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一种芯片位置和倾角检测装置及方法
本发明公开了一种芯片位置和倾角检测装置,包括光源组件、光路传输组件、摄像组件以及自准直仪,其中光源组件由分别对应于芯片和基板的第一、第二光源构成;光路传输组件由第一、第二和第三半透半反棱镜以及第一、第二反射镜共同构成,由此在同一光路系统中实现对芯片和基板位置的检测;摄像组件由具备不同视野的第一和第二摄像单元构成,其中第一摄像单元用于采集芯片或基板的大视野图像,根据 MARK 点实现初步定位,第二摄像单元用于采集其具体位置图像;自准直仪用于获取代表芯片水平倾角信息的法线倾斜量。本发明还公开了相应的检测
华中科技大学 2021-04-14
一种光刻机自动调焦方法及装置
本发明公开了一种光刻机自动调焦方法及装置,其方法是将平行光束经第一狭缝投射至硅片表面,再经振动反射镜扫描后通过第二狭缝,由光电探测器接收光强信号,然后通过提取光强信号中二倍于扫描频率的频域成分得到硅片的粗调量,通过提取光强信号中一倍于扫描频率的频域成分得到硅片的精调量,最后由驱动装置调整硅片至焦点位置。调焦装置主要由两个狭缝、一个振动反射镜、光电传感器、驱动台和若干光学镜片组成,信号处理过程由计算机编程完成。该方法与装置相较于以往对比光斑强度进行调焦的方式,具有结构简单、响应迅速、精度高(优于 0.
华中科技大学 2021-04-14
一种复合波片光轴对准方法及装置
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法及装置。将待对准复合波片的两片晶片装在支架上之后分别安装在固定、旋转波片卡盘上;从光源发出的光经过起偏器后形成线偏振光;通过待对准的复合波片后,线偏振光偏振态发生变化;根据探测器探测到的透射光强信号可进一步获得待对准复合波片相位延迟波动量的变化幅值;比较相位延迟波动量的变化幅值的相对大小;通过电控旋转台控制旋转波片卡盘转动,直至将复合波片的光轴对准到所要求的精度范围内。装置包括光源,起偏器,固定波片卡盘,旋转波片卡盘,旋转检偏器,探测器,电控旋转台,计算机,步进电机和电控旋转台控制器。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准,装置简易,操作简单。
华中科技大学 2021-04-11
悬吊式巷道掘进临时支护装置及其使用方法
本发明公开了一种悬吊式巷道掘进临时支护装置及其使用方法,它由工字钢悬挂梁、支撑平台、升降台、移动架和多个液压缸所组成;通过上述各部件实现巷道快速连续掘进,减少顶板下沉和离层,减少迎头冒顶和偏帮事故并降低劳动强度。
安徽理工大学 2021-04-13
一种热管式温度测定装置及方法
本发明公开了一种热管式温度测定装置及方法,包括:传热模块、温度测量模块和机械模块;方法包括如下步骤: (1)根据管道形状对于管道壁面和装置的相对位置进行初步的判断; (2)选取合适的位置利用热管弯曲底座,良好契合管道外壁,进行固定并做测量前的准备工作; (3)位置固定结束,伴随着热管快速进行热量传递过程;在传感器进行温度测量时,每次应在读数相对稳定时记录; (4)每次测量结束后,在连杆和加紧弹簧的共同作用下,改变装置的位置,测量管道外壁多处温度,综合反映管道内部流体状况。本发明不需要将测温装置插入管道内部进行测量,满足了当管道内部高温高压条件时,不利于开孔测量的情况,能够更加准确的反映管道温度情况。
东南大学 2021-04-11
叶片光学智能检测装置及软件系统
