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248-nm光刻胶研发与产业化
目前半导体光刻加工用的深紫外光刻胶都采用化学增幅体系,这种体系主要由含酸敏基团的成膜材料和光产酸剂组成,这种体系最大的问题是光产酸在后烘阶段会发生酸迁移,导致光刻分辨率难以提高。能够有效改善酸迁移问题的一种方法是采用高分子光产酸剂,且其光产酸是高分子强酸。 课题组研制了一系列新颖的含多种鎓盐光产酸基团的苯乙烯衍生物及其与甲基丙烯酸酯的共聚物。它们在曝光过程中产生大分子的磺酸,因此可作为大分子光产酸剂与其它成膜材料一起组成化学增幅型光致抗蚀剂。 以之为产酸剂与其它部分保护的对羟基苯乙烯聚合物一起组成二组分的化学增幅型248-nm光刻胶, 制备了苯乙烯磺酸鎓盐和甲基丙烯酸酯、对羟基苯乙烯的三元共聚物,再用可酸分解的叔丁基碳酸酯保护部分酚羟基,由其组成了单组分的化学增幅型248-nm光刻胶,这些正型248-nm光刻胶获得了高感度(20-50mJ/cm2)、高分辨率(0.15-0.20微米)和留膜率(>99%)及图形线条平滑陡直等的出色表现。   利用高分子产酸剂透明性好的特点,还制备了厚膜248-nm光刻胶,可获得线宽0.34微米、高-宽比可达5:1的光刻图形:   在此基础上,还制备了负型248-nm光刻胶,这些光刻胶也都获得了很好的光刻成像性能表现。这些高分子光产酸剂也可用于制备新型的高性能193-nm光刻胶。 这些248-nm光刻胶的主要组分除了溶剂外都是自行制备,原料易得,反应条件温和可控,去金属杂质的方法也是简便易行,成本相对低廉,在经过多年的深入研究之后,完全具备了产业化的条件。 半导体加工的关键设备、材料主要掌握在美、日手中,对我国电子工业的平稳发展带来困难和潜在的巨大威胁。其中光刻胶作为芯片光刻加工的关键材料,日本公司的产品占据全球市场的70%以上,而我国在中高端产品上(248-nm光刻胶、193-nm光刻胶)完全依赖进口,即便是低端的i-线光刻胶国产化率也只有20%左右。因此,我们必须尽快扭转这种不利的局面,这需要科研工作者和产业界共同努力以及政府的大力支持。     近年来光刻胶引起了社会的广泛关注,已有多家企业开始投身于248-nm光刻胶与193-nm光刻胶的研发与产业化,但绝大部分仍处于研发阶段。我们研制的光刻胶具备了产业化的技术条件并具有与国外先进光刻胶产品竞争的产品性能。    半导体加工用光刻胶种类较多,本课题组从2002年参与国家十五“863”光刻胶重大专项开始,至今近二十年来聚焦于光刻胶研究,在i-线胶、248-nm光刻胶、聚酰亚胺光刻胶、厚膜光刻胶及抗反射涂层材料等方面都取得了很好的结果,也在致力于这些光刻胶产品的产业化。 相关项目、专利及文章: 1.国家重大科技专项(02专项)子课题,课题编号:2010ZX02303(深紫外光刻胶专用光致产酸剂及新型成膜树脂的扩试技术研究) 2.国家自然科学基金应急管理项目,51641301, 含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物及其组成的化学增幅光致抗蚀剂研究,2016/01-2016/12 3.One-component chemically amplified resist composed of polymeric sulfonium salt PAGs for high resolution patterning,European Polymer Journal,114(2019),11-18 4.A new type of sulfonium salt copolymers generating polymeric photoacid: Preparation, properties and application,Reactive and Functional Polymers,130(2018),118-125 5.含光产酸基团的苯乙烯衍生物-甲基丙烯酸酯共聚物、其制备及其应用,中国发明专利,专利号:9。
