本发明公开了一种超薄芯片的制备方法，具体为：首先在硅晶圆表面光刻形成掩膜以暴露出需要减薄的区域，再采用刻蚀工艺对硅晶圆进行局部减薄，对减薄后的区域进行芯片后续工艺处理得到芯片，最后将芯片与硅晶圆分离。本发明只是部分减薄了硅片，所以硅晶圆的机械强度仍然可以支持硅片进行后续的加工工艺，相对于传统的利用支撑基底来减薄芯片的方法，简化了工艺流程，降低了工艺成本。另外由于不需要用机械研磨工艺来进行减薄，所以不会因为机械研磨对硅晶圆造成的轻微震动而使厚度不能减得过小，通过本发明可以使芯片减薄到比机械研磨方法更薄的程度。

成果与项目的背景及主要用途： RFID是射频识别技术的英文(Radio FrequencyIdentification)的缩写，射频识别技术是 20 世纪 90 年代开始兴起的一种自动识别技术，射频识别技术是一项利用射频信号通过空间耦合(交变磁场或电磁场)实现无接触信息传递并通过所传递的信息达到识别目的的技术。RFID 系统通过射频信号自动识别目标对象并获取相关数据，识别工作无须人工干预。作为条形码的无线版本，RFID 技术具有条形码所不具备的防水、防磁、耐高温、使用寿命长、读取距离大、标签上数据可以加密、存储数据容量更大、存储信息更改自如等优点，已经被世界公认为本世纪十大重要技术之一，在生产、零售、物流、交通等各个行业等各个行业有着广阔的应用前景。 本项目主要研发了基于 ISO18000-6B 协议的无源电子标签芯片，其可用于物流，货品识别，高速公路收费等诸多领域，是目前国内外射频电路研究领域的热点。 技术原理与工艺流程简介：UHF 频段的无源电子标签工作原理如下：通过标签上外置的偶极子天线接收读卡器发送的载波信号，并将其转换为直流信号，为整个芯片供电；同时片上的解调模块解调出经调制的载波信号所携带的数据信息，并传递给片上的基带部分加以处理；基带部分连同 EEPROM 部分一起完成数据的读写和控制功能，再由调制模块以反向发射的形式将上行信号返回给读卡器完成一次通信。 本设计的工艺流程是基于 Chartered 0.35um EEPROM 数字工艺，从芯片设计、仿真、版图验证。最终通过代工厂完成芯片制作。技术水平及专利与获奖情况：根据测试结构表明，各项指标都达到了商用需求，在国内属领先水平。该项成果已获得国家知识产权局颁发的集成电路布图登记证书。BS.06500285.7 应用前景分析及效益预测：目前国内的 UHF 频段的 RFID 产品正处于高速成长期，需求量快速增长，但大多数核心技术需要依赖进口。如果本项目能够实现技术转产，可以预计的前景和经济效益是相当可观的。有了自主知识产权的 UHF频段电子标签，在很多领域都可以加以移植，取代进口产品不但可以大大节省开支，同时也可以实现产品的自我定制及更新，最大程度的方便了国内用户的应用。 应用领域：货品跟踪和识别（代替条形码）、高速移动物体的识别、防伪认证以及电子支付等领域都会有广泛的应用。 技术转化条件（包括：原料、设备、厂房面积的要求及投资规模）：四十平方米以上的办公用房，电脑、工作站若干，相应软件。也可以和 RFID天线制造单位，卡片封装单位共同合作，将成果转产。 合作方式及条件：面谈。

本发明公开了一种基于有源和无源器件的小型力触觉再现方法，步骤如下：首先进行磁流变阻尼器和直流电机的标定，获得输入电流和输出力矩的关系；将预期力/力矩数值转换成磁流变阻尼器的电流输入，由磁流变阻尼器输出相应力矩，再经力触觉传递装置作用于操作人员身体；其次，安装在力/力矩作用点的传感器测量实际作用的力/力矩，比较实际输出与预期力/力矩数值，计算力/力矩误差；最后，将力/力矩误差转换成直流电机的输入信号，驱动直流电机产生误差所对应的力矩；本发明可实现小型器件输出大范围、高精度力/力矩，使得力触觉再现设备更加轻便、小巧，提升了力触觉交互的逼真度；可广泛应用于虚拟现实、遥操作机器人控制、医疗等领域。

应用领域：有源电力滤波器是一种可以对电网谐波和无功电流 进行动态实时补偿的新型电力电子设备，可以有效减少电网污 染。 功能介绍：实时检测负载电流，通过谐波检测算法将有功基波 电流从负载电流中提取出来，将剩余部分作为逆变器的输出指 令电流进行实时电流跟踪。经过如此电流补偿，即电网只为负 载提供有功基波电流，则可减少各种非线性用电设备对公用电

本发明公开了一种基于有源注入电流的电网谐振自动检测方法； 针对电力系统存在非线性负载时的谐波污染，以及接有无功补偿电容 器时容易产生谐振的问题，通过并联接入电网的有源电能质量调节装 置补偿谐波，同时利用此电能质量调节装置向电网一次性注入特定波 形的无功和谐波组合电流以自动检测电网谐振角频率及阻尼系数，对 于单相系统注入 180°方波电流，对于三相系统注入 120°方波电流； 本发明根据电网谐波电压、谐波电流及谐波功率的频谱特性，建立最 优权值算法的谐振检测组合模型，可以快速、准确地判定电网谐振角 频

