基于超材料的肖特基型毫米波多谱信号探测器和制备方法

人工智能

本发明公开了一种基于超材料的肖特基型毫米波多谱信号探测

器，包括自下而上依次设置的衬底层、N 型砷化镓层、二氧化硅层与

超材料层、欧姆电极和肖特基电极；其中超材料层为具有周期性微纳

米结构的金属开环共振单元阵列，所述金属开环共振单元阵列包含了

多种图形及其特征尺寸参数，每个图形对于特定电磁波具有完全吸收

特性，通过改变金属开环共振单元的结构和尺寸参数可以调控对应的

电磁波吸收频段，通过改变 N 型砷化镓的耗尽层宽度可以调控超材料

试用