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微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大,风险高,成本高且产量低的技术问题。
华中科技大学 2021-04-14
承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
产品详细介绍承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
广州市奥力生体育设施有限公司 2021-08-23
低成本制备高效硅薄膜太阳电池关键技术研发
南开大学 1978 年在国内率先开展非晶硅材料及其电池的研究,该技术获得天津市技术发明二等奖。自“六五”至“九五”期间,连续 4个五年国家科技攻关计划,获科技部重点攻关和天津市科委的支持,经过 20 余年潜心研发,硅基薄膜太阳电池性能跻身世界先进行列。于 2003 实现非晶硅电池产业化。 2000 年始,在国内率先开展新一代硅薄膜电池的研究。2007 年,该成果实现技术转移生产。 2009 年,研制成功我国首套基于自主专利技术的、衬底面积0.79m2、线列式 5 室连续 VHF-PECVD 系统及相应中试生产线及其组件制造技术。成为国际上为数不多可开展大面积新一代硅基薄膜太阳 电池研究的单位。 2011 年,开发出年产能 2 兆瓦、具有自主知识产权的、我国首条年产能 2 兆瓦的非晶硅/非晶硅锗/微晶硅叠层电池生产线及其组件生产技术。生产出的太阳电池组件效率达 9.59%,将新一代硅薄膜电池技术推向产业化。
南开大学 2021-02-01
低成本制备高效硅薄膜太阳电池关键技术研发
南开大学 1978 年在国内率先开展非晶硅材料及其电池的研究,该技术获得天津市技术发明二等奖。自“六五”至“九五”期间,连续 4 个五年国家科技攻关计划,获科技部重点攻关和天津市科委的支持, 经过 20 余年潜心研发,硅基薄膜太阳电池性能跻身世界先进行列。 于 2003 实现非晶硅电池产业化。 2000 年始,在国内率先开展新一代硅薄膜电池的研究。2007 年, 该成果实现技术转移生产。 2009 年,研制成功我国首套基于自主专利技术的、衬底面积 0.79m2、线列式 5 室连续 VHF-PECVD 系统及相应中试生产线及其 组件制造技术。成为国际上为数不多可开展大面积新一代硅基薄膜太 阳电池研究的单位。 2011 年,开发出年产能 2 兆瓦、具有自主知识产权的、我国首条 年产能 2 兆瓦的非晶硅/非晶硅锗/微晶硅叠层电池生产线及其组件生 产技术。生产出的太阳电池组件效率达 9.59%,将新一代硅薄膜电池 技术推向产业化。
南开大学 2021-04-11
基于硅基外腔芯片的窄线宽连续调频激光器
1. 痛点问题 激光雷达在自动驾驶等领域有重要应用。基于调频连续波技术的激光雷达(FMCW Lidar)有着探测距离远、抗干扰和同时测速等优势,被认为是最具应用潜力的激光雷达。激光光源是FMCW激光雷达的核心器件之一,FMCW光源的调频非线性会严重影响激光雷达的分辨率,导致有效工作距离缩短,阻碍激光雷达性能的提升。 2. 解决方案 本成果预期解决目前调频连续波激光雷达(FMCW Lidar)中光源调频非线性的问题。本成果提出一种基于硅基外腔芯片的窄线宽激光器,通过无源硅基外腔芯片反射波长中心频率和反射相位的联合调谐,可以实现高线性的激光输出频率调谐,其原理架构与和实验验证结果如图1所示。从而突破了传统FMCW光源直接通过电流调制进行调频导致的非线性限制,直接产生高线性连续调频光信号。 合作需求 1、需要融资1800~2000万元,完成研发实验室及一期生产线的建设,以及前期工程样品的开发; 2、需要800平米左右万级超净厂房及配套办公面积,希望有兴趣的地区或者园区能够提供优惠的政策与支持; 3、欢迎FMCW激光雷达厂家及其它对FMCW光源有需求的客户合作,联合测试、共同开发; 4、欢迎在硅光设计、光有源、无源耦合及自动化生产等方面的技术、管理专家加盟,共同打造激光雷达的中国光芯,共创美好未来。
清华大学 2022-03-28
高效率薄膜晶硅纳米构架柔性太阳光伏项目
 高性价比太阳光伏电池技术,及其低成本规模化开发应用,是我国中长期科技发展规划中所框定的重点“能源领域”技术突破方向之一。新一代高性能柔性薄膜太阳能电池为丰富光伏器件应用和推广太阳能建筑一体化提供关键基础,而其实现的核心技术在于制备高品质、稳定且低成本的柔性薄膜材料。本项目在可规模化应用的柔性薄膜衬底上实现低温晶硅薄膜外延生长、分离转移、器件优化和先进纳米构建框架等一系列核心技术。同时,通过融合和集成先进纳米构建体系和材料性能调控,探索新一代高性价比薄膜光伏电池。
南京大学 2021-04-14
晶体硅太阳能电池产业化及应用产品开发
