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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
西北农林科技大学张东教授团队揭示硝酸盐处理下特定基因调控不定根发生的机制
近日,园艺学院果树发育生物学团队在国际知名期刊《植物,细胞与环境》(Plant,Cell&Environment)上发表研究论文,以MdWOX11转基因苹果组培苗为试材,揭示了硝酸盐处理下MdWOX11调控不定根发生的机制。
西北农林科技大学 2022-10-13
连续法大气压低温等离子体聚四氟乙烯表面处理清洁生产技术
2010年我国含氟聚合物产能约8万多吨,占世界总产能的三分之一,产量近6万吨,其中PTFE约占80%,已成为世界第二大生产国。根据国家氟化工十二五规划,到2015年我国含氟聚合物产能将达到13.4万吨,产量达到9.4万吨,其中PTFE约占70%。随着战略性新兴产业的兴起,PTFE应用范围已经从传统领域扩展到环保、生物医药、新能源、电子信息等新兴产业领域。如在环保领域,PTFE膜接触器应用于烟道气处理;在生物医药领域,PTFE中空纤维管用作血浆过滤器;在新能源领域,PTFE用作锂电池隔膜和太阳能电池背板;在电子信息领域,PTFE用作驻极体材料。而这些应用,无一不涉及到对PTFE的表面处理。传统的湿化学法已经不能适应,正如氟化工十二五规划中所述:产品结构不合理,中低端产品为主,高端产品仍然依赖进口;应用开发不力,加工技术和设备落后。 大气压低温等离子体材料表面改性是一种新型的表面改性方法,这种方法可以有效地改善材料表面性能,且凭借其独特的优点使其具有其它传统方法不可比拟的优势,是一项值得深入研究的有广阔应用前景的技术。本项目采用大气压低温等离子体改性PTFE材料,替代传统的湿法化学处理方法,从而提高其表面的粘接性、吸湿性、可染色性、及生物相容性等性能,开发出适合对PTFE表面处理的高放电均匀性、高放电电离效率和大面积的均匀等离子体在线清洁处理技术,从而达到对PTFE表面改性的有效调控,取代传统的化学表面处理方法,推动相关产业的技术进步和PTFE在新兴行业中的应用,对于提升PTFE产品档次,促进PTFE在新兴行业的应用具有现实意义。 本项目所采用的常压低温等离子体设备为大面积、均匀连续处理设备,如图所示,可以实现稳定均匀DBD模式运行,配合上收卷、送卷,臭氧抽气等装置,可实现在线连续运行。目前已在实验室实现电极长度为1.5米的的大面积放电,如图(a)所示,将进一步结合在线处理要求,深入研究等离子在线处理工艺,开发如图(b)所示的在线处理样机。处理宽度0.5m,处理速度1-5m/min可调;处理厚度0.05-0.5mm;处理后PTFE表面水接触角不大于50°;PTFE表面微观形貌:表面刻蚀程度均匀。 技术特点及创新性 针对目前PTFE表面处理中采用的湿法化学处理方法安全性、环保性、节能性差的缺点,采用大气压低温等离子表面处理技术,通过研究放电参数、处理结构及处理气体对PTFE表面改性影响的规律,获取最优改性处理条件,找到最适合取代化学处理方法的PTFE表面状态;通过研究在PTFE表面接枝不同的分子链,使其表面产生新的分子结构和新的功能,解决表面处理后老化效应等问题;开发新型的DBD等离子体处理样机,提高等离子体大面积处理均匀性;实现对PTFE表面处理的在线连续性、经济性、清洁性和安全性。同时为低温等离子体材料表面改性的大规模工业应用提供实践。研发出适应工业化生产的PTFE表面处理新技术和新设备,从而提高其表面的粘接性、吸湿性、可染色性、及生物相容性等性能,而且改性只涉及表面纳米级别范围内,基体性能不受影响,对于提升PTFE产品档次,促进PTFE在新兴行业的应用具有现实意义。 ●应用前景: 以聚四氟乙烯复合胶带为例,该产品是采用PTFE乳液浸渍玻璃纤维基布,生产出聚四氟乙烯漆布,再进行单面表面处理后,涂上一层有机硅胶粘剂。该产品表面光滑,有着良好的抗粘性,耐化学腐蚀和耐高温性以及优秀的绝缘性能,并具有反复粘贴功能,广泛应用于在造纸、食品、环保、印染、服装、化工、玻璃、医药、电子、绝缘、砂轮切片、机械等领域,还可应用于浆纱机的滚筒、热塑脱模等行业。该产品预计全国年用量达1000多万㎡。再以太阳能电池组件背板为例,其主流产品是TPT。该产品是由上下两层PVF(聚氟乙烯)和PET(聚对苯二甲酸二乙酯俗称涤纶)薄膜三层复合而成。该产品的生产就涉及到对PVF的表面处理。相对于PTFE来说,PVF的表面处理就比较容易。据统计1兆瓦组件需要8800-10000平方米的背膜,2007年我国组件量为1717兆瓦,消耗各种背膜1500-1700万平方米,全部依赖进口。