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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
智能机器人与智能制造系统
依托学校与烟台拓伟智能科技股份有限公司联合北京理工大学、中国科学院电子所、北京京仪自动化研究总院共建的烟台智能技术应用联合创新研究院,开发了系列具有自主知识产权的智能机器人产品和智能制造系统,其中“4-6自由度关节型工业机器人”可负载7kg-200kg;自主视觉引导+二维码定位的AGV,两轮差动、麦克纳姆轮全向,可负载20kg-2000kg。利用自主研发的全向无轨堆垛机、AGV、工业机器人等,在自主研发MES、车管调度、WMS系统监控下完成一系列智能制造和组装,打造了“汽车制动油泵壳体智能制造系统”“智能精密铸造工厂”等一批系统集成示范项目。 为服务烟台苹果产业高质量发展,研究院制定了烟台红富士苹果等级分选省级标准,研发了无损伤智能分选与包装及冷风库智能监管系统、该系统包括智能信息采集与分级子系统、智能输送调度子系统、苹果排面子系统、机器人智能装箱子系统,整线状态监测与数据库子系统。该系统采用人工智能及深度学习技术,有效结合近红外光谱与计算机视觉技术,完成苹果糖度、色泽、果形、霉心病、果锈、重量等21项指标检测,根据检测结果和新的分级标准,对苹果重新进行分类分级,检测准确率达到95%以上,分选效率2个/秒,磕碰率控制在1%以下,装箱速度达到1个/秒。通过该系统,开展苹果大数据信息采集工作,建立种植-加工-储存-销售全链条标准化苹果大数据综合运营平台,现从苹果单一价值到资源价值的跨越,从而促进苹果产业转型升级,高质量发展。
鲁东大学 2021-05-11
温室环境智能控制与智能管理系统
本系统包括温室栽培优化模型动态仿真、专家系统集成与智能控制算法设计等三部分内容。系统采用了基于知识的智能解决方案,系统的三个部分紧紧围绕专家知识与智能,不仅构成统一的整体又能分别独立运行。系统以大量的实验数据和专家经验为基础,采用智能控制方法、智能推理方法和多媒体技术,能提供病虫害在线预报,为温室环境控制提供最佳环境条件,并能对温室环境和作物生长过程进行仿真和预测。
北京理工大学 2021-04-14
基于 P2P 网络的智能信息交互平台
项目研究内容: 该智能信息交互平台是在充分利用政府机关现有网络 设备和技术的基础上, 开发出来的一款充分为政府机关工作提供优质高效 的信息和技术服务,利用政府机关信息资源的系统软件。是应用范围内单 位、业务部门、个人所拥有的各种文档、资料在系统内部之间的传递与共 享,并提供对话、交谈、通知等功能,保障系统内人员之间 “即时 ”的协同 工作。 技 术原 理 及 特 点:采用 Dephi 语言
南昌大学 2021-04-14
卫*遥感信息一体化快速综合处理技术(技术)
北京理工大学 2021-04-14
污水处理过程的综合自动化及监控信息平台
该项目的关键技术已获批国家自然科学基金项目 2 项,江苏省科技厅社会发展项目 1 项。 1、项目简介 根据污水处理过程工艺特点、现场设备以及工厂环境,以 LabVIEW 和 PLC 相结合,通过 Profibus 总线、Internet 网络及 GSM 无线平台实现数据采集与共享的污水处理远程在线监控系统。并把 LabVIEW、Datasocket、GSM 无线通信和 WEB等技术应用到污水处理过程在线远程监控,实现了真正意义的监控管一体化,提升了水处理厂的自动化水平和故障实时处理能力。系统以西门子工控机作为上位机,PLC 系统采用西门子的 S7-300。基于LabVIEW 开发平台,通过西门子 SIMATIC.NET 建立了 OPC 服务器,使其可以连接下位机 PLC 实现实时通讯,并采用 SQL Server 作为后台数据库,实现数据采集、设备控制、实时曲线显示、历史记录、故障报警等基本监控功能,可以通过浏览器于异地实现远程实时监控。此外,系统通过全球移动通讯系统 GSM(global system of mobile communication),管理人员可在全球范围内用手机通过短信查询工业现场参数。 2、创新要点 实现污水处理过程的多总线分层递阶的分布式控制系统结构;将图像、动画和声音与 LabVIEW 软件结合,PLC 采集的设备实际运行信号转化为 3 维动画显示,实现多媒体控制的监控系统软件。把 LabVIEW、Datasocket、GSM 无线通信和 WEB 等技术应用到污水处理过程在线远程监控,实现了真正意义的监控管一体化。