欧洲太阳能协会主席赫尔曼・舍尔博士日前认为,世界经济应该从依靠矿物资源向太阳资源转变,太阳型世界经济将推动第二次工业革命 。太阳能发电是一项高新技术,以太阳能为资源基础的生产将是一种可持续的发展模式从阳光直接转变成电流的太阳电池也将不再是昂贵的市场空缺。全球太阳能产品的年销售额达14亿美元,其中12亿美元来自太阳能电池的销售。太阳能工业的年增长率估计在20
西安交通大学 2021-01-12
新型有机复合结构的电致发光平板显示器
本项目在申请了国际国内专利的基础上,大大提高了器件之发光效率、延长其使用寿命。主要技术内容是把无机/有机等多种材料成膜于两个电极之间做成发光器件,即经过步骤: 1. ITO 光刻 2. 基片处理 3. 用物理或化学方法制备无机纳米薄层到基片上 4. 然后将有机材料通过真空镀膜或旋甩涂敷成膜 5. 最后一层是镀金属电极 6. 封装引线等,最后配上驱动电路就制成了一个 OLED 电致发光屏 以上每一步骤,我们都有自己的独到之处,首先从器件的结构上看我们已经避开了美国和日本的专利。这为本项目的开发扫清了障碍。其次,在许多工艺上,我们简化了操作步骤,为其商品化打下了良好的基础。 用这一专利技术可生产出一系列自发光平板显示产品,且不产生电磁幅射,其优越的“性能价格比”使其不仅能打入传统自发光平板显示器市场,而且以其高分辨率的优势,还能进一步挑战目前被彩管(CRT)和液晶(LCD)垄断的显示器市场。产品的价格优势主要有两点:1、使用成熟的常规镀膜技术,步骤少、效率高;2、密封技术低、易操作。 本成果属国内领先水平,尽管日本的先锋公司已有车用显示器件问世;但是,目前国内该领域没有一家公司能生产该产品。 成果适合于手机、仪表显示、HDTV 或“壁挂式彩电”的应用,使全彩色成为可能。 与市面上最多的阴极射线管显示器相比,使用平板显示器基本上不产生电磁幅射,且与纯无机电致发光显示技术相比具色彩鲜艳、驱动电压低、价格低、使用范围宽、尺寸范围大等明显优势,而该技术在成本、性能及尺寸范围等方面又较液晶显示及等到离子体显示具有显著的优势。可采取股份制,在中国注册,在中国和香港上市。
北京交通大学 2021-02-01
功能型有机/陶瓷复合膜的制造技术
成果描述:在α-Al2O3、TiO2介孔膜上接枝或接枝聚合一层薄的具有特殊功能的,诸如疏水的、亲水的、荷负电纳米孔的或者荷负电纳米孔的活性过滤膜,从而制备出特定工艺专用的膜,如脱水膜、膜蒸馏膜,超滤膜和纳滤膜,可广泛应用于醇类的除水,海水和苦咸水淡化,难分离污水的脱水,酸的浓缩,给水的软化,废水处理的中水回用等领域。另外,由α-Al2O3和TiO2制备的各种大孔和介孔膜可被广泛应用于苛性介质如酸和碱中的颗粒杂质去除工艺。 流体机械密封端面变形、传热和密封端面间隙流场的研究,考虑流体流动、热量传递和端面变形之间的相互影响,并提供机械密封和干气密封的通用设计软件。市场前景分析:环保领域:烟气脱硫硫酸的净化过滤与浓缩,污水处理的中水回用,MBR,难分离、有毒有害和放射性废水的处理。 其它领域:给水的软化,海水和苦咸水淡化,无加热源的吸收式制冷空调系统,有机物的分离。与同类成果相比的优势分析:1.疏水膜表面接触角大于130°,平均孔径0.5微米; 2.亲水膜的水渗透蒸发通量大于610 g m-2 h-1,选择性大于139; 3.荷电纳滤复合膜的通量大于2.6 L m-2 h-1 bar-1,对二价离子的截留率大于90%; 4.超滤陶瓷膜的截留分子量在7,000~100,000范围可任意选定; 5.微滤陶瓷膜的孔径在0.1~3微米之间可调。 国际先进
四川大学 2021-04-10
高折射率有机-无机纳米复合光学薄膜
随着光学器件在日常生活领域越发广泛地应用,对其新功能的需求也加大,其中高折射率材料的研究也越来越多,特别是高折射率聚合物(HRIP)。近来,由于其在高级光电制造中的潜在应用,HRIPs已经吸引了相当多的关注,例如先进显示设备的高性能基底,用于有机发光二极管显示器,光学黏合剂或密封胶材料,高级光学应用中的减反射涂层,193-nm浸润蚀刻光阻剂,和微透镜组件中的电荷耦合式装置以及互补金属氧化物半导体图像传感器。然而,一般普通聚合物的折光指数的范围在1.30~1.70之间,但是在实际应用中要求更高的折光指数(大于1.70,甚至 1.80)。由高折射率无机纳米粒子和有机高分子基体组成的纳米复合材料可以轻易地获得高的折光指数。本项目将高折射率的无机纳米粒子炭黑、二氧化硅、二氧化钛等添加到各种聚合物基体中,获得高折射率光学薄膜,且通过对无机粒子和聚合物基体间的界面设计,使得无机粒子少量填充即可获得高折射率光学薄膜。具有核心技术(自主知识产权),发明专利1项,获得上海市自然科学基金资助。
华东理工大学 2021-04-11
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