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一种高功率大带宽锗硅光电探测器
本发明公开了一种高功率大带宽锗硅光电探测器。该探测器是 模拟光子通信系统和微波光子系统中的硅基关键集成光电子器件,其 特征在于包括多个并联锗层结构和电感。多个并联的锗层结构的多个 锗层尺寸是可以不同的,以实现对寄生电阻的调控,在提高器件饱和 功率的同时保持了寄生参数不至显著增加。同时,通过引入片上和片 外电感,实现对器件寄生电感的调控,抬升器件高频处频率响应,提 升器件工作带宽。本发明提出的光电探测器采用集总电极结构
华中科技大学 2021-04-14
一种加工硅通孔互连结构的工艺方法
本发明公开了一种加工硅通孔互连结构的工艺方法,步骤为:①在基板上刻蚀盲孔;②在基板上沉积一层图案化介电质层;③刻蚀图案化介电质层,刻蚀掉盲孔底部的介电材料,保留盲孔侧壁的介电材料,在基板上形成介电质孔;④在介电质孔上沉积一层导电材料,形成导电孔;⑤在导电层上再沉积一层图案化介电质层,填充导电孔;⑥刻蚀板背面,暴露出导电层,在导电层上形成焊料微凸点。图案化介电质层的材料优选聚对二甲苯。本发明简化了工艺步骤,减少工艺时间并降低了费用;使用二层图案化介电质层,降低了寄生电容,提升了互连电性能,适用于高速和
华中科技大学 2021-04-14
锗硅纳米低维结构的可控制备方法及产品
本发明公开了一种锗硅纳米低维结构可控制备方法及产品,该 方法具体为:(a)清洗硅衬底;(b)在硅衬底上外延生长锗硅合金形成外 延衬底;(c)涂敷电子抗蚀剂,通过电子束光刻技术在电子抗蚀剂上曝 光所需的锗硅纳米低维结构图形;(d)采用干法刻蚀将锗硅纳米低维结 构图形转移到外延衬底上得到样品;(e)去除样品上的电子抗蚀剂;(f) 高温环境下进行氧化和退火,使得氧气优先与硅反应形成氧化硅而锗 被析出;(g)在氮氢混合气氛下
华中科技大学 2021-04-14
一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法
本发明公开了一种基于硅基液晶的偏振检测系统及方法,所述 偏振检测系统包括检偏器、光探测器、硅基液晶驱动模块、控制单元 和用于相位调制的硅基液晶,硅基液晶在硅基液晶驱动模块的驱动下 对待测光进行相位调节,获取一系列偏振光,通过对这一系列偏振光 的分析获取待测光的偏振信息,包括竖直方向与水平方向的振幅及相 位差。本发明的系统在精确可编程控制下,进行偏振态检测与控制, 不受类似于波片的波长敏感性制约;且本发明采用硅基液晶进
华中科技大学 2021-04-14
新一代硅烷法电子级晶体硅生产技术
上海交通大学 2021-04-13
微型皮拉尼计与体硅器件集成加工的方法
本发明公开了一种微型皮拉尼计的制备方法及其与体硅器件集成加工的方法。集成加工的方法包括:在硅基片正面制备体硅器件所需的绝缘层及电路引线;在硅基片的背面或正面沉积一层绝缘隔热材料,刻蚀去除其四周部分得到绝缘隔热层;在绝缘隔热层上制备加热体和电极;在没有加热体的一面制备图形化的光刻胶掩膜;在有加热体的一面沉积金属膜;将金属膜粘贴在表面有氧化层的硅托片上;对有光刻胶掩膜的一面进行感应耦合等离子体干法刻蚀,刻穿硅基片;去除光刻胶掩膜和金属膜,得到集成结构。本发明能有效提高皮拉尼计的制备与其它工艺的兼容性,解决皮拉尼计与体硅器件集成封装工艺难度大,风险高,成本高且产量低的技术问题。
华中科技大学 2021-04-14
承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
产品详细介绍承建丙烯酸涂料,硅PU塑胶蓝、排、网、羽球场
广州市奥力生体育设施有限公司 2021-08-23
一种聚氨酯水分散体胶黏剂的连续生产方法