据《2008年中国光伏太阳能行业研究与投资前景分析报告》预测,2008年世界组件量为将上升40%,约为5600兆瓦,我国组件量约为2400兆瓦,需要背膜约1900-2400万平方米,PVF表面处理量达3800-4800万平方米。 目前,国内外相关研究大多实验室阶段,国外一些知名的大公司,如道康宁、3M以及德国的一些公司,也正致力于该技术研究。从目前报道资料情况上看,国外仅道康宁公司有应用报道,国内尚无相关产品推出。因此技术属于自主創新技术,将填补国内空白,达到国际先进水平。本技术具有应用的普遍性,不但可用于PTFE的表面处理,更可用于其它氟树脂和难粘高分子材料的表面处理,具有广阔的市场前景。本技术还可以推广到其他高分子材料处理领域,以及保护性包装、生物材料处理、薄膜沉积、生物医学应用等领域,在提高材料表面性能,开创材料新的应用领域方面发挥着至关重要的作用。
南京工业大学 2021-01-12
安徽大学基于金属有机框架纳米材料的电致化学发光生物传感器用于高灵敏检测肿瘤标志物研究取得新进展
Ti3C2Tx-MXene是一种新型的二维纳米材料,该材料具有良好的金属导电性、亲水性、大比表面积及丰富的表面修饰基团等优点被广泛应用在催化、电化学传感领域。
安徽大学 2022-06-13
安徽大学基于金属有机框架纳米材料的电致化学发光生物传感器用于高灵敏检测肿瘤标志物研究取得新进展
我校毛昌杰教授团队以二维过渡金属碳化物(Ti3C2Tx-MXene)为金属源合成金属有机框架纳米材料(Ti3C2Tx-PMOF),并成功将其应用于电致化学发光生物传感领域。
安徽大学 2022-06-01
建筑工程结构裂纹状态监测方法及应用该方法的检测系统
本发明涉及一种园林滤池污水处理设施构建方法,主要结构包括池体、浅水槽、深水槽。池体内自下而上包括填料层、隔离层、透水砖步道层和树木层,并布有穿孔透气竖管。依据污水水质、水量和处理工艺要求,利用浅水槽、深水槽设计特点形成上向或下向流式的潜流流态。树木为耐水湿乡土园林乔、灌木,其根系位于填料层。本发明利用土地规划的绿地,结合园林树木的净化作用而构建,不另占或少占用土地,受气候影响小,持续性效果好,无二次污染,易维护且费用低。能广泛应用于村镇、小区、企事业单位、单体建筑的生活污水,以及畜禽养殖场等废水的分散达标处理,减轻市政污水处理压力,实现污水处理与资源化利用、环境美化和木材生产为一体的功能目标。
天津城建大学 2021-04-11
一种用于 wav 格式音频信息的嵌入方法和提取方法
本发明公开了一种用于 wav 音频信息的嵌入方法,包括步骤:wav 格式音频、该用户需要嵌入 wav 格式音频中的消息、第一算法参数和第二算法参数的输入;将需要嵌入 wav 格式音频中的消息进行格式化处理,以生成包含段头标识符、校验和、需要嵌入 wav 格式音频中的消息、段尾标识符的协议段;随机偏移数、第一算法参数和第二算法参数分别加密为 16 位、16 位、32 位的二进制比特串,并设置已嵌入比特数为 0,选择将 wav 格式音频的第(64+随机偏移数)帧的第一个采样点设置为采样点i0,将每连续的
华中科技大学 2021-04-14
一种双加工点共轨运动控制方法、加工方法及其装置
本发明公开了一种双加工点共轨运动控制方法、加工方法及其装置,用于在数控机床加工轮廓轨迹时实现主加工点和副加工点同时位于该轮廓轨迹上,包括 S1 根据主加工点的坐标、行进方向以及与副加工点的距离,计算副加工点在轮廓轨迹上的位置以及弦线的方向;S2 计算弦线在下一时刻的方向;S3 计算该弦线旋转的角度;S4 计算弦线旋转需要加工点在工件坐标系下分别在 X 轴和 Y 轴方向的补偿量;S5 结合工件坐标系和机床坐标系的换算关系,获得主加工点和副加工点的绝对坐标,实现双加工点共轨控制。本发明方法填补了实际加工
华中科技大学 2021-04-14
一种重力梯度仪自标定方法及离心梯度补偿方法
本发明公开一种重力梯度仪自标定方法及离心梯度补偿方法,其中重力梯度仪自标定方法通过改变重力梯度仪的水平倾斜角或惯性稳定平台的旋转角速度改变重力梯度仪敏感的离心梯度,记录不同离心梯度激励下重力梯度仪的输出及检测的离心梯度数据完成重力梯度仪标度系数、零偏的标定;根据标定模型及重力梯度仪的输出得到含有离心梯度的重力梯度数据,将其减去检测的离心梯度,实现离心梯度补偿。本发明提供的标定方法可由计算机自动运行,实现自标定,该方法仅依靠重力梯度仪本身,不需要依赖外部检测质量即可完成标定,该标定方法,方便、简洁、容易实施。
东南大学 2021-04-11
市科技局关于天津市应用基础研究多元投入微处理器设计项目拟立项项目的公示
经专家评审等程序,市科技局局长办公会审议通过了天津市应用基础研究多元投入微处理器设计项目拟立项项目,现予以公示。
基础研究处 2023-07-19
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