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高稳定金属膜电阻器用磁控溅射中高阻靶材及制备技术
成果与项目的背景及主要用途: Cr-Si 中高阻膜电阻器具有精度高、噪声低、温度系数小、耐热性和稳定性好等优点,在精密电子设备和混合集成电路中大量采用。对于溅射制备电阻膜来说,靶材是至关重要的,它制约着金属膜电阻器的电阻率、精度、可靠性、电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance, TCR)等性能。电阻温度系数(TCR)是金属膜电阻器的一个重要性能技术指标之一,较大的 TCR 在温度变化时会造成电阻值漂移,从而影响电阻器的精度和稳定性。目前国内外生产的金属膜电阻器用高阻靶材,其性能不能满足低 TCR(≤25ppm/℃)要求。 技术原理与工艺流程简介: 靶材炼制工艺如下图所示所制备的靶材(382 mm ×128 mm ×14 mm)在溅射成电阻器薄膜后, 电阻温度系数小(≤25 ×10-6 / ℃), 电阻值高(要求不刻槽数量级为千欧, 刻槽后数量级为兆欧)且稳定(随时间变化小), 因此, 在本靶材研究中, 将选择 Cr 、Si 作为高阻靶材的主体材料。由于 C r 、Si 熔点高, 原子移动性低, 因此由其所组成的薄膜稳定性高。通过在金属 C r 中引入半导体材料 Si 来提高电阻器合金膜的阻值。C r 是很好的吸收气体的金属元素, 在电阻器薄膜溅射过程中, 可通过通入微量的氧来提高薄膜的电阻率, 同时调节电阻温度系数。技术指标如下:温度冲击实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 过载实验后 ΔR/R ≤±0 .5 %, 寿命实验后ΔR/R ≤±1 .0 %,电阻温度系数 TCR ≤±20 ×10-6 / ℃。 应用领域: 集成电路、电子元器件 合作方式及条件:具体面议
天津大学 2021-04-11
百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术研发及产业化
1、主要技术内容、获奖情况 通过本项目的实施,掌握了百万等级超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术、大型疏水槽空心叶片自动化焊接及变形控制技术、末级动叶片多阶静频测量及调频控制技术、末级动叶片进汽边防水蚀控制技术(硬化层深度可控的激光硬化技术和激光熔覆技术)、大型末级动叶精密机械加工控制技术、叶片产业化数字制造技术等关键技术,开发了满足重大工程需求的百万千瓦等级汽轮机系列长叶片,打破了国外大公司在该领域长期技术垄断,掌握了核心技术,提升高端长叶片品质,降低了百万等级机组制造成本,优化了产品工艺,加快实现百万千瓦等级机组的自主化和国际化进程,为推动我国电站装备制造行业及电力能源产业结构调整奠定了坚实的基础。 获奖情况:2015 年中国机械工业科技技术奖一等奖 2、成果的技术指标、创新性与先进性 (1)在国内采用超长叶片小余量数值模拟锻造及工艺优化技术,首次实现了世界最长的百万等级核电汽轮机 75 英寸(1905mm)叶片和百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片研制。 (2)在国内采用激光硬化和激光熔覆技术,分别首次实现了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)末级动叶片和百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片进汽边防水蚀处理。 (3)在国内采用多阶静频测量及调频控制技术,使静频一次合格率提高到了 90%,首次实现了百万千瓦超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)叶片 1~6 阶静频测量及调频(柔性自由叶片)。 (4)在国内首次对 1 米以上超大空心叶片采用自动化焊接技术,研制成功了国内最长的百万千瓦超超临界汽轮机 41 英寸(1050mm)末级空心静叶片和百万千瓦核电汽轮机 51 英寸(1292mm)末级空心静叶片。 (5)通过采用信息化与工艺技术的集成,加快了在产业化中产品开发效率和质量,首次实现了产品开发过程中的锻造工艺的自动化设计、叶片型面数据的自动化测量分析、产品质量数据的自动化收集与分析。 3、技术成熟度 百万千瓦等级汽轮机长叶片关键制造技术已成熟应用于百万等级核电汽轮机 57 英寸(1448mm)末级动叶片、CAP1000 核电汽轮机 67 英寸(1710mm)末级动叶片、CAP1400 核电 71(1800mm)、72(1828mm)、75(1905mm)英寸末级动叶片、百万超超临界汽轮机 60 英寸(1524mm)钛合金叶片、百万千瓦超超临界汽轮机 48 英寸(1220mm)末级动叶片、百万超超临界汽轮机 45 英寸(1146mm)柔性自由末级动叶片和 41 英寸(1050mm)末级空心静叶、CPR1000 核电汽轮机 51英寸(1292mm)空心静叶片等一系列具有国际先进水平的长叶片研制中,并实现了产业化。 4、应用情况 江南大学和无锡透平叶片有限公司联合研制生产的百万千瓦等级汽轮机长叶片已批量经交付给东方汽轮机厂、上海汽轮机厂、哈尔滨汽轮机厂、日本三菱日立、德国西门子等公司,百万等级核电叶片已通过用户和中广核的共同鉴定,无锡透平叶片有限公司因此列入中广核国内唯一的核电叶片供货商名单。目前产品已经分别成功运用在国内岭澳核电站二期、红沿河一期、北仓港电厂、华能玉环电厂等,经用户使用后反映良好。
江南大学 2021-04-13
关于组织申报2023年度山西省重点研发计划(能源与节能环保领域)项目的通知
为深入学习贯彻习近平新时代中国特色社会主义思想和党的二十大精神,全面贯彻落实习近平总书记关于科技创新的重要论述和视察山西重要讲话重要指示精神,深入贯彻落实省委、省政府决策部署,推进落实《山西省“十四五”新技术规划》,以碳达峰碳中和为牵引,深化能源革命综合改革试点以及黄河流域生态保护和高质量发展,瞄准攻关“卡脖子”关键、共性核心技术问题,根据《山西省科技计划项目管理办法》(晋政办发〔2021〕42号),现将凝练形成的2023年度山西省重点研发计划(能源与节能环保领域)支持方向予以发布,请根据要求组织项目申报工作。
山西省科技厅能源与节能环保科技处 2023-08-09
氧化铁石墨烯复合材料在电化学能源存储和转化领域的研究
氧化铁石墨烯复合材料目前涉及的电化学方面的应用包括锂离子电池、超级电容器和燃料电池。氧化铁(包括Fe3O4,α-Fe2O3和γ-Fe2O3)是制作电化学器件非常有前途的材料,不仅具有成本低、无毒性、化学稳定性好等优点,还具有较高的理论电容量。但在实际使用时又因为自身导电性的不足以及反应的循环稳定性差等问题受到了限制。石墨烯因其具有超高的比表面积,较高的导电性,优异的化学和热力学稳定性,以及独特的光、热、机械性能,成为了非常合适作为制作电化学能源存储和转化器件的材料。负载氧化铁在石墨烯上,不仅能够弥
天津大学 2021-04-14
科学技术普及法22年来首次修订!筑牢大国科普基石
11月4日,科学技术普及法修订草案首次提请全国人大常委会会议审议,这是科学技术普及法自2002年公布施行以来的首次修订。
新华社 2024-11-04
服务三农的安全可靠电子交易关键技术研究和应用
本成果针对我国农村幅员广大、信息基础设施建设薄弱、难以推广电子交易的现状,积极响应国家“三农”战略,研制适合农村应用环境的电子交易平台、交易终端和专用芯片,形成了服务三农的整套电子交易解决方案,为农村金融业务提供了创新电子交易产品,成为中国农业银行等金融机构服务“三农”的新型支付渠道。 成果基于多学科交叉和创新集成的技术路线,首创了基于瘦客户端型B-C/S架构的低成本、易维护金融交易平台和交易终端;通过专用芯片降低了终端成本,提高了终端可靠性。项目申请发明专利6项,已授权16项,其创新点解决了电子交易终端应用于我国农村复杂环境下的成本、维护、安全、可靠性等诸多关键技术问题,技术水平达到国际先进,国内领先。该成果荣获2011年江苏省科技进步一等奖。
东南大学 2025-02-06
嵌入式高精度万能材料试验机控制系统
