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Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器
本发明的Si基微机械悬臂梁耦合直接加热式毫米波信号检测器,结构由悬臂梁耦合结构、功率合成/分配器、直接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的直接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的
东南大学 2021-04-14
硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器
本发明的硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,该结构是制作在高阻Si衬底上,其上有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器主要是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥组成;直接式热电式功率传感器由共面波导传输线、热电偶和隔直电容所构成,热电偶是由金属臂和半导体臂串联
东南大学 2021-04-14
硅基悬臂梁耦合间接加热式未知频率毫米波相位检测器
本发明的硅基悬臂梁耦合间接加热式未知频率毫米波相位检测器,结构由悬臂梁耦合结构、功率分配/合成器、间接加热式微波功率传感器和开关构成。悬臂梁耦合结构上下左右对称,包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在中心频率35GHz处为λ/4。为实现未知频率毫米波相位的检测,首先进行频率检测,频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率35GHz处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路相位差为90度的耦合信号分别同两路等分后的参考信
东南大学 2021-04-14
硅基悬臂梁耦合直接加热式未知频率毫米波相位检测器
本发明的硅基悬臂梁耦合直接加热式未知频率毫米波相位检测器,结构主要包括悬臂梁耦合结构、功率分配/合成器、直接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。为实现未知频率毫米波相位的检测,首先进行频率检测。频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率35GHz
东南大学 2021-04-14
硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器
本发明的硅基缝隙耦合式T型结的直接式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成,传感器由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,该结构是制作在高阻Si衬底上,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥组成;直接式热电式功率传感器由共面波导传输线、热电偶和隔直电容所构成。模数转换部分由STM32和AD620
东南大学 2021-04-14
基于超材料的肖特基型毫米波多谱信号探测器和制备方法
本发明公开了一种基于超材料的肖特基型毫米波多谱信号探测器,包括自下而上依次设置的衬底层、N 型砷化镓层、二氧化硅层与超材料层、欧姆电极和肖特基电极;其中超材料层为具有周期性微纳米结构的金属开环共振单元阵列,所述金属开环共振单元阵列包含了多种图形及其特征尺寸参数,每个图形对于特定电磁波具有完全吸收特性,通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的电磁波吸收频段,通过改变 N 型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料
华中科技大学 2021-04-14
基于硅基悬臂梁T型结直接加热式毫米波信号检测仪器
本发明的基于硅基悬臂梁耦合T型结直接加热式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成,传感器模块是由悬臂梁耦合结构、T型结直接加热式微波功率传感器和开关构成,衬底材料为高阻Si,功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的直接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用直接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考信号合成,同样利用直接加热式微波功率传感器检测合成功率,
东南大学 2021-04-14
硅基未知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器
本发明的硅基未知频率缝隙耦合式T型结直接式毫米波相位检测器是由共面波导传输线、缝隙耦合结构、移相器、单刀双掷开关、T型结功分器、T型结功合器以及直接式热电式功率传感器所构成,整个结构基于高阻Si衬底制作,一共有四个缝隙耦合结构,上方的两个缝隙耦合结构实现信号的频率测量,下方的两个缝隙耦合结构实现信号的相位测量,在前后缝隙之间有一个移相器;T型结功分器和T型结功合器是由共面波导传输线、扇形缺陷结构和空气桥组成;直接式热电式功率传感器由共面波导传输线、两个热电偶和隔直电容所构成,热电偶是由金属臂和半导体
东南大学 2021-04-14
硅基悬臂梁耦合T型结间接加热式毫米波信号检测仪器
本发明的硅基悬臂梁耦合T型结间接加热式毫米波信号检测仪器是由传感器、模数转换和液晶显示三大模块组成,传感器模块是由悬臂梁耦合结构、T型结间接加热式微波功率传感器和开关构成,衬底材料为高阻Si,功率通过输入端口对应的CPW信号线终端的间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考信号合成,同样利用间接加热式微波功率传感器检测合成功率,从而
东南大学 2021-04-14
基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器
本发明的基于硅基悬臂梁T型结间接加热式毫米波信号检测器,主要实现结构包括由悬臂梁耦合结构、T型结、间接加热式微波功率传感器和开关。悬臂梁耦合结构包括两组悬臂梁,每组悬臂梁由两个对称的悬臂梁构成,两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度在所测信号频率范围内的中心频率35GHz处为λ/4。功率通过第一间接加热式微波功率传感器进行检测;频率检测通过利用间接加热式微波功率传感器测量两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号的合成功率实现;相位检测通过将两路在中心频率处相位差为90度的耦合信号,分别同两路等分后的参考
东南大学 2021-04-14
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