本技术成果是在合成水分散体聚氨酯工艺中,采用特殊的复合剪切乳化分散工艺,把中和过程中的第 一步混合放在了静态混合器中,第二步将混合物放在动态混合器中,动静混合方式结合制备出具有稳定的 水性聚氨酯。另,尝试采用含有羧基和磺酸基复合水性单体体系,分别在预聚体合成工艺的聚合阶段和扩 链阶段加入,从而使离子基团在大分子中的分布更均匀,有利于预聚体的分散和提高贮存稳定性。连续过 程短的保留时间大大减小了水和异氰酸酯的反应机会,而且二胺将与异氰酸酯充分反应,从而避免扩链剂 的过量加入。利用连续分散法得到的水性聚氨酯乳液粒径平均在100nm~200nm之间,稳定性较批量加料 法高。本技术成果解决了目前间歇合成工艺中需要高能剪切搅拌器,对设备要求较高,消耗大量的能量以 及产品质量不稳定的缺点。
中山大学 2021-04-10
智能五轴联动数控AB点胶机的胶量跟随控制装置及方法
传统的双组份点胶系统的点胶部分自成一体,在点胶头加减速运动过程(特别是不规则图形点胶)中,点胶速度并不能自动跟随加减速,造成点胶头低速(曲线启始或曲线拐弯)时点胶过多,而在高速时点胶又不够的不均匀问题。本发明是在三轴运动控制平台基础上添加A和B两轴由步进电机或伺服电机带动的点胶泵构成五轴联动的插补数控系统,充分考虑机床的运动、A、B料的点胶泵的运动及外界温度的相互影响,满足从任意当前速度和加速度过渡到可随时调节的任意目标速度的S型的加减速,能使点胶运动具有较高平稳性,实现AB胶点机的
河海大学 2021-04-14
绿色充填胶凝材料研发及尾砂似膏体制备采矿技术
随着我国对环境保护越来越重视,充填采矿技术得到越来越广泛应用。通常仅用于有色、黄金、贵金属等高价值矿体开采的全尾砂充填采矿法,近 10 年来已在铁矿、煤矿等低价值资源开发中应用,并且具有逐年发展趋势。与其他采矿方法相比,充填法采矿不仅采矿工艺复杂,生产能力低,而且充填采矿成本高,因此采矿经济效益差,影响充填采矿技术推广应用。特别对于低品位大型铁矿,通常以水泥作为胶凝材料实施全尾砂充填法开采,其胶结充填体强度低,水泥用量大,导致充填采矿成本居高不下,显著降低充填采矿经济效益。 近 10 多年来,人们一直在探索低成本充填胶凝材料以及膏体充填技术。以胶固粉为代表的新型充填胶凝材料在充填矿山中应用,获得显著的经济、社会和环保效益。胶固粉一类新型充填胶凝材料以矿渣为主,与复合激发剂(C 料)在矿山制备。近年来,随着我国对环保重视和管理,对钢铁和水泥产业限产,作为水泥掺合料的矿渣成为一种宝贵的短缺资源,其材料成本在逐年提高且供不应求;由于激发剂成本提高和远距离运费,由此制备的胶固粉一类全尾砂充填胶凝材料成本逐年提高,目前基本上接近 42.5 普通硅酸盐水泥材料成本。 钢渣、脱硫石膏、氟石膏、磷石膏、电石渣、鎂渣等低品质固体废弃物资源,由于其活性低、资源化利用成本高,作为水泥掺合料存在安定性等问题,因此资源化利用率低,目前仍是名副其实的固体废弃物。本项目利用钢渣等低品质固体废弃物,开发全固废绿色充填胶凝材料,以及超细尾砂似膏体制备技术,在充填矿山尤其是低价值充填矿山应用,不仅能够显著降低充填采矿成本,而且还可以实现低品质固体废弃物资源化高附加值和规模化利用。 本项目核心技术成果开发出的全固废绿色充填胶凝材料,与水泥和胶固粉相比,充填材料成本大约是水泥或胶固粉成本的 50%~70%,而固废废弃物利用100%,其中较难利用的钢渣、脱硫石膏等低品质固体废弃物利用率将达到 55%以上。与胶固粉相比,其胶结体早期强度较低,但后期强度(28d)基本持平。因此,该种充填胶凝材料可以应用于大型贫铁矿阶段嗣后充填矿山以及对早期强度要求不高的上向分层进路胶结充填采矿法。
北京科技大学 2021-04-13
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