ZnGeP2晶体的腐蚀剂与腐蚀方法
一种ZnGeP2晶体的腐蚀剂,由冰醋酸、氢氟酸、硝酸、碘和纯净水配制而成,冰 醋酸、氢氟酸、硝酸、纯净水的体积比为:冰醋酸∶氢氟酸∶硝酸∶纯净水=1∶2∶2∶ 1,碘的质量∶冰醋酸体积=4∶1。一种ZnGeP2晶体的腐蚀方法,使用上述腐蚀剂,工 艺步骤依次为:(1)腐蚀,将ZnGeP2晶片浸入腐蚀剂中,在超声波振荡下于常压、室 温腐蚀4~16分钟取出;(2)清洗,将从腐蚀剂中取出的ZnGeP2晶片浸入反应终止液 中摆动清洗终止反应,再用纯净水清洗至中性,所述反应终止液由质量浓度5%的NaOH 和质量浓度为3%的Na2S2O3配制而成,NaOH与Na2S2O3的体积比=1∶1;(3)干燥。
四川大学
2021-04-11