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HMDS真空预处理烘箱
HMDS真空预处理烘箱产品用途:该产品主要用于半导体行业,HMDS预处理系统通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。     一、产品规格: 型号:BD/HMDS-6090   内形尺寸:450×450×450     型号:BD/HMDS-6210   内形尺寸:560×640×600   二、 技术参数: 1、控温范围:RT+10~250℃  2、温度分辨率:0.1℃     3、温度波动度:±1℃ 4、达到真空度:小于133Pa 5、真空度:100Pa~100000Pa 6、定时范围:1~9999min 7、工作室材料:316L 8、样品架:2块、3块 9、真空泵:4L/S 10、电源电压:220V/50Hz、380V/50Hz三相五线制 11、总功率:3000W、4500W 三、产品特点: 1、外壳采用冷轧钢板制造,表面静电喷塑。内胆、样品机、连接管路均采用优质不锈钢316L材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。 2、箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保箱内高真空度。 3、HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。 四、HMDS预处理系统操作流程: 1、首先确定烘箱工作温度; 2、预处理程序为:打开真空泵抽真空,待腔内真牢度达到某一高真空度后,开始充入氮气,充到达到某低真空度后,再次进行抽真空、充入氮气的过程,到达设定的充入氮气次数后,开始保持一段时间,使硅片充分受热,减少硅片表面的水分; 3、再次开始抽真空,充入HMDS气体,在到达设定时间后,停止充入HMDS药液,进入保持阶段,使硅片充分与HMDS反应; 4、当达到设定的保持时间后,再次开始抽真空。充入氮气,完成整个作业过程。 五、控制系统: 1、7.0英寸维纶彩色触摸屏,三菱PLC控制器; 2、富士微电脑双数显温度PID控制器,控温精确可靠; 六、保护系统: 1、漏电保护; 2、超温保护; 3、缺液保护;              七、设备使用条件: 1、环境温度:5℃~+28℃(24小时内平均温度≤28℃) 2、环境湿度:≤85%R.H 3、操作环境需要室内通风良好,机器放置前后左右各80公分不可放置东西; 八、HMDS真空预处理烘箱服务承诺: 保修十二个月,免费送货上门,在对该设备安装调试结束后,在用户现场对相关技术人员免费做相应的操作培训,人数不限。
北京中科博达仪器科技有限公司 2026-01-15
用于室内空气中污染物净化的改性X型小晶粒分子筛及其制备方法
本发明公开了一种用于室内空气中污染物净化的改性X型小晶粒分子筛及其制备方法,包括以下步骤:采取X型小晶粒分子筛为原料,通过破碎,筛分,研磨加工成不规则粒状,加工处理成所需大小颗粒形状,烘箱烘干,再通过微波方法进行改性处理,具体条件为家用微波炉处理,获得成品。X型小晶粒分子筛系天然矿煅烧高岭土制备,X型分子筛粒径在50-80nm,孔径在4-10nm。该改性材料原料成本低,加工工艺简单,使用效果好。使用改性X型小晶粒分子筛去除室内空气中的甲醛、氨、苯系物、TVOC,见效快,无二次污染。 发明人:王银叶; 张宏伟; 肖艳华; 骆永娜; 张凌峰; 王鹏
天津城建大学 2021-01-12
污染场地土壤和地下水有机物污染修复技术
随着我国大规模的产业结构调整,沿海和经济发达城市搬迁了大量重污染企业,暴露出严 重的土壤和地下水污染情况,其中有机物造成的工业场地土壤和地下水污染十分普遍。近10年 来,围绕工业场地有机物污染土壤和地下水修复技术进行攻关,系统研究了有机物污染团的调 查、监测方法体系,有机污染物对场地环境生态风险评价和健康风险评价体系,土壤和地下水 有机污染物抽出吹脱技术、高级氧化技术和原位生物修复技术体系等。根据有机污染物的物理 性质和场地赋存特性,开发了有机污染物抽出吹脱一体化异位修复系统装备和尾气净化处理装 置;根据污染物化学性质,开发了污染物高级氧化技术和零价铁活性炭耦合还原降解技术;根 据有机污染物可生化降解特性,开发了污染物厌氧生物处理、好氧生物处理和植物微生物联合 修复技术,形成了污染场地有机物污染调查、风险评价与修复的技术体系。
华东理工大学 2021-04-11
Biosafer高纯水机