由于航空发动机和燃气轮机叶片型面是空间异型曲面,因而其设计、制造及维修都面临巨大挑战。为了在设计加工层面提高叶片加工质量,同时在修复层面提高叶片使用寿命,开展叶片高效高精测量研究至关重要。 本项目面向叶片制造研发了一套基于四轴运动平台与线激光扫描相结合的叶片型面检测装置,并开发了集运动控制、数据采集与处理、精度评估等多功能于一体的软件系统,可实现多类型叶片的二维截面高精度测量与三维型面自动化高效重构,有效克服因叶片复杂结构特征带来的扫描数据密度差异性大、重叠区不足等因素对重构精度的影响。本项目面向叶片3D打印修复,研发了一套高效高精度的叶片检测方法与集成系统,可实现批量化叶片截面轮廓位姿及其轮廓的自动化测量、数据重构和叶片配准,为叶片修复工艺流程中的3D打印和后续机加工等工艺环节提供关键的数字化测量、加工工艺数据,有效提升修复精度与效率,并降低成本。 本项目的开发成果可应用于航空发动机、燃气轮机等叶片制造、修复全生命周期的测评、重构、反求等场景,市场规模大。 图 面向叶片3D打印修复的检测方法与集成系统硬件平台
四川大学 2025-02-11
一种便于收纳的供暖装置
电能供暖具有便捷性、安全性和低碳性等特点,电能供暖设备具有广阔的市场空间。本发明可在不工作时将进行折叠收起,以显著节省供暖装置的占用空间;本发明能够实现模块化组装,设备检修和更换非常方便;本发明携带方便,可用于室内外多种场合。
沈阳农业大学 2025-05-21
青岛海粟新材料科技有限公司
青岛海粟是一家专门从事色谱材料,自有技术循环生产的企业。主要有层析硅胶、高效硅胶、硅基色谱填料、贵重金属清除剂、色谱耗材等高性能的提纯分离材料,广泛应用于制药、化学合成、精细化工、科研分析制备等领域。 在科技国家高速发展的背景下,我们不能单纯依靠国外几十年前的技术水平,必须要创新突破,找到我们自己的道路。公司首先依靠产品的稳定性,再对产品特性坚持不断的探索,对工艺环节流程认真优化,可提供常规和定制等不同的系列产品,满足多样化的市场需求。帮助客户在分析和制备中减少项目问题和提高运行效率,共同向上发展。 公司自创立以来,始终坚持“尊重、谦和、正直”的做人做事理念,致力于更用心的产品和服务,尊重员工和客户的各项建议反馈,希望彼此协作激励,获得更多的认可和信任,使公司未来发展的可持续性更好,也会协同各方积极为社会的发展做出更多的贡献。
青岛海粟新材料科技有限公司 2025-02-07
2π空间偏振观测仪器
项目简介 本发明公开了一套2π空间偏振观测仪器,其包括:1)基于2π空间天球划分的基准结构;2)上半球空间多角度观测的方位及俯仰一体化转台控制系统;3)变时相多弧度角面元光学偏振成像序列系统。整个系统由计算机控制电控箱工作,电控箱连接安装基面、双轴转台、变时相多弧度角面元光学偏振成像序列系统、数据记录仪以及数据采集终端。应用范围 该系统可以获得任意时刻的天空偏振分布模式,为寻找大气中性点区域、全天空偏振场量表征和仿生偏振导航的天空偏振矢量线提供数据支撑。项目阶段 该项目所涉及实验正在进行中。
北京大学 2021-04-11
创新实践类教学仪器
团队开发创新实践类教学仪器,包括智能四轮小车、DSP和STM32嵌入式实 验套件、智能平衡小车以及DSP电机控制实验箱等。利用此系列产品可以揩建完 整的创新电子电控类实验室,针对不同年级和不同课程的需求,逐步层阶式培养 提高学生电子部件基本应用能力、硬件设计能力、软件编程以及创新和实践应用 能力。 目前,产品已经设计完成,其中,智能四轮小车和智能平衡小车已经在 重庆大学电气工程学院相关课程中使用,获得学院师生的一致好评。产品科技创 新,产品附加值更高,在初步推广中得到了很多高校老师和学生的认同。 产品的主要特点和创新点: 积木式开发套件; 采用DSP和STM32控制芯片,可扩展高级应用算法; 集成电力电子模块、信号采集模块、人机交互单元、蓝牙、陀螺仪等多种功 能模块; 支持C语言开发; 支持MATLAB/Simulink快速搭建算法模型; 丰富的实验内容和外设扩展接口。
重庆大学 2021-04-11
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