将先进控制技术与优化算法应用于 BOD 等参数的软测量及系统优化。 3、效益分析 该系统采用 LabVIEW 编程平台开发,完成了对水处理整个工艺流程的数据采集和设备控制任务。系统运行稳定可靠,人机交互界面友好美观,操作简便,利用 GSM 无线技术实现短信查询系统参数,通过短信和邮箱等多种手段实现故障报警,并利用互联网技术实现了随时随地的远程在线监控,实现了真正意义的监控管一体化,在推动污水处理过程自动化水平的同时,使整个污水厂人工投入减少了 2/3,提升了污水处理的效率,从而降低了单位体积污水的处理成本,给企业带来了一定的经济效益,相应的节省了生产成本的投入。项目资金需求总额约 100 万元。 4、推广情况 天津伊利乳业有限责任公司;宁夏伊利乳业有限责任公司(吴忠市);潍坊伊利乳业有限责任公司;张北伊利乳业有限责任公司;上海达能乳业股份有限公司(奉贤区);湖北劲牌有限公司(枫林酒厂)。 授权专利:污水处理远程在线监控系统 软著登字第 0342652 号 污水处理过程的触摸实时监控系统 软著登字第 0346531 号
江南大学 2021-04-13
智能表记识别系统
项目简介: 本项目针对复杂的实际工业环境,基于机器学习最新理论成果和机器视觉基本原理,研究并实现了具有较强鲁棒性的变电站传统机械式电表远程智能读数系统。首先通过图像的预处理对电表区域进行初步定位,然后在此有效范围中利用电表指针的几何形状特点对其进行精准定位,最后通过指针与表盘刻度的相对位置计算电表读数,最终实现了在复杂环境下对电表快速、可靠、精确地远程智能读数,代替了低效的传统人工抄表和数据录入,具有可推广应用的工业价值。 运用机器学习和计算机视觉技术,首先获取指针式仪表表盘图像,然后采用数字图像处理技术提取和识别目标,最后实现指针式仪表示值的自动判读,从而避免人工判读示值工作量大、容易出错等问题。本项目的主要工作内容有:电表特征配置、指针类表计读数判别、建立前馈式神经网络模型、图像智能化判断。 由于工业环境复杂多变,在数据采集过程中不定期地会出现各种故障和干扰。这些极端情况下所采集到的图片若进入系统进行智能读数分析,所得到的分析结果往往是不可信或者无意义的。所以,根据图像的像素分布特点进行分析,系统将自动拒绝对质量过差的问题图像进行分析判断,并向变电站工作人员发送相关警告提示。在提高系统读数结果可靠性的同时,及时发现设备问题并通知工作人员,有利于尽早排除故障、防患于未然。主要技术指标:识别正确率:92.5%;识别速度<3s。 应用范围:项目目前已进入产业化阶段,成果权属为我校独自拥有。
四川大学 2021-04-11
海洋牧场智能监测系统
针对远离陆地、供电通信困难的海洋牧场监测需求,设计开发了一套基于海洋浮台的海洋牧场智能监测网系统,也可扩展应用于海洋平台、养殖工船等载体。整个系统由水下自动观测子系统、海气界面观测子系统、能源供应系统、无线通信系统、大数据智能处理系统组成。在监测海域布放的1个海上监测浮台基础上,将能源供应子系统(最大功率600W)和无线通信子系统(最大带宽50M)布放于浮台上,实现观测网设备的供电和双向通信。设备布放于浮台下的海底,可通过数据采集器实现水下自由组网观测,观测距离从几十到上千米。浮台上通过增加无线通信设备与海上作业平台连接,实现数据实时回传至岸基基站。
山东科技大学 2021-04-22
网络教育智能答疑系统
本项目提出并解决了智能答疑系统中的一些关键技术,自主研制并实现了基于web的智能答疑系统。该系统可用于以下应用:/line(1)大、中、小学生课程的自动答疑/line(2)培训系统的自动答疑/line(3)其他应用领域的咨询解惑/line系统除了提供根据关键字进行查找答案的功能以外,还提供根据知识点进行答疑以及根据自然语言提问方式进行答疑。因此,这种多元化的提问形式,使学生感觉非常方便。
东南大学 2021-04-10
客车电源智能管理系统
在公共交通领域大力推广使用混合动力及纯电动客车等新能源客车是实现国家节能减排战略的重要举措。而客车电源系统的智能化管理是保证课程安全运行的必要手段。 本项目旨在为客车开发一套智能化电源管理系统。该系统可以实现:检测蓄电池充放电电流和发电机发电电流;监测起动电流以保证安全起动;基于蓄电池SOC的智能充放电控制,保证整车用电平衡以延长蓄电池使用寿命; 利用 CAN 总线技术实现电源状态的实时监测和故障预测,指导用户的维护与保养,并对蓄电池、发电机、起动机进行有效的控制,提高整车电气系统安全。 
厦门大学 2021-04-11
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