北京师范大学 2021-05-09
一种银基导电胶的制备方法
(专利号:ZL 201410111072.3) 简介:本发明公开了一种银基导电胶的制备方法,属于复合材料制备技术领域。该制备方法具体步骤是:将γ-环糊精、硝酸银、聚丙烯酸钠、浓硝酸、蒸馏水混合,搅拌加热至50~80℃,缓慢滴加抗坏血酸、3,4-乙烯二氧噻吩、吡咯赖氨酸、蒸馏水的混合溶液,反应1小时,过滤,经大量蒸馏水、乙醇洗涤,干燥后得到银含量为88~96%的银基复合导电粒子;将环氧树脂、固化剂以及银基复合导电粒子充分混合,100℃下固化
安徽工业大学 2021-01-12
电子束辐射处理技术改性车用胶条
已有样品/n以辐射加工技术为代表的非动力核技术应用对传统的加工方式产生了颠覆性创新,比如航天航空特种电线、污水处理、材料改性等,产生了很好的经济效益和社会效益。汽车雨刮胶条主要成分是天然橡胶或合成橡胶,实验研究表明电子束辐射能改变橡胶传统的硫化方式,有效提升交联度,通过辐射处理的胶条具有更好的耐候性、耐磨性、拔水性。比如,经过辐照处理后,胶条刮擦循环稳定性可达50 万次,抗拉强度(100%)从4.92MPa 增加到8
华中科技大学 2021-01-12
一种荧光粉胶的涂覆方法
本发明公开了一种荧光粉胶的涂覆方法,属于 LED 封装领域,其采用压印方式对 LED 芯片进行荧光粉胶涂覆,包括 S1 将 LED 芯片固定在封装基板上;S2 将荧光粉胶涂覆在所述 LED 芯片上或者所述压印块的端面上,将所述压印块与所述 LED 芯片通过压印方式贴合一起;S3 待荧光粉胶在所述压印块和所述 LED 芯片之间稳定成形后,对所述荧光粉胶进行固化处理获得荧光粉层,实现荧光粉胶的涂覆。本发明方法操作简单,成本低,可灵活控制荧光粉胶形貌,从而提升LED封装光色一致性,其封装成本低,可大规模应用在工业中进行LED封装。
华中科技大学 2021-04-13
特效抗静电剂
聚烯烃制品在生产和使用过程中极易因摩擦而产生静电,给生产和使用带来极大不 便.如一般塑料包装膜因为静电吸附而不易机械灌装. 特效抗静电剂是具有特殊结构的极性聚合物型高效抗静电剂,其极性基团的强离子 特性导致了表面膜结合湿气的高导电性。在低湿度环境下(湿度 30%)也有优良抗静电 效果。 由于特效抗静电剂绝佳抗静电效果,只需用在表层。加入量 1%左右可使塑料制品的 表面电阻降到 109Ω。在节约成本的同时也扩大了聚烯烃薄膜的应用范围。 不必加入产品芯层,然后等待迁移到表层,再形成极性导电层。从而缩短抗静电效果响 应时间。标准环境下(25℃,湿度 65%),一周内可达抗静电效果峰值。
同济大学 2021-04-11
固氮催化剂
元素是构成生物的最主要元素之一。尽管大气中氮气的含量高达78[%],但是氮气的活化十分困难。目前工业上广泛采用Haber�Bosch法将氮气还原成氨气,然而这一过程需要在高温高压下进行,因此能耗高。据统计,每年用于合成氨的能耗超过全球年能耗的1[%]。光/电催化固氮是合成氨的一种新途径,能够在常温常压下实现氮气的还原,因此引起了广泛关注。核心问题就是寻找和设计高效、稳定、低廉的催化剂。目前,高效的固氮催化剂主要是基于过渡金属(TM)化合物,而关于非金属催化剂的报道很少。这是由于过渡金属中空的d轨道和占据d电子的共存,既能够容纳氮气分子中N原子的孤电子对,又能够提供电子到氮气分子的反键轨道,从而活化N≡N三键、增强N‒TM键。通过分析硼原子的核外电子结构,王金兰教授团队发现sp3杂化的硼原子与过渡金属类似,也同时具有空轨道和占据轨道,因此有望用于氮气的活化与还原。通过结构、性能等多方面的分析,他们最终选择g-C3N4作为衬底来负载sp3­杂化的硼原子,设计了首个不含金属的单原子催化剂,B/g-C3N4。理论计算表明,B/g-C3N4可以在极低的起始电位(0.20 V)下,通过酶促机理有效地将氮气还原为氨气。此外,硼的修饰可以显著增强g-C3N4的可见光吸收,因此有望实现太阳能驱动的固氮反应。此外,该催化剂也具有很大的合成前景以及极高的稳定性。
