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一种多顶针芯片剥离装置
本发明公开了一种多顶针芯片剥离装置,包括多顶针主体机构, 安装于 Z 向升降机构上并连接旋转驱动机构,其包括中心顶针和外圈 顶针,外圈顶针先接触蓝膜上芯片的外缘实现预顶松,然后中心顶针 上升至外圈顶针等高并协作顶起芯片,完成芯片剥离;旋转驱动机构, 连接多顶针主体机构,用于先后驱动外圈顶针和中心顶针上升以完成 芯片顶起动作;Z 向升降机构,安装于三自由度微调对准机构上,停 机状态时其处于下降位置,工作状态其处于抬升位置,为顶起芯片做 好准备;三自由度微调对准机构,用于对多顶针主体机构进行 X、Y 和 Z 向的微调。本发明可实现顶针的快捷更换以及各顶针高度的方便 调节,芯片受力均匀,有效减少剥离过程中的芯片失效。 
华中科技大学 2021-04-11
一种超薄芯片的制备方法
本发明公开了一种超薄芯片的制备方法,具体为:首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域,再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄,对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片,最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片,所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺,相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法,简化了工艺流程,降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄,所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小,通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。
华中科技大学 2021-04-11
一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀
本发明公开了一种基于超磁致伸缩薄膜驱动器的平面线圈驱动式微阀,包括下阀体 (1)、依次压叠在下阀体(1)上的基片(3)、上阀体(4)和平面螺旋线圈(6),下阀 体的底部沿径向方向分别设有进液流道(2)和出液流道(11),下阀体的上部设有液体腔 (13),进液流道(2)设有垂直向上的与液体腔连通的流道口,出液流道(11)与所述液 体腔连通;基片(3)上表面镀有具有逆磁致伸缩效应薄膜(7),下表面镀有具有正磁致伸 缩效应薄膜(9);平面螺旋线圈(6)通电后,磁致伸缩薄膜驱动器在激励磁场的作用下发 生形变向上弯曲,使得工作流体通道打开,实现液压系统回路的通断。本发明具有体积小、 易于微型化、响应速度快、可控性强等特点。
安徽理工大学 2021-04-13
基于串联弹性驱动单元的稳定系统
项目简介: 作为新一代机器人的核心部件,串联弹性驱动单元通过模拟生物 运动特性,进而能够实现精确的力控制,因而被广泛使用于机器人与环境、人类等频繁交互的场景。本成果从串联弹性单元的特性出发, 将串联弹性驱动单元替换传统稳定平台驱动单元,利用弹性元件将载 体扰动的瞬变力通过弹性单元转化为渐变力,有效降低平台受到的外 界扰动 。
南开大学 2021-04-11
防泥水的轮辋驱动装置及汽车
其他成果/n本发明提供一种防泥水的轮辋驱动装置及汽车,所述防泥水的轮辋驱动装置包括电机、轮系支座和轮毂。所述电机具有机壳和动力输出轴。所述轮系支座安装于所述机壳外侧,所述轮系支座设有安装腔,所述安装腔内安装有二级行星齿轮减速器,所述电机的动力输出轴连接于所述二级行星齿轮减速器。所述轮毂凹设形成有容纳腔,所述电机的一端、所述轮系支座、以及所述二级行星齿轮减速器伸入所述容纳腔设置,所述二级行星齿轮减速器连接于所述容纳腔的底壁,所述容纳腔形成有脱泥段,所述脱泥段沿朝向所述电机的方向呈扩大设置。本发明能避免泥水进入二级行星齿轮减速器内而导致二级行星齿轮减速器发生损坏。