本发明公开了一种基于改进粒子群的有源配电网故障定位方法，具体包含两个部分：离线区域划分和在线故障定位；其中，离线区域划分包括如下步骤： (1)根据配网中已有量测装置形成网络拓扑结构，从经济性、可靠性和风险性三个方面进行配电网区域静态划分； (2)考虑DG接入，建立新的评价指标进行DG接入的配网区域动态调整； 在线故障定位包括如下步骤： (1)根据区域边界节点处的故障信息进行冗余信息处理，剔除无效区域； (2)对处理后的故障信息进行变量优化； (3)采用改进粒子群算法实现故障全局性定位； 本发明采用区域划分和改进粒子群算法实现了故障区域的定位，能够高效、准确的解决含分布式电源的配电网故障定位问题。

ARTOS 1200D是一款新版的多功能便携式组合音柱音响系统，包括一只6*3""无源塑壳音柱+一只内嵌6路输入带双通道功率放大器的数字箱式调音台的12""有源超低频音箱+1只塑壳音柱支撑箱。只需简单装配，就组成一套高性能的专业音箱系统。三分频3英寸塑胶组合音柱音响系统，包括1只6*3""全频扬声器+1*1""压缩驱动器号角扬声器组成的全频音箱，以及1只10""有源超低频音箱。音质出色，重量轻，携带方便。恒指向性高音号角设计，声场覆盖均匀。12""有源超低频音箱，倒相式设计，内置2*300W双通道功率放大器，6路输入通道的箱式调音台，包括2路Mic输入，1路6.35mm JACK立体声线路输入，1路USB PLAY输入，1路蓝牙信号输入，1路右声道线路输出，2路AUX辅助输出，1路脚踏开关控制。

GL206A线阵列音箱具备平滑的频率和相位响应。1个3寸的钕磁高音压缩单元和两个6.5寸低音单元构成一个动态余量极大的组合。音箱内装一个独立的大功率功放及DSP，音箱可单独调节，连接数量根据实际场合大小进行配置，使得现场扩声极其灵活、便捷。GL206A功放部分使用高效率开关电源，内置DSP模块，具有处理分频、EQ、压限、延时、音量等功能，DSP可通过面板简易操作，功放面板上带有RS485网络接口。箱体部分采高强度PP复合材料制作，轻巧而坚固，箱体为梯形,箱体与箱体之间的间隙已经缩到最小,从而减少了整组阵列的无效发声区,最小化阵列的垂直旁瓣。 GL206A箱体上装配有精密吊装系统,箱体与箱体的连接角度可调整箱体背部的连接杆在0°- 10°之间任意调整，以满足不同场合的需求。

量子隐形传态是建立远距离量子网络的关键技术之一。相比二维系统，高维量子网络具有更高的信道容量、更高的安全性等优点，受到人们的广泛关注。如何实现高效的高维量子隐形传态，从而实现高效的高维量子网络是当前量子信息领域的研究热点之一。 为了实现高维量子通信，李传锋、柳必恒等人从2016年开始采用光子的路径自由度编码，解决了路径比特的相干性问题[PRL 117, 220402 (2016)]，制备出了高保真度的三维纠缠态[PRL 117, 170403(2016)]；解决路径维度扩展问题，实现了32维量子纠缠态[PRL 125, 080503 (2020)]；解决路径自由度的传输问题，实现了高维量子纠缠态在11公里光纤中的有效传输[Optica 7, 738 (2020)]等。研究组从2017年起开始了高维量子隐形传态的实验研究。然而理论研究表明，在线性光学体系中，必须采用辅助粒子才能实现高维量子隐形传态。 为了实现高维量子隐形传态，研究组首先巧妙的提出了纠缠辅助的方式，利用log2d-1个辅助纠缠光子对就可以高效的实现d维的量子隐形传态，从而解决了资源消耗问题。然后实验上利用主动反馈技术实现路径间的相位锁定，干涉可见度在45小时内保持在0.98的水平，从而利用六光子系统实现了三维的量子隐形传态。研究组对三维量子隐形传态过程做了过程层析，保真度达到0.596，以7个标准差超过了经典极限值1/3，证实了三维量子隐形传态过程的量子特性。高效的高维量子隐形传态的实现为构建高效的高维量子网络打下坚实的基础。

项目成果/简介:量子隐形传态是建立远距离量子网络的关键技术之一。相比二维系统，高维量子网络具有更高的信道容量、更高的安全性等优点，受到人们的广泛关注。如何实现高效的高维量子隐形传态，从而实现高效的高维量子网络是当前量子信息领域的研究热点之一。 为了实现高维量子通信，李传锋、柳必恒等人从2016年开始采用光子的路径自由度编码，解决了路径比特的相干性问题[PRL 117, 220402 (2016)]，制备出了高保真度的三维纠缠态[PRL 117, 170403(2016)]；解决路径维度扩展问题，实现了32维量子纠缠态[PRL 125, 080503 (2020)]；解决路径自由度的传输问题，实现了高维量子纠缠态在11公里光纤中的有效传输[Optica 7, 738 (2020)]等。研究组从2017年起开始了高维量子隐形传态的实验研究。然而理论研究表明，在线性光学体系中，必须采用辅助粒子才能实现高维量子隐形传态。 为了实现高维量子隐形传态，研究组首先巧妙的提出了纠缠辅助的方式，利用log2d-1个辅助纠缠光子对就可以高效的实现d维的量子隐形传态，从而解决了资源消耗问题。然后实验上利用主动反馈技术实现路径间的相位锁定，干涉可见度在45小时内保持在0.98的水平，从而利用六光子系统实现了三维的量子隐形传态。研究组对三维量子隐形传态过程做了过程层析，保真度达到0.596，以7个标准差超过了经典极限值1/3，证实了三维量子隐形传态过程的量子特性。高效的高维量子隐形传态的实现为构建高效的高维量子网络打下坚实的基础。