国家工业化水平正在迅速提高,生产加工企业的数量迅速增加。但是在发展的同时要加大质量的监督,所以需要配套相关的检测试验设备。一方面用于国家监督体系的检测和检验,另一方面也可以给企业自检的试验设备。材料拉力试验机就是满足这一需求的检测设备之一。在材料试验机领域,基于PC机或工控机材料试验机测控系统目前大多采用基于PCI总线,ISA总线或者是RS-232串行总线作为数据采集的模式。但这些方式都存在着插拔麻烦,传输速度较慢,可扩展性差等问题。通用串行总线(Universal Serial Bus,简称USB)具有安装方便,高宽带,易扩展等优点,已逐渐成为现代数据传输的发展趋势。本系统充分利用USB的上述优点,有效地解决了传统数据采集系统额缺陷。同时嵌入式高精度万能材料试验机控制系统采用了多种实时操作系统(如μC/OS-II、uClinux、Linux、Wince等,可根据用户要求进行配置)。嵌入式实时操作系统是一种可移植的,可植入ROM的,可裁剪的,抢占式的,实时多任务操作系统内核。它被广泛应用于微处理器、微控制器和数字信号处理器。通过采用嵌入式实时操作系统,本系统实现了执行效率高、占用空间小、实时性能优良和可扩展性强等优点。本产品具有完全的自主知识产权,并已申请多项发明专利(公开号:101441154,101441152,101441153),相关成果获上海市科技进步二等奖?项。
华东理工大学 2021-04-11
有机相变蓄能复合材料及在建筑节能中的应用
有机相变蓄能复合材料是由有机相变材料(如石蜡)和高分子支撑和封装基体组成的复合材料,通过有机相变材料的固-液相变储存或释放热量。由于高分子材料的微封装和支撑作用,使得分散于其中的有机相变材料发生固液相变时仍能保持原有形状。该类材料有以下特点:  无需外部封装,可直接使用;  相变前后材料能保持其形状和强度;  材料的导热系数可在一定范围内调节,对外界温度变化响应及时;  材料具有良好的阻燃特性。  应用前景广阔,包括但不限于太阳能储存、建筑节能、冷热防护、电子元器件温度管理、低温储存、电力调峰、工业余热回收利用、智能服装等领域 本课题组还开发了有机相变蓄能复合材料的连续生产设备和生产工艺,已实现小批量连 续示范生产。 随着我国经济发展和人民生活水平的提高,我国建筑面积增长迅速,相应地,建筑能耗也大幅度增长,到 2020 年预计将占社会总能耗的 1/3。因此,在国务院发布的《能源发展战略行动计划(2014-2020 年)》中,节能的绿色建筑已被列为重点发展领域。本项目开发的有机相变蓄能复合材料可以充分利用太阳能和谷电等自然和低价能源,通过光热转换和电热转换来实现建筑采暖。太阳能具有不连续和不稳定的问题,存在供给和需求不匹配的矛盾。有机相变蓄能复合材料可以将太阳能蓄存起来,在需要时释放,从而解决这些问题。在采用分时电价的地区,还可以利用有机相变蓄能复合材料进行谷电蓄能采暖,平抑峰谷差。通过充分利用清洁的可再生能源,降低建筑运行能耗,节省运行开支,减少环境负担
清华大学 2021-04-11
一种能区分小麦初生根、次生根的分根套管装置
本实用新型涉及一种能区分小麦初生根、次生根的分根套管装置,包括内PVC管和外PVC管,内PVC管设置在外PVC管内部纵向中心线位置;内PVC管顶部设有分根锥形帽,分根锥形帽顶部中间位置设有填土注水孔,分根锥形帽上部锥形侧面上分布有多个种植孔;内PVC管管壁侧面分布有多个水分平衡孔。该实用新型的优势在于内管顶部锥形帽的设计,既可以实现更好的初生根、次生根分离,又可以填土,注水;内管壁有水分平衡孔,可以保证初生根、次生根的生长环境一致,具有分离彻底,操作方便,干扰少,苗存活率较高等优点。
青岛农业大学 2021-04-11
一种仿生微孔表面泡沫金属填充太阳能真空集热管
本发明公开了一种仿生微孔表面泡沫金属填充太阳能真空集热管,该真空集热管嵌套有玻璃外管(1)和仿生微孔表面金属内管(2),玻璃外管(1)上端开口,且对接有合金短管(6);仿生微孔表面金属内管(2)上端开口,且沿其开口端的外表面固定连接有金属环形盖(5),所述的金属环形盖(5)外延与合金短管(6)固定连接,在真空集热管嵌套有玻璃外管(1)与仿生微孔表面金属内管(2)之间形成真空;在仿生微孔表面金属内管(2)管壁的外侧涂覆选择性吸收涂层(3),在仿生微孔表面金属内管(2)内部插入泡沫金属填充体(4)。该真空集热管提高太阳能利用率、承压效果好,可增强内部换热降低热损失,有效提高太阳能热水器效率。
东南大学 2021-04-11
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