Biosafer高纯水机以自来水为水源,生产RO纯水和I/II级水的一体化系统。每小时产水量10-40升,电阻率16-18.25MΩ.cm,满足大部分生化、化学类实验室要求的常用纯水设备,目前在国内外实验室的使用相当普及,它取代传统蒸馏法、离子交换法等制水方式,具有使用方便、能耗低、制水水质高等优点。广泛应用于化学分析、生化实验,定性分析等领域。以及玻璃器皿清洗、微生物分析、样品稀释和试剂制备、生产工艺用水,普通化学、水分析及通用HPLC、分光光谱测量、高压蒸汽灭菌器、清洗机、盐雾试验箱、老化仪等仪器用水。 可与雅培、拜耳、德灵、贝克曼、罗氏、奥林巴斯、日立等进口、国产品牌全/半自动生化分析仪配套。 技术参数    型 号 Biosafer-T 产水量(L/H) 台式 10/15/20/30/40 落地式 40-150 取水流速 1-2L/min 源水 市政自来水,TDS<200ppm,源水压力:1.0~5.0kg/cm2 、 源水温度:5~450C,(进水TDS>200ppm,选配软化器) 产水 指标                     电阻率:16-18.25Ω·cm@250C,吸光度(254nm,1cm)≤0.001 水质分别优于国家实验室GB6682-2008规格Ⅲ、Ⅰ级水标准,美国ASTM、NCCLS、CAP标准 TOC <20ppb 微生物 <1cfu/ml 离子截留率 96%~99% 电源 220V 50HZ  30~80W 外形尺寸(mm) 机箱(宽*深*高)370*470*500mm/557*667*1055mm
南京赛飞生物科技有限公司 2026-01-15
重金属、有机物污染土壤修复技术
重金属、有机物污染土壤治理受到国内外研究者的高度重视。本技术成果包括:(1)重金属污染土壤修复植物的筛选;(2)生物法修复重金属污染土壤工艺优化;(3)修复植物无害化资源化处置;(4)土壤污染物缓释剂的研发与应用;(5)有机物污染土壤热脱附技术等。该成果来源于国家863高技术研究项目,已在浙江、湖南等地土壤污染修复工程中得到应用。
东南大学 2021-04-11
重金属、有机物污染土壤修复技术
重金属、有机物污染土壤治理受到国内外研究者的高度重视。本技术成果包括:(1)重金属污染土壤修复植物的筛选;(2)生物法修复重金属污染土壤工艺优化;(3)修复植物无害化资源化处置;(4)土壤污染物缓释剂的研发与应用;(5)有机物污染土壤热脱附技术等。该成果来源于国家863高技术研究项目,已在浙江、湖南等地土壤污染修复工程中得到应用。
东南大学 2021-04-13
多氯化物废物的处理方法和处理设备
Ø 多氯化物废物是生产氯代烃的副产物,氯碱工业是基础化工,产量大,产生的多氯化物废物也较多。多氯化物废物是氯化物蒸馏残液,是纯的有机多氯化物的混合物,难溶于水,不燃烧,比水中重。有刺鼻的气味,较大的挥发性,毒性大,诱发癌症,污染环境;大气中的氯化物还破坏臭氧层。该处理技术和处理设备能够快速有效地降解多氯化物,使其转化为有价值的工业材料,不产生二次污染物。该技术填补国内和国际空白,能够高效地处理多氯化物废物,具有实用性和广阔的应用范围。
北京理工大学 2021-01-12
电脑邮件处理机
传统的邮件处理过程是:称重——查单价——计算邮资——手工开单。为从根本上解决手工操作效率低、易出错的问题,研制了该产品,并通过了海南省技厅组织的产品鉴定。    电脑邮件处理机集称重、根据邮件类型和到达地区查询单价、计算资费、打印收据为一体。工作人员只需将邮件放于称重盘上并操作仪器面板上的按键选择邮件类型及达到地点,即可自动完成邮件的收寄工作。该产品适用于各类城市及农村的邮局营业网点,根据用户需要可以增加联网功能。 单机成本约1200元(不含打印机),预计售价3000元。
武汉工程大学 2021-04-11
两部门:推动产业园区循环化改造 污染物排放大幅降低
据国家发展改革委官网消息,为加快推动产业园区绿色低碳循环发展,提高资源能源利用效率,助力实现碳达峰碳中和目标,国家发展改革委、工业和信息化部近日印发《关于做好“十四五”园区循环化改造工作有关事项的通知》(以下简称《通知》),提出到2025年底,具备条件的省级以上园区(包括经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类产业园区)全部实施循环化改造,显著提升园区绿色低碳循环发展水平。
人民网 2021-12-21
多氯化物废物的处理方法和处理设备(产品)
成果简介:多氯化物废物是生产氯代烃的副产物,氯碱工业是基础化工,产量大,产生的多氯化物废物也较多。多氯化物废物是氯化物蒸馏残液,是纯 的有机多氯化物的混合物,难溶于水,不燃烧,比水中重。有刺鼻的气味, 较大的挥发性,毒性大,诱发癌症,污染环境;大气中的氯化物还破坏臭氧 层。该处理技术和处理设备能够快速有效地降解多氯化物,使其转化为有价 值的工业材料,不产生二次污染物。该技术填补国内和国际空白,能够高效 地处理多氯化物废物,具有实用性和广阔的应用范围。 项目来源:合作开发
北京理工大学 2021-04-14
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