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一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺
本发明公开了一种集成加热部件的微型气敏传感器的制作工艺，步骤为：①在基底上匀胶和光刻显影，形成叉指形状的光刻胶图形；②将基底在保护气氛下进行热解，形成玻碳叉指电极；③在玻碳叉指电极上匀胶并光刻显影；④再次热解，得到具有气体敏感材料和加热部件的叉指电极气敏传感器。本发明利用光刻和热解技术先制作完成加热部件和气敏部分，不需要另外加上检测电路，以及另外旋涂敏感材料。本工艺的特点是将气体敏感材料部分和加热器件集成为一体，而且制作的工艺就是常规的光刻、热解等工艺，相对于现有的气敏传感器的加热部件具有尺寸小，耗
华中科技大学
2021-04-14
一种基于纳米位移计量传感器的纳米微位移检测仪
本发明提出一种光学倍频的纳米位移计量传感器，包括激光器、偏振分光棱镜、1/4 玻片、角锥棱镜、平面反射镜、偏振片、光电探测 器和底座。本发明的传感器采用光学倍频技术，直接在光学结构上将 光程差进行 8 细分，同时采用偏振分光棱镜和 1/4 玻片组合减少了光 能损失，保证了干涉条纹的强度，具有结构简单，精度高，测量范围 大，抗干扰能力强等特点，并且相比于单路光束系统在某种程度上可 减小非直线运动所造成的误差。
华中科技大学
2021-04-14
一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法
本发明公开了一种基于回流焊的光纤光栅磁传感器的制备方法， 该方法包括以下步骤：1)选取长方体形状的硅片并进行超声清洗；2) 用磁控溅射的方法在硅片上溅射一层一定厚度的磁致伸缩薄膜；3)选 取可以在高温条件下使用的光纤光栅并进行超声清洗；4)用磁控溅射 的方法在光纤光栅上溅射一层一定厚度的金属薄膜；5)将镀了金属薄 膜的光纤光栅固定在磁致伸缩薄膜上；6)采用回流焊的方法，将镀了 金属薄膜的光纤光栅焊接在磁致伸缩薄膜上，
华中科技大学
2021-04-14
一种基于光纤萨格纳克干涉仪的声波传感测量装置
本发明公开了一种基于光纤萨格纳克干涉仪的声波传感测量装 置，包括单色光源、光纤耦合器、第一单模光纤、少模光纤、第二单 模光纤、长周期光纤光栅、第三单模光纤、光电探测器和示波器；在 光纤耦合器的第三端和第四端之间的第一单模光纤、少模光纤、第二 单模光纤、长周期光纤光栅、第三单模光纤依次连接构成了萨格纳克 闭环结构；长周期光纤光栅与少模光纤在萨格纳克闭环内实现了级联； 当外界声波作用于该装置的长周期光纤光栅时，其曲率受到
华中科技大学
2021-04-14
无位置传感器的无刷双馈发电机输出频率控制方法
本发明公开了一种无位置传感器的无刷双馈发电机输出频率控 制方法。该方法不依赖于位置传感器，也无需知道无刷双馈发电机的 各种参数，利用采集到的无刷双馈发电机的功率绕组的电压实现对转 速的辨识，避免了位置传感器带来的一系列问题，能对无刷双馈发电 机的输出频率进行有效控制；在需要无刷双馈发电机和外电网并网使 用时，也能在无位置传感器的情况下顺利完成并车过程；由于无刷双 馈发电系统本身就需要采集无刷双馈发电机的功率绕组的电压构成电 压闭环以实现对无刷双馈发电机输出电压幅值的有效控制，本发明不仅能有效削减位置
华中科技大学
2021-04-14
基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法
本发明公开了一种基于柔性铁电薄膜的流体驱动式压电传感器及其制备方法，包括玻璃基片和微流 控芯片基片；玻璃基片上集成有两相平行的 P(VDF-TrFE)电纺丝薄膜条；微流控芯片基片制作有微沟道 和分布于微沟道两侧的电极凹槽；微流控芯片基片还设有进样口、出样口和银浆注入口，进样口、出样 口与微沟道两端连通，银浆注入口与电极凹槽连通；玻璃基片和微流控芯片基片键合，?P(VDF-TrFE) 电纺丝薄膜条位于微沟道和电极凹槽底部。本发明制作简单，成本低廉