武汉轻工大学 2021-04-11
高性能的轮辋驱动装置及汽车
其他成果/n一种高性能的轮辋驱动装置和汽车,所述高性能的轮辋驱动装置包括电机、轮系支座、轮毂和多个连接轴承。所述电机具有机壳和动力输出轴。所述轮系支座安装于所述机壳外侧,所述轮系支座设有安装腔,所述安装腔内安装有二级行星齿轮减速器,所述动力输出轴连接于所述二级行星齿轮减速器。所述轮毂凹设形成有容纳腔,所述机壳、所述轮系支座、以及所述二级行星齿轮减速器均伸入所述容纳腔设置。所述多个连接轴承均连接于所述轮毂的内侧壁和所述轮系支座的外侧壁之间,所述多个连接轴承的其中之一用以沿该所述连接轴承的径向正对轮辋的中心孔的内侧面设置。本发明能降低二级行星齿轮减速器承受的弯矩。
武汉轻工大学 2021-04-11
热泵驱动的新型溶液除湿空调系统
本实用新型公开了热泵驱动的新型溶液除湿空调系统,压缩机通过制冷剂管路分别连接第一冷凝器、第二冷凝器、蒸发器,第一冷凝器和第二冷凝器通过制冷剂管路连接蒸发器,蒸发器通过冷冻水管路与干式风机盘管连接构成冷冻水循环,蒸发器通过冷冻水管路与换热器连接构成冷冻水循环;第一冷凝器通过溶液管路分别连接再生器、和浓溶液罐,再生器通过溶液管路连接稀溶液罐,稀溶液罐通过溶液管路连接除湿器,除湿器通过溶液管路连接换热器
青岛农业大学 2021-01-12
驱动基因阴性肺腺癌研究成果
利用全基因组芯片对52对驱动基因阴性肺腺癌肿瘤组织和相邻正常组织进行候选基因的筛选,通过KEGG信号通路富集分析发现Wnt/β-catenin信号通路在驱动基因阴性肺腺癌中高度激活,并得到41个Wnt/β-catenin信号通路相关的差异表达基因。在实验阶段,课题组运用组织芯片技术(TMAs)和LASSO Cox回归分析进一步对41个候选基因进行筛选,最终构建了一个由CTNNB1、SOX9、DVL3和Wnt2b组成的预后相关classifier(CSDW)。依据CSDW classifier,驱动基因阴性肺腺癌患者可被分为高风险组和低风险组,并且高风险患者的总生存率显著差于低风险患者([HR]10.42,6.46-16.79;p<0.001)。在验证阶段,课题组收集了内部验证组样本和两个独立的外部验证组样本。经过验证分析,CSDW classifier被证实可作为预测驱动基因阴性肺腺癌患者预后的可靠工具,同时为驱动基因阴性肺腺癌的治疗提供新的靶点。
中山大学 2021-04-13
压电材料高电压系列驱动器
压电材料是一种智能机电耦合材料,利用压电材料的压电效应可以实现机械能和电能的互相转换,目前压电材料广泛用于压电滤波器、微位移器、驱动器和传感器等电子器件中。压电陶瓷和压电纤维做为一种常用的压电驱动元件通常需要较高的驱动电压和驱动功率,本项目针对不同的压电材料应用需求研发了一系列压电材料线性高电压驱动器。
西安交通大学 2021-04-11
基于舵机驱动的喷头切换装置
本发明公开了一种基于舵机驱动的喷头切换装置。信号采集处理单元中CCD摄像机与PC机通过以太网口电连接,PC机与DSP控制器电连接并通过串行方式通讯,DSP控制器分别与电磁阀和舵机电连接;多喷头体转轴与多喷头体外壳形成转动副并与电磁阀通过接头连接,多个不同喷流角的喷头装配在多喷头体外壳上;舵机驱动单元中舵机输出轴上的齿轮与多喷头体外壳上的齿轮相啮合;固定支撑单元将多喷头体、舵机和齿轮组进行固定,多喷头体的两端固定在叉形支撑架上,舵机与叉形支撑架通过舵机固定板连接。本发明根据植株宽度的变化自动切换适宜喷流角的喷头,实现更精确的对靶喷雾,减少农药的过量使用带来的食品、环境等安全问题。
浙江大学 2021-04-13
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