一种高功率大带宽锗硅光电探测器

人工智能

本发明公开了一种高功率大带宽锗硅光电探测器。该探测器是

模拟光子通信系统和微波光子系统中的硅基关键集成光电子器件，其

特征在于包括多个并联锗层结构和电感。多个并联的锗层结构的多个

锗层尺寸是可以不同的，以实现对寄生电阻的调控，在提高器件饱和

功率的同时保持了寄生参数不至显著增加。同时，通过引入片上和片

外电感，实现对器件寄生电感的调控，抬升器件高频处频率响应，提

升器件工作带宽。本发明提出的光电探测器采用集总电极结构

未应用