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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
高性能系列铌酸锂、钽酸锂晶体和光电器件
光电晶体及其器件作为激光技术的关键材料和器件,被诸多国家列为优先发展的技术领域。本项目在国家 863 计划、天津市重大科技攻关、国防科工局民口配套等项目支持下,瞄准国家需求,围绕产品化关键技术攻关,取得了以下主要科技创新: (1)自主设计基于经验数据库的智能计算机晶体生长自动控制系统,并开发了晶体生长成套装备,应用于多种晶体生长,得到批量推广应用。 (2)发展了两种非固液同成分共熔配比晶体的制备方法,实现了 SLN 晶体和 SLT 晶体的批量、廉价制备。 (3)开发了宽温度范围工作铌酸锂电光调 Q 晶体及电光调 Q 开关,在-55℃~70℃温度区间稳定工作,大幅提高了军用激光系统的温度稳定性。(4)以高温度稳定性电光调 Q 开关为核心技术自主研发的系列高温度稳定性铌酸锂电光调 Q 激光系统,实现了批量生产和应用。 (5)开发了满足激光雷达等长期在线工作的低内电场铌酸锂电光调 Q 晶体和电光调 Q 开关。 (6)开发了高抗光损伤阈值的钽酸锂电光调 Q 晶体和电光调 Q开关,典型 1064nm 波段的激光损伤阈值比铌酸锂晶体提高两个数量级以上,且能够满足军工宽温度范围要求。
南开大学 2021-04-13
智能机器人与智能制造系统
依托学校与烟台拓伟智能科技股份有限公司联合北京理工大学、中国科学院电子所、北京京仪自动化研究总院共建的烟台智能技术应用联合创新研究院,开发了系列具有自主知识产权的智能机器人产品和智能制造系统,其中“4-6自由度关节型工业机器人”可负载7kg-200kg;自主视觉引导+二维码定位的AGV,两轮差动、麦克纳姆轮全向,可负载20kg-2000kg。利用自主研发的全向无轨堆垛机、AGV、工业机器人等,在自主研发MES、车管调度、WMS系统监控下完成一系列智能制造和组装,打造了“汽车制动油泵壳体智能制造系统”“智能精密铸造工厂”等一批系统集成示范项目。 为服务烟台苹果产业高质量发展,研究院制定了烟台红富士苹果等级分选省级标准,研发了无损伤智能分选与包装及冷风库智能监管系统、该系统包括智能信息采集与分级子系统、智能输送调度子系统、苹果排面子系统、机器人智能装箱子系统,整线状态监测与数据库子系统。该系统采用人工智能及深度学习技术,有效结合近红外光谱与计算机视觉技术,完成苹果糖度、色泽、果形、霉心病、果锈、重量等21项指标检测,根据检测结果和新的分级标准,对苹果重新进行分类分级,检测准确率达到95%以上,分选效率2个/秒,磕碰率控制在1%以下,装箱速度达到1个/秒。通过该系统,开展苹果大数据信息采集工作,建立种植-加工-储存-销售全链条标准化苹果大数据综合运营平台,现从苹果单一价值到资源价值的跨越,从而促进苹果产业转型升级,高质量发展。
鲁东大学 2021-05-11
温室环境智能控制与智能管理系统
本系统包括温室栽培优化模型动态仿真、专家系统集成与智能控制算法设计等三部分内容。系统采用了基于知识的智能解决方案,系统的三个部分紧紧围绕专家知识与智能,不仅构成统一的整体又能分别独立运行。系统以大量的实验数据和专家经验为基础,采用智能控制方法、智能推理方法和多媒体技术,能提供病虫害在线预报,为温室环境控制提供最佳环境条件,并能对温室环境和作物生长过程进行仿真和预测。
北京理工大学 2021-04-14
LED智能护眼教室灯、智能教室灯