东南大学 2021-04-11
水凝胶贴剂
水凝胶贴剂即现代巴布剂,是巴布剂中较为特殊的一类,属于经皮给药系统。水凝胶贴剂 作为一种外用贴剂,是将水溶性高分子材料以及治疗药物混合成为主要基质,涂布于无纺布上 后经过成型制成的。水溶性高分子材料由于其自身良好的生物相容性被用作凝胶骨架材料制备 左旋肉碱水凝胶贴剂。 左旋肉碱作为一种类氨基酸物质能够促使脂肪转化为能量。同时由于 其对人体无毒副作用,目前在治疗男性不育症等方面也越来越多地被使用。医学治疗中常用的 是左旋肉碱口服制剂,ATP针剂等。这些治疗方式存在药物在血液中的浓度不稳定、病变部位 药物浓度低、患者需长期的服用或者住院治疗等诸多缺点。与此同时,传统的治疗方式中药物 需要经过人体的消化系统,而左旋肉碱主要经肾平衡,长期使用可引起肾功能不全及其他安全 问题。为了解决这些问题,必须研究新的给药途径。透皮给药途径区别于传统的给药方式,恰 好能够提高药物在病变部位的有效浓度,同时还可以减少对人体的伤害。
华东理工大学 2021-04-11
蔬菜保脆剂
本发明涉及蔬菜,属于蔬菜加工处理技术领域的蔬菜保脆剂.其特点是:其组份的具体重量份数配比 为,Na2SO310~30,Na2CO310~30,海藻酸钠10~30,CaCl210~30,玉米淀粉10~50.本发明利用Na2SO3的氧化作 用在较低温度下(50℃以下)进行快速钝酶(2~10分钟),迅速破坏果胶分解酶以保证蔬菜中果胶数量不发生太大变化,从而达到保脆效果.同时 Na2SO3也可以使得引起蔬菜酶褐变的过氧化物酶迅速失活,从而达到阻止蔬菜产生不愉快的褐色的目的.海藻酸钠可以渗透到蔬菜组织间隙,与渗透进来的钙 离子形成不可逆凝胶体,进一步强化了组织的强度,使保脆效果更加明显.玉米淀粉的作用是:在蔬菜形成一层薄膜,既可以包裹少量的钙离子以延长保脆时间,又 可以使加工后的蔬菜表面发亮.
哈尔滨商业大学 2021-05-04
AD喷雾剂
【项目来源】自主研发项目。 【类    别】中药新药六(2)类。 【剂    型】喷雾剂。 【处方来源】南京中医药大学中医资深专家临床经验方。 【功能主治】清热解毒、化痰止咳、凉血止血。主治咽喉肿痛,肺热咳嗽,肺痈,目赤肿痛,痢疾,痈肿,疔疮,毒蛇咬伤,跌打损伤等。 【主要技术指标】利用现代科学技术,通过药效学研究,确定了原药材的有效成份,并根据制剂筛选的原则,筛选出AD喷雾剂为最佳剂型。 首次确定了AD喷雾剂原药材的抗炎活性成份是原植物的非开花期,即匍匐期; 首次揭示了AD喷雾剂原植物的生物学特性,其植物形态分为直立期和匍匐期; 首次建立AD喷雾剂原植物的指纹图谱; 首次制定了AD喷雾剂原植物的质量标准草案; 首次对原药材的有效部位进行成份分离,得两种晶体,经分析鉴定为化合物A和化合物B,并确定了B为抗炎有效成份; 首次对原药材进行了除杂工艺筛选,初步确定了最佳除杂工艺;对除杂工艺进一步进行研究,确定了实验室最佳制备条件; 初步确定了AD喷雾剂的质量标准草案。 【推广应用前景】咽炎,中医又名喉痹,是临床常见病、多发病。咽炎又分为急性咽炎和慢性咽炎。临床多采用抗生素类药物治疗,但效果不佳,且易反复发作。本品治疗咽炎来自民间验方,原植物资源极其丰富,分布于华东、中南及西南地区,主产于浙江、江苏、安徽等省区。本品应用安全,疗效确切,使用方便,适用于教师、主持人、演员等嗓子不适人群,具有较好的推广应用前景。 【进展情况】已完成临床前主要研究工作。
南京中医药大学 2021-04-13
贵金属清除剂
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