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一种用于浸没式光刻的浸液温控系统
本发明公开了一种用于浸没式光刻的浸液温控系统,通过其获得具有稳定温度的浸液,以用于浸没式光刻工艺中,其特征在于,该温控系统包括:用于浸液流动的浸液管路,待温控的浸液通过管路进口进入该浸液管路,温控后的浸液通过该浸液管路出口输出;用于对所述浸液进行冷却的工艺冷却液回路,工艺冷却液在该回路中循环流动;以及热交换器(6),所述浸液管路和工艺冷却液回路同时流经该热交换(6),利用该热交换器(6)完成工艺冷却液和浸液的热交换,获得具有稳定温度的浸液,实现对浸液的温度控制。本发明的装置采用内部回流结构与热交换器
华中科技大学 2021-04-14
基于步进电机的自适应调节式盲人行道探测装置及方法
本发明公开了一种盲人行道探测装置,通过传感器每隔一定时间抽样得到载具的角度,对相邻时间抽样的角度进行微分,得到这段时间内的载具角度变化量,然后将角度差负反馈与角度变化量、上一循环的补偿量求和得出这次的调整量,在控制步进电机调整之前判断载具角度变化量的值,并自适应地改变抽样速率;还判断这次的调整量过小时作为补偿量参与下一次的循环。本发明能够使用步进电机实时地调整探测器使其保持需要的探测方向,探测结果更精确;还可以自适应的改变调节的速率,使得探测器的调整幅度尽可能地缩小,达到更加稳定的探测方向,抗干扰能力强;并能防止步进电机因为调整量太小,脉冲数过少而造成的电机丢步现象,达到精确控制的效果。
东南大学 2021-04-11
穴式移栽机
本发明涉及农业移栽领域,尤其是一种穴式移栽机。包括平行四边形装置,平行四边形装置包括偏心移栽轮、对心移栽轮和挡板,偏心移栽轮位于对心移栽轮的内侧,偏心移栽轮和对心移栽轮通过传动轴连接,对心移栽轮的中心固定在传动轴上,传动轴与机架转动连接,偏心移栽轮偏心设置在传动轴上,偏心移栽轮和对心移栽轮的顶端通过短杆连接,偏心移栽轮中部的外侧固定有挡板,挡板的中心与偏心移栽轮的中心重合,挡板的外侧表面偏心固定有套筒,蜗轮固定套在套筒上,传动轴穿过套筒与对心移栽轮连接,传动轴的外表面与套筒的内表面之间存在间隙,挡板的内侧表面相对于挡板的中心对称设置数个滚轮。其保证了作物苗的倾斜入土,角度调节简单可靠,易操作,角度调节精度高,提高了作物的移栽效果和移栽质量。
青岛农业大学 2021-04-13
在线式去皮机
在线式去皮机主要针对鸡、鸭、鱼等小型动物屠宰行业,适用于片状物料、单侧带皮的皮肉分离。
青岛锐智智能装备科技有限公司 2021-06-17
BJS-3 型步进电机实验系统
一、项目概况 BJS-3 型步进电机实验系统是自动化、数控、车辆电子电气、测控等专业的电机与拖动 课程的主要实验设备。 本项目处于国内先进水平,拥有自主知识产权。 二、主要特点 “BJS-3 型步进电机实验系统”是根据自动控制原理教学实验大纲要求研制的。可开设 实验内容如下: BJS-3型步进电动机实验系统认识实验 测定步进电动机步距角实验 测定步进电动机启动频率实验 测定步进电动机矩频特性实验 “BJS-3 型步进电机实验系统”融合步进电机控制及转矩测试于一体,采用台式结构, 具有:①外形美观大方。②实验操作简便。③安全可靠,具有良好的保护。④完全满足教学 大纲的要求。 三、仪器主要技术指标: 电 源——220V 交流电源 额定最大功率——720 瓦 步进电机——相数(3);转矩(3.92 牛米);电压(60 伏);步距角(1.5°/3°);电 流(6 安) 负载转矩——5 牛米 频率范围——1~9999 赫兹; 最大步数——999999 外型尺寸——450×330×190 总重量——30 公斤
南京工程学院 2021-04-13
GJ-LB-I六杆步进机构
六杆步进机构驱动滑块往复移动,当滑块向左移动,档块推动物体一同运动,当滑块向右运动,档块遇到物体时,档块逆时针翻转,从物体的下方越过物体,在弹簧的作用下,档块转回原位置,如此循环,便把物体一步一步向前推进。 特点:用于机械原理教学。 主要技术参数如下: ①滑块行程:150mm; ②减速电机:型号NMRV,功率P=375W,速比i=80,电压220V; ③间歇送料:3个档位,分别为6次/min、13次/min、38次/min; ④外形尺寸:长x 宽x 高=950㎜x 650㎜x 600㎜; ⑤实验台重量:150kg;
哈尔滨工江机电科技有限公司 2023-01-16
压印法集成电路光刻技术
本项目提出一种创新的集成电路(IC)制造工艺路线,即压印光刻(Imprint Lithography-IL)技术,并对该技术相关的压印和脱模工艺机理、紫外光固化阻蚀胶材料的物化和工艺特性、与IC制造其它工艺的综合集成和优化、压印光刻设备的关键技术等进行研究和技术开发。其基本原理为:以电子束直写刻蚀(或其它刻蚀技术)生成IC图型母板(模具),以母板(模具)步
西安交通大学 2021-01-12
侧倾式移栽机
本发明涉及移栽机械,尤其一种侧倾式移栽机。移栽机构包括三个平行设置的移栽架,分别是移栽架Ⅰ、移栽架Ⅱ和移栽架Ⅲ,移栽架Ⅰ、移栽架Ⅱ和移栽架Ⅲ呈米字花状,移栽架Ⅰ和移栽架Ⅲ的外侧分别设置角度调节部,角度调节部包括丝杆和位于螺杆上方的横杆,螺杆的两端分别通过轴承设置在机架上,螺杆的螺纹包括一半正螺纹和一半反螺纹,螺杆上设有两个螺母,其中一个螺母设置在螺杆的正螺纹处,另外一个螺母设置在螺杆的反螺纹处,两螺母与横杆的两端分别通过连接斜边连接,连接斜边的两端与螺母和横杆之间均为铰接,横杆上固定有调心轴承,转动轴Ⅰ和转动轴Ⅱ分别通过调心轴承与角度调节部连接。其结构简单,根据不同的农作物调整打穴角度,投苗效率高。
青岛农业大学 2021-04-13
颚式破碎机
品 名:颚式破碎机 型 号:JC1000 品 牌:essa 产 地:澳大利亚 产品介绍 JC系列颚式破碎机 JC系列颚式破碎机操作简单、坚固耐用,适合于大块原料的批量和连续性的破碎。广泛的应用于矿石、煤炭、冶金、玻璃、陶瓷、建筑材料、化学行业原料的初级破碎,以及地质学、矿物学的研究领域。 主要特征 ☛采用滚柱轴承加强了负荷运载能力; ☛电器采用IP55配线、自动控制开关、并配有电机安全装置; ☛全驱动保护,附有除尘点; ☛竖直锯齿状铬钢合金颚板; ☛颚板可逆用,延长使用寿命; ☛出样尺寸调整快速便捷。
青岛海亿特机电科技发展有限公司 2021-09-13
干式排渣机
山东蓝博环保设备有限公司 2021-08-24
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