深圳创硕光业科技有限公司 2021-08-23
面向大型燃煤机组全工况灵活智能运行的协调控制策略
高效利用大型燃煤火电机组的灵活深度调峰优越性促进更大规模可再生能源电力消纳对构建我国新型电力系统具有重要积极影响。准确掌握燃煤机组频繁变化的调峰过程动态特性是设计高性能协调控制方案的前提条件。因此,本成果推出面向燃煤机组实际发电过程的智能抗扰控制关键技术及其控制器参数在线优化机制。 创新点 随着频繁大范围调峰已成为大型火电机组的常态化运行趋势,本成果设计了一种兼顾机组发电成本及碳排放量的全工况智能抗扰控制策略。通过有机融合误差自抗扰控制器与快速鸽群优化器,机组实现了对电网负荷指令的迅速响应。
华北电力大学 2025-03-26
温室环境智能控制与智能管理系统(产品)
成果简介:本系统包括温室栽培优化模型动态仿真、专家系统集成与智能控 制算法设计等三部分内容。系统采用了基于知识的智能解决方案,系统的三 个部分紧紧围绕专家知识与智能,不仅构成统一的整体又能分别独立运行。 系统以大量的实验数据和专家经验为基础,采用智能控制方法、智能推理方 法和多媒体技术,能提供病虫害在线预报,为温室环境控制提供最佳环境条件,并能对温室环境和作物生长过程进行仿真和预测。 项目来源:科技部“十五”重点攻关项目“温室环境智能控制关键技
北京理工大学 2021-04-14
高级智能婴儿模型、高智能婴儿模拟人
XM-YE8新生儿黄疸模拟人(婴儿黄疸护理模型)   功能特点: ■ XM-YE8新生儿黄疸模拟人(婴儿黄疸护理模型)采用高分子材料制成,质感逼真。 ■ 模型具有皮肤和巩膜黄染等特征,可辨别轻重黄疸程度。 ■ 可进行婴儿基础护理操作训练: · 练习婴儿常规体格检查法,可测量体重、胸围、腹围、头围。 · 婴儿抱持、包裹、换尿布。 · 擦浴、清洁五官、皮肤护理等。 ■ 可反复进行练习。
上海欣曼科教设备有限公司 2021-08-23
一种基于有源和无源器件的小型力触觉再现方法
本发明公开了一种基于有源和无源器件的小型力触觉再现方法,步骤如下:首先进行磁流变阻尼器和直流电机的标定,获得输入电流和输出力矩的关系;将预期力/力矩数值转换成磁流变阻尼器的电流输入,由磁流变阻尼器输出相应力矩,再经力触觉传递装置作用于操作人员身体;其次,安装在力/力矩作用点的传感器测量实际作用的力/力矩,比较实际输出与预期力/力矩数值,计算力/力矩误差;最后,将力/力矩误差转换成直流电机的输入信号,驱动直流电机产生误差所对应的力矩;本发明可实现小型器件输出大范围、高精度力/力矩,使得力触觉再现设备更加轻便、小巧,提升了力触觉交互的逼真度;可广泛应用于虚拟现实、遥操作机器人控制、医疗等领域。
东南大学 2021-04-11
一种基于有序排列扭曲结构柔性可拉伸器件的制备方法
本发明属于柔性器件制备技术领域,涉及一种基于有序排列扭曲结构柔性可拉伸器件的制备方法,先将柔性高分子衬底进行预拉伸后固定在玻璃片上,并在预拉伸后的柔性高分子衬底的四个边缘处制备电极;然后将柔性高分子衬底放置在接电源负极的环形金属收集极上作为收集衬底,将经过加工的中空不锈钢针作为纺丝喷头;将纺丝溶液注入到纺丝溶液容器中进行电纺;再将柔性高分子衬底水平转动90°继续电纺后从玻璃片上取下,得到基于有序排列扭曲结构的柔性可拉伸器件;其制备工艺简单,操作方便,制备的柔性可拉伸器件能分别或同时实现柔性可拉伸器件二维方向应力拉伸,且在两个方向上均能较精确的实现材料的预应变控制,适用范围广
青岛大学 2021-04-13
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