制造装备核心分系统之一的超洁净流控系统，自2004年以来在国家863计划和国家02专项支持，聚焦超洁净流控系统基础研究、技术攻关和产品研发，攻克了影响光刻分辨率、良品率与产率的1mk级温度测控、5ppt级金属离子测控、20μm级气泡测控、50nm级残留液膜测控等关键核心技术，完成了超洁净流控系统九大组件的研制和集成测试，为半导体制造设备扫描速度与产能的提高提供基础理论与方法依据，同时自主研发的半导体机台核心超洁净流控零部件实现了产品化，突破了国外技术的封锁，为我国半导体制造的发展与自主创新提供了基础支撑。
浙江大学
2022-07-22
科技部办公厅关于印发《“创新积分制”工作指引（全国试行版）》的通知
适用范围从国家高新区进一步扩展到全国试行，以更好地服务各地方“创新积分制”的实践应用。
科技部
2024-08-13
中国高等教育学会关于召开首届西南地区高等教育对外开放发展大会的通知
为贯彻落实《关于新时代振兴中西部高等教育的意见》要求，以重庆、成都为战略支点，发挥高校集群的集聚溢出效应，打造西南地区高等教育对外开放的桥头堡，分享西南地区高等教育对外开放发展的有益经验，经研究，中国高等教育学会决定举办首届西南地区高等教育对外开放发展大会。
中国高等教育学会
2023-03-09
【新质生产力与职业教育发展】新质生产力与职业教育高质量发展论坛
第62届中国高等教育博览会——新质生产力与职业教育高质量发展论坛
中国高等教育博览会
2024-11-11
“高等教育这十年——新时代、新科技、新内涵”云端展览：守正创新·教育现代化成果展
守正创新·教育现代化成果展主要面向国际国内创新型企业。展区旨在交流展示国内外教育领域的新技术、新装备、新理念、新教育，加强企业与高校的交流合作，促进教育、科技与产业的融合。
中国高等教育学会
2022-08-12
中国高等教育学会关于召开第二届数字时代创新创业教育研讨会的通知
为探讨当前高校该如何抓住数字经济和新一轮产业革命的契机，将数字技术积极融入创新创业教育，激发创造，成就创新，赋能创业，持续深化创新创业教育改革，赋能高校专创融合、科创融合、人才培养、数字创业以及高质量双创实践教育体系，经研究，中国高等教育学会决定举办第二届数字时代创新创业教育研讨会。
中国高等教育学会
2023-03-30
中国高等教育学会关于召开第三届数字时代创新创业教育研讨会的通知
党的二十大擘画了中国式现代化的伟大蓝图，正式宣告我国已进入创新型国家的行列。作为中国式教育现代化的有机组成，创新创业教育现代化是联结“科技、教育和人才”的核心枢纽。加快实现创新创业教育现代化不仅是实现中国式教育现代化的自身之需，更是通往中国式现代化的必由之路。
中国高等教育学会
2023-09-22
省教育厅副厅长程爽莅临第61届全国高博会哈尔滨学院双创教育展区调研指导
4月15日上午，第61届中国高等教育博览会在福州海峡国际会展中心盛大启幕，中国高等教育学会领导出席开幕式并致辞。我校与哈尔滨工程大学、黑龙江大学代表黑龙江省高校参展。黑龙江省教育厅副厅长程爽、高等教育处处长孙世钧一行莅临我校展区进行调研指导并给予好评。
哈尔滨学院
2024-04-18
【吉林教育电视台】就业赋能东北振兴结硕果 校企融合释放人才强动能“千校万企供需对接会”暨东北地区2025届高校毕业生人才双选会圆满落幕
就业赋能东北振兴结硕果 校企融合释放人才强动能“千校万企供需对接会”暨东北地区2025届高校毕业生人才双选会圆满落幕
吉林教育电视台
2025-05-25
科技部关于公布2021年度国家级科技企业孵化器的通知
149家！2021年度国家级科技企业孵化器名单出炉
科技部
2022-05-25