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沟道的刻蚀方法、半导体器件及其制备方法与电子设备
本发明提供了一种沟道的刻蚀方法,提供一待刻蚀对象,对所述待刻蚀对象一次刻蚀后,交替进行表面处理‑二次刻蚀,直至刻蚀掉所有的鳍结构的牺牲层;其中,一次刻蚀用于刻蚀掉所述若干鳍结构中当前宽度最小的鳍结构的全部牺牲层以及其它宽度更宽的鳍结构的部分牺牲层;表面处理用于在待刻蚀对象的沟道层与剩余的牺牲层的暴露在外的表面形成保护层;所述二次刻蚀用于刻蚀掉当前宽度次之的鳍结构的全部的牺牲层,以及所述保护层。本发明在传统的刻蚀工艺中加入氧化步骤,既实现了对沟道层的保护,又实现了在不同沟道宽度的刻蚀中,减少沟道层的损失量。
复旦大学 2021-01-12
我校化科院周小四教授课题组与沈健教授课题组合作在《Angewandte Chemie》发表重要研究成果
南京师范大学的周小四教授课题组与沈健教授课题组合作,通过多步模板法成功制备了蛋黄壳结构的FePO4(FePO4YSNSs),并用于钠离子电池正极。FePO4YSNSs由介孔结构的纳米蛋黄和坚固多孔的纳米蛋壳构成。另外,改变初始碳球模板的酸化程度,空心FePO4纳米球(FePO4HNSs)和实心FePO4纳米球(FePO4SNSs)也被相继合成。值得注意的是,这一多步模板法还可用于制备蛋黄壳、空心和实心结构的Fe2O3。 FePO4YSNSs在钠离子电池正极中具有独特的优势:首先,蛋黄壳结构和纳米颗粒构筑单元都可以有效地减轻在嵌/脱钠过程中的内部应力;大比表面积和小孔径可以减小钠离子/电子的扩散距离,从而提高储钠动力学。其次,介孔的纳米蛋黄可以改善FePO4YSNSs正极的电解质渗透,从而加速电荷转移和钠离子扩散;坚固的纳米壳可以增强FePO4YSNS的结构完整性,从而提高了循环稳定性。另外,高密度的FePO4纳米壳的带隙比低密度的FePO4纳米蛋黄的带隙小,导致在纳米壳和纳米蛋黄之间形成一个内置电场,这将提高电荷转移动力学并导致高倍率性能。将上述获得的FePO4YSNSs用于钠离子电池正极,电化学测试表明:与FePO4HNSs和FePO4SNSs相比,FePO4YSNSs的储钠性能最优(在100 mA g−1的电流密度下,可逆容量为106.3 mAh g−1;循环1000圈后,容量保持率为91.3%)。更重要的是,这种简单易行的多步模板法与独特的蛋黄壳结构,不仅使FePO4具有优异的储钠性能,还将为催化等其它领域提供新思路。
南京师范大学 2021-02-01
海南省科学技术厅关于开展海南省省级产业创新服务综合体认定的通知
为贯彻落实《海南自由贸易港建设总体方案》《海南省以超常规手段打赢科技创新翻身仗三年行动计划(2021-2023)》精神,深入实施创新驱动发展战略,打造更有活力的产业创新生态系统,根据《海南省省级产业创新服务综合体认定管理办法(试行)》,现将2023年海南省省级产业创新服务综合体认定申报有关事项工作通知如下
省科学技术厅 2023-07-21
【央视网】高博会服务高校设备更新改造及数字化建设专项工作新闻发布会在京召开
中国高等教育学会把服务高校设备更新改造及数字化建设列为重点工作,并纳入高博会重要项目。
云上高博会 2023-01-12
【中国网】高博会服务高校设备更新改造及数字化建设专项工作新闻发布会在北京召开
中国高等教育学会把服务高校设备更新改造及数字化建设列为重点工作,并纳入高博会重要项目。
云上高博会 2023-01-12
【光明网】高博会服务高校设备更新改造及数字化建设专项工作新闻发布会在京召开
中国高等教育学会把服务高校设备更新改造及数字化建设列为重点工作,并纳入高博会重要项目。
云上高博会 2023-01-12
关于发布上海市2023年度“科技创新行动计划”专业技术服务平台项目建设指南的通知
为推进实施创新驱动发展战略,加快建设具有全球影响力的科技创新中心,根据《上海市建设具有全球影响力的科技创新中心“十四五”规划》,上海市科学技术委员会特发布2023年度“科技创新行动计划”专业技术服务平台建设指南。
上海市科学技术委员会 2023-08-03
江苏省知识产权局关于印发《知识产权服务经济运行率先整体好转若干措施》的通知
为深入贯彻中央和省委经济工作会议精神,认真落实省政府《关于推动经济运行率先整体好转的若干政策措施》(苏政规〔2023〕1号),我局制定了《知识产权服务经济运行率先整体好转若干措施》,现印发你们,请认真贯彻落实。
江苏省知识产权局 2023-03-01
国务院关于《支持北京深化国家服务业 扩大开放综合示范区建设工作方案》的批复
为贯彻落实党中央、国务院关于支持北京深化国家服务业扩大开放综合示范区(以下简称综合示范区)建设的决策部署,促进服务业高水平开放、高质量发展,特制定本工作方案。
国务院 2023-11-29
湖北省人民政府办公厅印发《关于加强财政金融协同服务科技创新的若干措施》的通知
为深入贯彻落实党的二十大精神和习近平总书记关于金融工作的重要论述,进一步加强财政金融政策协同,做好科技金融大文章,更好服务科技创新,加快打造全国科技创新高地、奋力推进中国式现代化湖北实践、加快建成中部地区崛起重要战略支点提供强劲动力,制定以下措施。
湖北省人民政府办公厅 2024-05-20
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