武汉大学
2021-04-14
一种基于改进和声搜索算法的无线传感器网络路由方法
本发明提出了一种基于改进和声搜索算法的无线传感器网络路由方法，包括以下步骤：Step1、初始化算法相关参数 HMS、HMCR、PAR 以及评价次数 eval_Nomax；Step2、利用轮盘赌初始化和声记忆库 HM；Step3、评价和声库中各和声路径的适应度；Step4、设置 eval_No＝0；Step5、设置 i＝0；Step6、产生候选和声；Step7、eval_No++，若 eval_No＜eval_Nomax，执行 Step8；否则执行 Step11；Step8、对和声库中的第 i 条和声 Xi＝{s,x2,…xj,…,d},进行邻域搜索；Step9、eval_No++，若 eval_No＜eval_Nomax，执行 Step10；否则执行 Step11；Step10、i++，若 i＜HMS，执行 Step6；否则执行 Step5；Step11、记录和声记忆库中的最优和声路径。本发明的路由方法具有较高的能效，并且能够有效地延长整个网络的生命周期。
华中科技大学
2021-04-11
一种双膜电容式压力传感器及制作方法
本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底中心位置上设有浅槽，浅槽中心位置设有浅槽通孔，浅槽通孔从浅槽底面延至玻璃衬底底面，浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2，可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜，可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板，浅槽通孔(71)与可测量低压差的电容C1对应设置，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了微压段和高压段的高精度测量，不仅提高了压力测量精度，也提升了传感器的测量范围。
东南大学
2021-04-11
低功耗型红外二氧化碳传感器COZIR- ambient
产品详细介绍 低功耗型红外二氧化碳传感器COZIR- ambient 功耗仅3.5mW，带温度补偿，湿度补偿，以及感知白天黑夜的环境状态。预热时间仅10S，内置PCB板的封装。有量程0-2000ppm, 0-5000ppm, 0-1%供选择。性能：1)功耗 3.5mW2)峰值电流 33mA3)平均电流小于1.1mA4)电源 3.3～5V5)T90 ＜3分钟6)标准型号温度范围 0°C to 50°C（可扩展-25°C to 55°C）7)湿度适用范围 0 to 95% RH8)存储温度-30°C to +70°C9)尺寸 43mm x 15mm可选项：温湿度传感器，以及其他数字输出
深圳市新世联科技有限公司
2021-08-23
可定制外型结构氧气传感器O2S-FR-T2-18X
产品详细介绍 可定制外形结构氧气传感器O2S-FR-T2-18X 一、产品简介： 氧气传感器采用两个氧化锆盘，在其中间是一个密封空间。其中一个盘起的功能是可逆氧气泵，依次充满样品气和抽空此小空间。另一个盘用于测量氧分压差比率，得到相对应的传感电压。氧化锆盘作为氧气泵运行时，需要的700 °C 的温度由加热元件产生。氧气泵使小空间范围内达到额定的最小和最大压力所花的时间和环境中氧分压值具有对应关系。 二、产品特性： 1) 非消耗性的氧化锆传感元件 2) 氧压范围 2 mbar...3 bar 3) 高稳定性和精度，可测量0…100% 氧 4) 对于其他气体无交叉干扰 5) 无需温度稳定 6) 内置加热元件 7) 加热器电压： 4.35 ±0.1 VDC (1.85 A) 8) 允许气体温度： -100...250 °C ； 9) 线性输出信号 三、产品参数
深圳市新世联科技有限公司
2021-08-23